本实用新型专利技术提供了一种用于光学镜片的位置调节机构及装置，其中，用于光学镜片的位置调节机构包括：支座、中空电动旋转台、固定板以及过渡板；所述中空电动旋转台固定设置在所述固定板上；所述固定板设置在所述过渡板上；所述过渡板设置在所述支座上；所述中空电动旋转台适于将光学镜片进行固定并进行旋转角度调节。通过中空电动旋转台调整光学镜片，可以保证通光孔径，不遮挡光线，中空电动旋转台具有极高的定位精度，从而可以确保光学镜片在光路中的位置满足精度需求。中的位置满足精度需求。中的位置满足精度需求。
【技术实现步骤摘要】
用于光学镜片的位置调节机构及装置
[0001]本技术涉及镜片角度调整领域，具体涉及一种用于光学镜片的位置调整机构及装置。
技术介绍
[0002]随着半导体行业产品微型化的发展趋势要求，晶圆的尺寸不断减小，生产过程中可能产生更多的微小缺陷。检测设备需要具备更高的检测精度。在复杂的检测光路中，每个光学镜片的安装位置需的精度非常高，对安装人员的要求过高，人工进行安装时，会导致每个光学镜片的安装精度不够，从而导致检测光路的精度太低，不能满足目前的半导体行业的检测精度需求。
[0003]上述问题是目前亟待解决的。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种用于光学镜片的位置调节机构及装置，从而实现对检测光路中的光学镜片的位置可调。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种用于光学镜片的位置调节机构，包括：
[0006]支座、中空电动旋转台、固定板以及过渡板；
[0007]所述中空电动旋转台固定设置在所述固定板上；
[0008]所述固定板设置在所述过渡板上；
[0009]所述过渡板设置在所述支座上；
[0010]所述中空电动旋转台适于将光学镜片进行固定并进行旋转角度调节。
[0011]进一步的，所述中空电动旋转台包括：箱体、交叉滚子轴承、外齿圈以及输出轴；
[0012]所述箱体开设有适于所述交叉滚子轴承安装的安装腔；
[0013]所述外齿圈套设在所述交叉滚子轴承外部；
[0014]所述输出轴插入所述箱体内，且与所述外齿圈啮合；
[0015]所述输出轴适于在转动时，带动所述外齿圈转动，从而带动所述交叉滚子轴承转动；
[0016]所述交叉滚子轴承适于带动固定在所述交叉滚子轴承上的光学镜片转动。
[0017]进一步的，所述中空电动旋转台还包括减速机；
[0018]所述减速机固定设置在所述箱体上，且适于带动所述输出轴发生转动。
[0019]进一步的，所述用于光学镜片的位置调节机构还包括第一螺纹副以及两个第一弹性固定件；
[0020]所述固定板的左右两侧分别通过所述第一弹性固定件与所述过渡板连接；
[0021]所述固定板通过所述第一螺纹副与所述过渡板连接；
[0022]所述第一螺纹副适于在旋转时，调整所述固定板在第一方向上的角度，从而调整
光学镜片在第一方向上的偏摆角度。
[0023]进一步的，所述第一螺纹副的螺距小于0.25mm。
[0024]进一步的，所述第一弹性固定件的截面为工字型。
[0025]进一步的，所述用于光学镜片的位置调节机构还包括第二精密螺纹副以及两个第二弹性固定件；
[0026]所述过渡板的上下两侧分别通过所述第二弹性固定件与所述支座连接；
[0027]所述过渡板通过所述第二精密螺纹副与所述支座连接；
[0028]所述第二精密螺纹副适于在旋转时，调整所述过渡板在第二方向上的角度，从而调节光学晶片在第二方向上的偏摆角度。
[0029]进一步的，所述第二弹性固定件的截面为工字型。
[0030]进一步的，所述用于光学镜片的位置调节机构还包括拉簧；
[0031]所述支座以及所述固定板上开设有适于将拉簧进行固定的支柱。
[0032]本技术还提供了一种用于光学镜片的位置调节装置，所述装置包括如上述的用于光学镜片的位置调节机构；
[0033]所述用于光学镜片的位置调节机构适于调节光学镜片在检测光路中的位置。
[0034]本技术的有益效果是，本技术提供了一种用于光学镜片的位置调节机构及装置，其中，用于光学镜片的位置调节机构包括：支座、中空电动旋转台、固定板以及过渡板；所述中空电动旋转台固定设置在所述固定板上；所述固定板设置在所述过渡板上；所述过渡板设置在所述支座上；所述中空电动旋转台适于将光学镜片进行固定并进行旋转角度调节。通过中空电动旋转台调整光学镜片，可以保证通光孔径，不遮挡光线，中空电动旋转台具有极高的定位精度，从而可以确保光学镜片在光路中的位置满足精度需求。
附图说明
[0035]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0036]图1是本技术所提供的用于光学镜片的位置调节机构的结构示意图。
[0037]图2是本技术所提供的用于光学镜片的位置调节机构的爆炸图。
[0038]图3是本技术所提供的支座的结构示意图。
[0039]图4是本技术所提供的固定板的结构示意图。
[0040]图5是本技术所提供的第一弹性固定件的结构示意图。
[0041]图中：100、支座；200、中空电动旋转台；210、箱体；220、交叉滚子轴承；230、减速机；300、固定板；400、过渡板；500、第一螺纹副；600、第一弹性固定件；700、第二螺纹副；800、第二弹性固定件；810、拉簧；820、支柱；900、光学镜片。
具体实施方式
[0042]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0043]实施例1
[0044]请参阅图1
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图5，本实施例1提供了一种用于光学镜片的位置调节机构，包括：支座100、中空电动旋转台200、固定板300以及过渡板400；所述中空电动旋转台200固定设置在
所述固定板300上；所述固定板300设置在所述过渡板400上；所述过渡板400设置在所述支座100上；所述中空电动旋转台200适于将光学镜片900进行固定并进行旋转角度调节。通过中空电动旋转台200调整光学镜片900，可以保证通光孔径，不遮挡光线，中空电动旋转台200具有极高的定位精度，从而可以确保光学镜片900在光路中的位置满足精度需求。
[0045]在本实施例中，支座100倾斜设置，其倾斜角度，根据检测光路中光学镜片900的倾斜角度进行设定。
[0046]在本实施例中，所述中空电动旋转台200包括：箱体210、交叉滚子轴承220、外齿圈以及输出轴；所述箱体210开设有适于所述交叉滚子轴承220安装的安装腔；所述外齿圈套设在所述交叉滚子轴承220外部；所述输出轴插入所述箱体210内，且与所述外齿圈啮合；所述输出轴适于在转动时，带动所述外齿圈转动，从而带动所述交叉滚子轴承220转动；所述交叉滚子轴承220适于带动固定在所述交叉滚子轴承220上的光学镜片900转动。
[0047]在本实施例中，所述中空电动旋转台200还包括减速机230；所述减速机230固定设置在所述箱体210上，且适于带动所述输出轴发生转动。需要说明的是，在其他实施例中，可以选择调节手轮对输出轴进行调节，或者采用调节手轮手动粗调镜片精度，然后通过减速机230进行精准调整。
[0048]在本实施例中，所述用于光学镜片的位置调节机构还包括第一螺纹本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光学镜片的位置调节机构，其特征在于，包括：支座、中空电动旋转台、固定板以及过渡板；所述中空电动旋转台固定设置在所述固定板上；所述固定板设置在所述过渡板上；所述过渡板设置在所述支座上；所述中空电动旋转台适于将光学镜片进行固定并进行旋转角度调节。2.如权利要求1所述的用于光学镜片的位置调节机构，其特征在于，所述中空电动旋转台包括：箱体、交叉滚子轴承、外齿圈以及输出轴；所述箱体开设有适于所述交叉滚子轴承安装的安装腔；所述外齿圈套设在所述交叉滚子轴承外部；所述输出轴插入所述箱体内，且与所述外齿圈啮合；所述输出轴适于在转动时，带动所述外齿圈转动，从而带动所述交叉滚子轴承转动；所述交叉滚子轴承适于带动固定在所述交叉滚子轴承上的光学镜片转动。3.如权利要求2所述的用于光学镜片的位置调节机构，其特征在于，所述中空电动旋转台还包括减速机；所述减速机固定设置在所述箱体上，且适于带动所述输出轴发生转动。4.如权利要求1所述的用于光学镜片的位置调节机构，其特征在于，所述用于光学镜片的位置调节机构还包括第一螺纹副以及两个第一弹性固定件；所述固定板的左右两侧分别通过所述第一弹性固定件与所述过渡板连接；所述固定板通过所述第一螺纹副与所述过渡板连接；所述第一螺纹副适于在旋转时，调整所述固定板在第一方...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈明，
申请(专利权)人：江苏三米科思半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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