【技术实现步骤摘要】
一种管路密封接头及高精度XY气浮运动系统、方法
[0001]本专利技术属于密封
，具体涉及一种管路密封接头及高精度XY气浮运动系统、方法。
技术介绍
[0002]随着精密加工，精密测量技术的不断发展，对检测及加工精度及速度要求越来越高，但是传统的检测平台在移动的过程中会受到摩擦力等影响，使得移动无法精确的控制，使用气浮轴承可以使得平台在移动过程中受到的摩擦力减小，显著减少运动惯量。但是对于气浮轴承的气接头处一般采用抱箍的方式进行紧固，但是抱箍的长时间使用会对气接头造成磨损，也会对气管造成磨损，导致气接头或气管破损漏气，影响气浮轴承的使用。气浮轴承是采用气囊形成气浮膜，在气浮轴承长时间不使用的情况下，会导致气囊内的气体在排出后气囊内壁的黏连，对气囊造成损坏，影响气浮轴承的使用。
[0003]因此，基于上述技术问题需要设计一种新的管路密封接头及高精度XY气浮运动系统、方法。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种管路密封接头及高精度XY气浮运动系统、方法。
[0005]为了解决...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种管路密封接头，其特征在于，包括：接头本体，所述接头本体内设置有容纳腔，所述容纳腔的形状与待连接的气接头形状适配；所述接头本体长度方向上的两端开口设置；所述容纳腔在接头本体长度方向的两端开口设置；所述容纳腔的一端面与所述接头本体长度方向上的一端面连接；所述容纳腔与所述接头本体的内壁之间留有空隙；所述接头本体内设置有引导组件，所述引导组件设置在所述容纳腔与所述接头本体长度方向上的另一端面之间；所述引导组件适于将气体引导至容纳腔与接头本体内壁之间。2.如权利要求1所述的管路密封接头，其特征在于，所述接头本体包括：上接头和下接头；所述上接头与所述下接头之间通过弹性环连接；所述上接头的一端面与所述下接头的一端面连接；所述上接头的另一端面与所述容纳腔的一端面连接；所述容纳腔的另一端面位于弹性环一侧；所述引导组件设置在所述容纳腔下方。3.如权利要求2所述的管路密封接头，其特征在于，所述引导组件包括：锥形头和环体；所述锥形头设置在所述环体的中心位置；所述锥形头的横截面接较小的一端朝向接头本体长度方向上的另一端面；所述环体的侧壁与所述弹性环接触；所述环体上周向开设有若干气孔；所述锥形头横截面积较大的端面朝向容纳腔，并且所述锥形头横截面积较大的端面的面积大于容纳腔另一端面的面积。4.如权利要求3所述的管路密封接头，其特征在于，所述环体的边沿朝向下接头的位置设置有导角，并且所述导角适于与下接头的边沿接触。5.如权利要求4所述的管路密封接头，其特征在于，所述弹性环外罩设有保护环；所述保护环上周向开设有若干通孔，所述通孔的长度方向沿所述接头本体的长度方向设置；所述通孔内铰接有压杆，所述压杆的长度方向沿所述接头本体的长度方向设置。6.如权利要求5所述的管路密封接头，其特征在于，所述通孔的一侧设置有一对滑槽，所述滑槽设置在所述保护环上；一对滑槽中的一个滑槽靠近通孔内顶面设置，另一滑槽靠近通孔内底面设置；所述滑槽的长度方向沿所述通孔的宽度方向设置，所述滑槽与所述通孔连通；所述滑槽内设置有适配的滑块，滑块朝向接头本体内部的一面上设置有压块；所述滑块适于沿所述滑槽滑动，带动所述压块从滑槽中伸出，使得压块与压杆接触。
7.如权利要求6所述的管路密封接头，其特征在于，在通气时，将接头本体套设在气接头上，通过接头本体向气接头通气，此时环体与下接头的边沿接触，气体通过气孔流向容纳腔与上接头内壁之间，通过气体的压力使得容纳腔与气接头的外壁紧密接触，此时压杆通过挤压弹性环与环体接触，并且通过滑块沿所述滑槽滑动带动压块从滑槽中伸出，使得压块与压杆接触，避免气体带动环体移动；在通过气体的压力使得容纳腔与气接头的外壁紧密接触后，气体进入气接头；在通气结束后，通过滑块沿所述滑槽滑动带动压块收入滑槽中，使...
【专利技术属性】
技术研发人员：王敏，朱俊，
申请(专利权)人：江苏三米科思半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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