光学装置及激光光束形状调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于光学仪器技术领域，具体涉及一种光学装置及激光光束形状调整方法，本光学装置包括：柱面镜组一、柱面镜组二、准直镜和移动组件；当柱面镜组一中第一柱面镜相对第二柱面镜或第二柱面镜相对第一柱面镜移动时，以调整激光光束在竖直面上聚光后的发散角；当柱面镜组二中第三柱面镜相对第四柱面镜或第四柱面镜相对第三柱面镜移动时，以调整激光光束在水平面上聚光后的发散角；本发明专利技术能够单独改变激光光束在竖直方向、水平方向的发散角，实现能够改变激光光束在竖直方向、水平方向的直径，同时也能够实现出射平行光，满足在检测晶圆缺陷时不同需求，实现激光光束以最优均匀性检测更小的缺陷信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学仪器，具体涉及光束整形装置，尤其涉及一种光学装置及激光光束形状调整方法。

技术介绍

1、在检测晶圆缺陷时，为了对晶圆进行快速精准的扫描，需要调整激光光束的形状，而传统光学装置只能够通过单一光学元件同时调整激光光束在水平方向和竖直方向发散角，导致两个方向的调整相互耦合，无法独立优化，影响激光光束的质量。

2、因此，亟需开发一种新的光学装置及激光光束形状调整方法，以解决传统光学装置采用单一光学元件对激光光束调整时，激光光束在水平方向、竖直方向会相互耦合的技术问题。

3、需要说明的是，本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的
技术介绍
，因此，并不认为上述描述构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、本公开实施例至少提供一种光学装置及激光光束形状调整方法。

2、第一方面，本公开实施例提供了一种光学装置，其包括：柱面镜组一、柱面镜组二、准直镜和移动组件；其中所述柱面镜组一、柱面镜组二分别位于激光器与准直镜之间，且所述柱面镜组一、柱面镜组二、准直镜分别活动安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

6.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

7.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

8.一种采用如权利要求1-7任一项所述的激光光束形状调整方法，其特征在于，包括：

9.如权利要求8所述的激光光束形状调整方法，其特征在于，

10.如权利要求8所述的激光光束...

【技术特征摘要】

1.一种光学装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

6.如权利要求1所述的光学装...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇浩，韦巍，朱俊，
申请(专利权)人：江苏三米科思半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：