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本发明属于光学仪器技术领域,具体涉及一种光学装置及激光光束形状调整方法,本光学装置包括:柱面镜组一、柱面镜组二、准直镜和移动组件;当柱面镜组一中第一柱面镜相对第二柱面镜或第二柱面镜相对第一柱面镜移动时,以调整激光光束在竖直面上聚光后的发散角...该专利属于江苏三米科思半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏三米科思半导体设备有限公司授权不得商用。
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本发明属于光学仪器技术领域,具体涉及一种光学装置及激光光束形状调整方法,本光学装置包括:柱面镜组一、柱面镜组二、准直镜和移动组件;当柱面镜组一中第一柱面镜相对第二柱面镜或第二柱面镜相对第一柱面镜移动时,以调整激光光束在竖直面上聚光后的发散角...