一种用于晶圆检验的治具制造技术

本申请属于晶圆检验技术领域，公开了一种用于晶圆检验的治具，包括垫台和均匀安置在垫台底部的数个机架，所述垫台上间隔安装有两个垫架，两个所述垫架之间对称设置有两对抵固部件，且其中一对所述抵固部件固定设置，另一对所述抵固部件活动设置，所述垫台的侧边上安装有与活动设置的一对抵固部件相匹配的弹开机构，所述垫台上开设有滑动轨道，所述滑动轨道内滑动安装有F型架，所述F型架的两横直端端部均安装有快检相机。本申请通过两个磁铁相对两端部的同性相斥力取代当前粗暴的弹簧弹性作用力，来完成对晶圆的安定目的，能最大程度上减少治具对晶圆的损伤，灵活可靠。灵活可靠。灵活可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆检验的治具


[0001]本申请涉及晶圆检验
，更具体地说，涉及一种用于晶圆检验的治具。

技术介绍

[0002]随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增大。当前的晶圆检验作业主要通过快检相机进行，这就需要借助治具对晶圆进行安定，但当前检验治具对晶圆的安定大多采用弹簧弹性作用力带来的压紧力实现，容易有压伤、损坏晶圆的几率，存在着一定的局限性。

技术实现思路

[0003]本申请的目的是为了解决现有技术中检验治具对晶圆的安定大多采用弹簧弹性作用力带来的压紧力实现，容易有压伤、损坏晶圆情况的问题，而提出的一种用于晶圆检验的治具。
[0004]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0005]一种用于晶圆检验的治具，包括垫台和均匀安置在垫台底部的数个机架，所述垫台上间隔安装有两个垫架，两个所述垫架之间对称设置有两对抵固部件，且其中一对所述抵固部件固定设置，另一对所述抵固部件活动设置，所述垫台的侧边上安装有与活动设置的一对抵固部件相匹配的弹开机构，所述垫台上开设有滑动轨道，所述滑动轨道内滑动安装有F型架，所述F型架的两横直端端部均安装有快检相机。
[0006]进一步的，所述抵固部件包括竖柱和套设在竖柱上部的可换抵套，所述可换抵套为硅胶材料制成。
[0007]通过上述技术方案，可换抵套可根据不同批次的晶圆型号等进行相对应的换装，确保抵定后的稳固性和防跳脱能力。
[0008]进一步的，所述垫台上对称开设有分别供同一对活动设置的抵固部件中两个竖柱滑插设置的两个条形活动口。
[0009]通过上述技术方案，为两个竖柱的活动提供空间，确保两个竖柱滑移过程的稳定性、减少歪斜情况的发生。
[0010]进一步的，所述弹开机构包括固定安装在两个可活动的竖柱下部的联带座，且所述联带座的顶部与垫台的底部贴合式滑抵相连，所述联带座的底侧嵌固有第二磁铁，所述垫台的侧边底侧固定有与第二磁铁正对的第一磁铁。
[0011]通过上述技术方案，给活动设置的一对抵固部件外部的可靠介入力，促使其能复位达到抵定目的。
[0012]进一步的，所述第一磁铁靠近第二磁铁的一端设置为“N”极，所述第二磁铁靠近第一磁铁的一端设置为“N”极，相对应的，所述第二磁铁远离第一磁铁的一端设置为“S”极，所述第一磁铁远离第一磁铁的一端设置为“S”极。
[0013]通过上述技术方案，正常情况下第一磁铁、第二磁铁相对的两端部发生相斥作用。
[0014]进一步的，所述垫台上间隔开设有两个安插槽口，所述安插槽口内可拔插式滑动安装有磁性隔块。
[0015]通过上述技术方案，通过拔插复位磁性隔块能方便对第一磁铁、第二磁铁的相斥力进行隔开。
[0016]综上所述，本申请包括以下至少一个有益技术效果：
[0017]1、在磁铁同性相斥力的作用下实现两对抵固部件对两个垫架上摆置的晶圆的有效抵定，确保检验作业的顺利开展，两个快检相机同时对晶圆底、顶部进行快检即可，这样通过两个磁铁相对两端部的同性相斥力取代当前粗暴的弹簧弹性作用力，来完成对晶圆的安定目的，能最大程度上减少治具对晶圆的损伤，灵活可靠；
[0018]2、抵固部件包括竖柱和套设在竖柱上部的可换抵套，可换抵套可根据不同批次的晶圆型号等进行相对应的换装，确保抵定后的稳固性和防跳脱能力。
附图说明
[0019]图1为本申请安置晶圆时的三维结构示意图；
[0020]图2为本申请撤去晶圆后的三维结构示意图；
[0021]图3为本申请底侧的三维结构示意图一；
[0022]图4为本申请底侧的三维结构示意图二。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、机架；2、垫台；201、滑动轨道；202、条形活动口；203、安插槽口；3、F型架；4、快检相机；5、垫架；6、竖柱；7、可换抵套；8、磁性隔块；9、第一磁铁；10、联带座；11、第二磁铁。
具体实施方式
[0025]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0026]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0028]以下结合附图对本申请作进一步的详细说明。
[0029]实施例1：
[0030]参照图1
‑
4，本申请实施例中的一种用于晶圆检验的治具，包括垫台2和均匀安置
在垫台2底部的数个机架1，垫台2上间隔安装有两个垫架5，两个垫架5之间对称设置有两对抵固部件，且其中一对抵固部件固定设置，另一对抵固部件活动设置，垫台2的侧边上安装有与活动设置的一对抵固部件相匹配的弹开机构，垫台2上开设有滑动轨道201，滑动轨道201内滑动安装有F型架3，F型架3的两横直端端部均安装有快检相机4。
[0031]抵固部件包括竖柱6和套设在竖柱6上部的可换抵套7，可换抵套7的两凸缘对晶圆的外缘的底、顶部进行配合卡定。垫台2上对称开设有分别供同一对活动设置的抵固部件中两个竖柱6滑插设置的两个条形活动口202。
[0032]弹开机构包括固定安装在两个可活动的竖柱6下部的联带座10，且联带座10的顶部与垫台2的底部贴合式滑抵相连，联带座10的底侧嵌固有第二磁铁11，垫台2的侧边底侧固定有与第二磁铁11正对的第一磁铁9；第一磁铁9靠近第二磁铁11的一端设置为“N”极，第二磁铁11靠近第一磁铁9的一端设置为“N”极，相对应的，第二磁铁11远离第一磁铁9的一端设置为“S”极，第一磁铁9远离第一磁铁9的一端设置为“S”极，正常情况下第一磁铁9、第二磁铁11相对的两端部发生相斥作用。垫台2上间隔开设有两个安插槽口203，安插槽口203内可拔插式滑动安装有磁性隔块8，通过拔插复位磁性隔块8能方便对第一磁铁9、第二磁铁11的相斥力进行隔开。
[0033]具体详细的实施原理为：将磁性隔块8插在第一磁铁9正上方的安插槽口203本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆检验的治具，包括垫台(2)和均匀安置在垫台(2)底部的数个机架(1)，其特征在于：所述垫台(2)上间隔安装有两个垫架(5)，两个所述垫架(5)之间对称设置有两对抵固部件，且其中一对所述抵固部件固定设置，另一对所述抵固部件活动设置，所述垫台(2)的侧边上安装有与活动设置的一对抵固部件相匹配的弹开机构，所述垫台(2)上开设有滑动轨道(201)，所述滑动轨道(201)内滑动安装有F型架(3)，所述F型架(3)的两横直端端部均安装有快检相机(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检验的治具，其特征在于：所述抵固部件包括竖柱(6)和套设在竖柱(6)上部的可换抵套(7)，所述可换抵套(7)为硅胶材料制成。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检验的治具，其特征在于：所述垫台(2)上对称开设有分别供同一对活动设置的抵固部件中两个竖柱(6)滑插设置的两个条形活动口(202)。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：张平亚，
申请(专利权)人：武汉智勤兴合电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：