砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质技术方案

本发明专利技术公开了一种砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质，包括步骤：将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离；将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。本发明专利技术能够将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。生产使用要求。生产使用要求。

【技术实现步骤摘要】
砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质


[0001]本专利技术涉及砂浆回收
，尤其是涉及一种砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质。

技术介绍

[0002]在半导体硅晶圆片切割的生产行业中，浆料是硅晶圆片切割过程中的重要耗材，切割浆料的性能与线切割机对硅晶圆片切割的效果有着不可分割的关系；为降低生产成本和保护环境，硅晶圆片制造企业在硅晶圆片切割过程中，对切割浆料进行在线回收再利用是半导体硅晶圆片切割高效生产的重要环节。
[0003]砂浆在线回收机在硅片切割车间为单独使用，压滤液箱中清液的进料和成品砂浆出料是单独进行，相互之间没有实际的联系，不能准确控制成品砂浆的密度。生产中产生的废砂浆中存在一些无效颗粒及其他金属杂质，严重影响生产使用，则此时需回收系统进行回收，将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服上述技术不足，提出一种砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质，解决现有技术中生产中产生的废砂浆中存在一些无效颗粒及其他金属杂质，严重影响生产使用的技术问题。
[0005]为达到上述技术目的，第一方面，本专利技术的技术方案提供一种砂浆回收方法，包括以下步骤：
[0006]在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；
[0007]将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；/>[0008]在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；
[0009]将所述一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
[0010]将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
[0011]与现有技术相比，本专利技术的有益效果包括：
[0012]本专利技术提供的砂浆回收方法，首先在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；然后，将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；其次，在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；其次，将所述一次回收砂浆
输送至一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；最后，将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
[0013]本专利技术提供的砂浆回收方法，能够有效去除废砂浆中的无效颗粒及其他金属杂质，提升废砂浆的回收使用效果，大幅度降低生产成本，使砂浆能够很好地循环使用，具有非常好的实用价值，能够将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，包括步骤：
[0015]将所述一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；
[0016]在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将所述二次分离回收砂浆固相输送至所述二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至所述二次落饼罐中的总质量达到预设质量；
[0017]将所述二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环所述二次回收砂浆的过程中添加冷却精滤液进行自循环密度检测，直到所述二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
[0018]将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，在所述废砂浆调和罐、一次调和罐和二次调和罐中设置有密度传感器，通过所述密度传感器检测调和砂浆、一次回收砂浆和二次回收砂浆密度。
[0020]根据本专利技术的一些实施例，在所述得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相之后，包括步骤：
[0021]将所述一次分离回收砂浆液相和所述二次回收砂浆液相输送至脏液箱；
[0022]将所述脏液箱的混合液加热到工艺要求温度后进入压滤机中进行固液分离，将分离得到的所述回收液输送到压滤液箱。
[0023]根据本专利技术的一些实施例，在将分离得到的所述回收液输送到压滤液箱之后，包括步骤：
[0024]使用精滤器对所述回收液进行精滤处理再使用冷却板进行冷却处理，得到所述冷却精滤液。
[0025]根据本专利技术的一些实施例，根据所述成品砂浆的粒径设定所述调和砂浆的预设工艺密度以及所述一次回收砂浆的预设密度。
[0026]第二方面，本专利技术提供了一种砂浆回收系统，包括：
[0027]废砂浆调和罐，将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；
[0028]一次离心机，与所述废砂浆调和罐连接，将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；
[0029]一次落饼罐，底部铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；
[0030]一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
[0031]成品砂浆储存罐，用于将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二
次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
[0032]根据本专利技术的一些实施例，砂浆回收系统还包括：
[0033]脏液箱，用于储存所述一次分离回收砂浆液相和二次分离砂浆液相；
[0034]压滤机，与所述脏液箱连接，用于将所述脏液箱加热到工艺要求温度的混合液进行固液分离得到的所述回收液；
[0035]压滤液箱，与所述压滤机连接，用于储存所述回收液。
[0036]第三方面，本专利技术提供了一种电子设备，包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如第一方面所述的砂浆回收方法。
[0037]第四方面，本专利技术提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使计算机执行如第一方面所述的砂浆回收方法。
[0038]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0039]本专利技术的上述和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种砂浆回收方法，其特征在于，包括以下步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将所述一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。2.根据权利要求1所述的一种砂浆回收方法，其特征在于，将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，包括步骤：将所述一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将所述二次分离回收砂浆固相输送至所述二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至所述二次落饼罐中的总质量达到预设质量；将所述二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环所述二次回收砂浆的过程中添加冷却精滤液进行自循环密度检测，直到所述二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度。3.根据权利要求1所述的一种砂浆回收方法，其特征在于，在所述废砂浆调和罐、一次调和罐和二次调和罐中设置有密度传感器，通过所述密度传感器检测调和砂浆、一次回收砂浆和二次回收砂浆密度。4.根据权利要求2所述的一种砂浆回收方法，其特征在于，在所述得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相之后，包括步骤：将所述一次分离回收砂浆液相和所述二次回收砂浆液相输送至脏液箱；将所述脏液箱的混合液加热到工艺要求温度后进入压滤机中进行固液分离，将分离得到的所述回收液输送到压滤液箱。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌海，徐健，陈磊，马小飞，
申请(专利权)人：江阴东为资源再生技术有限公司，
类型：发明
国别省市：