硅片切割液在线循环回收系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种硅片切割液在线循环回收系统，包含有废水收集池，所述废水收集池经泵连通至脏水箱，所述脏水箱经进料泵连通至压滤机，所述压滤机的出液口连通至电动三通阀二的进口，且压滤机的出液口与电动三通阀二的进口之间的管路上安装有浊度仪，上述电动三通阀二的一个出口连通至清液缓冲箱，另一出口连通至脏水箱，所述清液缓冲箱经离心泵和过滤膜组连通至电动三通阀三的进口，电动三通阀三的的一个出口连通至清液存储箱，另一出口经电动三通阀四连通至脏水箱。整个系统采用多级循环净化提高回收所用的切割液的质量且整个回收过程为在线形式，极大的提高了回收效率。极大的提高了回收效率。极大的提高了回收效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片切割液在线循环回收系统


[0001]本技术涉及一种在线循环回收系统，尤其是涉及一种在硅片切割过程中对切割液废水进行循环回收利用的系统。

技术介绍

[0002]目前，光伏/半导体行业在对硅片进行切片操作时,会产生大量的切割液废水，直接排放不但会造成切削液的浪费(成本损失)，而且还会造成环境污染，为此必须进行回收处理。常规的废砂浆回收系统只是简单压滤处理后对切削液进行收集回用，其不但回用质量堪忧，而且整个系统缺乏系统化的布置，效率低下。为此，亟需一种回收质量高且回收效率高的回收系统以解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服上述不足，提供一种硅片切割液在线循环回收系统，其多级循环净化提高回收所用的切割液的质量且整个回收过程采用在线形式，极大的提高了回收效率。
[0004]本技术的目的是这样实现的：
[0005]一种硅片切割液在线循环回收系统，包含有废水收集池，所述废水收集池经泵连通至脏水箱，所述脏水箱经进料泵连通至压滤机，所述压滤机的出液口连通至电动三通阀二的进口，且压滤机的出液口与电动三通阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：包含有废水收集池(1)，所述废水收集池(1)经泵连通至脏水箱(2)，所述脏水箱(2)经进料泵连通至压滤机(3)，所述压滤机(3)的出液口连通至电动三通阀二(102)的进口，且压滤机(3)的出液口与电动三通阀二(102)的进口之间的管路上安装有浊度仪，上述电动三通阀二(102)的一个出口连通至清液缓冲箱(4)，另一出口连通至脏水箱(2)，所述清液缓冲箱(4)经离心泵和过滤膜组(6)连通至清液存储箱(5)。2.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：清液存储箱(5)的出液口经两台相互并联的离心泵对外供液，且清液存储箱(5)的出液口与离心泵之间的管路上安装有COD检测仪器。3.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述废水收集池(1)经袋式过滤器后泵入脏水箱(2)。4.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述脏水箱(2)、压滤机(3)和清液缓冲箱(4)分别并联设置有两台。5.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述废水收集池(1)上安装有两台砂浆泵。6.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：废水收集池(1)旁设置有多条延伸至切片机的地沟，且地沟中部以及与废水收集池(1)相连通的尾端均安装有过滤网，地沟由切片机向废水收集池(1)斜向下倾斜...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨东祥，凌海，徐健，陈磊，
申请(专利权)人：江阴东为资源再生技术有限公司，
类型：新型
国别省市：