下载硅片切割液在线循环回收系统的技术资料

文档序号:32201834

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本实用新型涉及一种硅片切割液在线循环回收系统,包含有废水收集池,所述废水收集池经泵连通至脏水箱,所述脏水箱经进料泵连通至压滤机,所述压滤机的出液口连通至电动三通阀二的进口,且压滤机的出液口与电动三通阀二的进口之间的管路上安装有浊度仪,上述电...
该专利属于江阴东为资源再生技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴东为资源再生技术有限公司授权不得商用。

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