【技术实现步骤摘要】
湿度感测结构及湿度传感器
[0001]本技术涉及湿度传感器领域，特别涉及湿度感测结构、湿度传感器及湿度感测结构的制作方法。
技术介绍
[0002]湿度反映的是大气中在一定温度下水汽的含量。该物理量在军事、气象农业、工业、医疗、建筑以及家用电器等方面均有广泛使用。
[0003]湿度传感器是一种能够将湿度量转换成可被外部设备接收及处理的电信号的装置，包括电容式、电阻式及压阻式等湿度传感器，其中，电容式传感器由于其便捷灵敏低成本的特点最为广泛应用。电容式湿度传感器的工作原理是：电解质吸附水汽分子后，混合介质的介电常数发生变化，从而引起电容的变化。
[0004]图1是现有的一种湿度感测结构的剖面结构示意图。如图1所示，该湿度感测结构包括三明治结构，其中三明治结构因其优越的灵敏度性能得到了广泛应用，但是该三明治结构对水汽的响应速度较慢。具体地，在该湿度感测结构中，其感湿介质层3
’
都是包裹在上下电极2
’
、4
’
之间的，外界水汽需要越过上电极4
’
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种湿度感测结构，其特征在于，包括：相对设置的第一基板和第二基板；第一湿敏电极，所述第一湿敏电极位于所述第一基板朝向所述第二基板的一侧上；第二湿敏电极，所述第二湿敏电极位于所述第二基板朝向所述第一基板的一侧上；至少一个感湿介质层，所述至少一个感湿介质层设于所述第一湿敏电极与所述第二湿敏电极之间；所述至少一个感湿介质层的与所述第一基板和所述第二基板平行的感湿表面与空气直接接触；其中，所述第二基板为PCB基板。2.根据权利要求1所述的湿度感测结构，其特征在于，沿垂直所述第一基板所在平面方向上，所述第一湿敏电极、所述第二湿敏电极以及所述至少一个感湿介质层的投影至少部分交叠。3.根据权利要求2所述的湿度感测结构，其特征在于，所述至少一个感湿介质层仅包括一个感湿介质层，该感湿介质层位于所述第一湿敏电极背离所述第一基板的一侧上并且该感湿介质层与所述第二湿敏电极之间具有空气间隙，或者，该感湿介质层位于所述第二湿敏电极背离所述第二基板的一侧上并且该感湿介质层与所述第一湿敏电极之间具有空气间隙。4.根据权利要求3所述的湿度感测结构，其特征在于，包括绝缘介质层；其中，在所述感湿介质层位于所述第一湿敏电极背离所述第一基板的一侧上的情况下，沿垂直于所述第一基板所在平面方向上，所述绝缘介质层设置在所述感湿介质层与所述第一湿敏电极之间，或者，在所述感湿介质层位于所述第二湿敏电极背离所述第二基板的一侧上的情况下，沿垂直所述第二基板所在平面方向上，所述绝缘介质层设置在所述感湿介质层与所述第二湿敏电极之间。5.根据权利要求2所述的湿度感测结构，其特征在于，所述至少一个感湿介质层包括第一感湿介质层和第二感湿介质层；其中，所述第一感湿介质层位于所述第一湿敏电极背离所述第一基板的一侧上，所述第二感湿介质层位于所述第二湿敏电极背离所述第二基板的一侧上，并且所述第一感湿介质层与所述第二感湿介质层之间具有空气间隙。6.根据权利要求5所述的湿度感测结构，其特征在于，包括第一绝缘介质层和第二绝缘...
【专利技术属性】
技术研发人员：李萍萍，
申请(专利权)人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。