固定装置及检测系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种固定装置及检测系统。其中，固定装置包括第一固定架、固定盘和多个固定组件；第一固定架设置有第一孔；各固定组件围绕第一孔安装于第一固定架上，固定组件包括第一驱动器和固定件，第一驱动器用于驱使固定件进入或脱离第一孔；固定件设置有第一连接部和第一抵持部，第一连接部与第一驱动器的输出端连接；固定盘设置有底面，固定盘设置于第一孔内，第一抵持部与底面抵持。通过多个固定件的抵持能够实现固定盘在第一孔内的固定，且当检测操作完成后需要更换固定盘或探针卡时，将固定盘沿底面方向从第一固定架上拆卸即可，不需要等检测装置复位后，再进行固定盘的取出，提高拆卸效率。提高拆卸效率。提高拆卸效率。

【技术实现步骤摘要】
固定装置及检测系统


[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其是涉及一种固定装置及检测系统。

技术介绍

[0002]相关技术中，为了对晶圆进行检测，需要使用固定装置对探针卡进行固定。现有技术中的固定装置通常在固定座上设置有承托槽，将探针卡放置于承托槽内再对探针卡进行预紧固定，在完成检测操作后，为防止检测装置与探针卡的干涉，需要等检测装置复位后再进行探针卡的拆卸和更换，造成工序不紧凑的问题，影响了晶圆的检测效率，因此，有必要针对该问题进行研究解决。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种固定装置，能够提高探针卡的拆卸的效率。
[0004]本技术还提出一种设置有上述固定装置的检测系统。
[0005]根据本技术实施例的固定装置，包括：
[0006]第一固定架，所述第一固定架设置有第一孔；
[0007]多个固定组件，各所述固定组件安装于所述第一固定架上，且各所述固定组件围绕所述第一孔设置，所述固定组件包括第一驱动器和固定件，所述第一驱动器设置有输出端，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.固定装置，用于晶圆检测，其特征在于，包括：第一固定架，所述第一固定架设置有第一孔；多个固定组件，各所述固定组件安装于所述第一固定架上，且各所述固定组件围绕所述第一孔设置，所述固定组件包括第一驱动器和固定件，所述第一驱动器设置有输出端，所述第一驱动器用于驱使所述固定件进入或脱离所述第一孔；所述固定件设置有第一连接部和第一抵持部，所述第一连接部与所述输出端连接；固定盘，用于固定探针卡，所述固定盘设置有底面，所述固定盘设置于所述第一孔内，所述第一抵持部与所述底面抵持。2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定件还设置有第二抵持部，所述固定盘还设置有侧面，所述第二抵持部与所述侧面抵持。3.根据权利要求1或2所述的固定装置，其特征在于，所述固定组件还包括第二固定架，所述第二固定架与所述第一固定架固定连接，所述固定件与所述第二固定架滑动连接。4.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述固定件还设置有第二连接部，所述第二固定架设置有第二孔和第三孔，所述第二孔设置有第一位置和第二位置，沿所述第一抵持部朝向所述第二连接部的方向，所述第一位置和所述第二位置依次排布，所述第三孔设置有第三位置和第四位置，沿所述第二连接部朝向所述第一抵持部的方向，所述第三位置和所述第四位置依次排布；所述固定组件还包括连接件、第一转轴和第二转轴，所述连接件固定连接于所述输出端，所述连接件设置有第四孔，所述第四孔设置有第五位置和第六位置，沿所述第二连接部朝向所述第一抵持部的方向，所述第五位置和所述第六位置依次排列，所述第一转轴转动连接于所述第一连接部，且所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢世敏，陶靖飞，
申请(专利权)人：精芯智能装备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：