一种新型晶片溢流槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型晶片溢流槽，涉及晶片加工技术领域。包括上部开口的槽体；槽体一侧底部设置有进水口；槽体内侧底部沿槽体长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置；固定装置包括垂直固定于槽体内侧底部的支撑板；支撑板顶部设置有向支撑板外部突出的卡板；1寸花篮卡设于支撑板与支撑板之间；卡板用于限制1寸花篮的边缘；卡板的高度低于槽体溢流液面的高度。本实用新型专利技术通过在溢流槽内设置固定装置，对1寸花篮进行限位，防止1寸花篮浮出溢流液面，有效对1寸花篮内的晶片进行溢流清洗，避免水印缺陷。避免水印缺陷。避免水印缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种新型晶片溢流槽


[0001]本技术涉及晶片加工
，特别涉及一种新型晶片溢流槽。

技术介绍

[0002]在晶片加工过程中，晶片抛光后需要进行清洗，抛光后的晶片先放入花篮中，花篮装满后再放入晶片溢流槽中；水流从溢流槽底部进入，最终从晶片溢流槽的边缘溢出，以此流动水对淹没状态下的晶片进行清洗。目前现有的水槽不适用于1寸晶片，因1寸晶片尺寸小以及1寸的花篮质量轻，花篮放置在水槽中会被水流冲浮起来，晶片不能被淹没，晶片部分位置位于溢流液面之上，导致会产生水印缺陷，需返工处理；多次返工，消耗晶片厚度同时耽误抛光车间产能。

技术实现思路

[0003]本技术主要目的在提供一种新型晶片溢流槽，以解决上述问题。
[0004]为达上述目的，本技术提供一种新型晶片溢流槽，包括上部开口的槽体；所述槽体一侧底部设置有进水口；所述槽体内侧底部沿槽体长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置；所述固定装置包括垂直固定于槽体内侧底部的支撑板；所述支撑板顶部设置有向支撑板外部突出的卡板；1寸花篮卡设于支撑板与支撑板之间；所述卡板用于限制1寸花篮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型晶片溢流槽，其特征在于，包括上部开口的槽体；所述槽体一侧底部设置有进水口；所述槽体内侧底部沿槽体长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置；所述固定装置包括垂直固定于槽体内侧底部的支撑板；所述支撑板顶部设置有向支撑板外部突出的卡板；1寸花篮卡设于支撑板与支撑板之间；所述卡板用于限制1寸花篮的边缘；所述卡板的高度低于槽体溢流液面的高度。2.如权利要求1所述的一种新型晶片溢流槽，其特征在于，所述槽体的开口...

【专利技术属性】
技术研发人员：李民，王文彬，洪庆福，任殿胜，赵波，高伟，
申请(专利权)人：保定通美晶体制造有限责任公司，
类型：新型
国别省市：