一种新型晶片溢流槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型晶片溢流槽，涉及晶片加工技术领域。包括上部开口的槽体；槽体一侧底部设置有进水口；槽体内侧底部沿槽体长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置；固定装置包括垂直固定于槽体内侧底部的支撑板；支撑板顶部设置有向支撑板外部突出的卡板；1寸花篮卡设于支撑板与支撑板之间；卡板用于限制1寸花篮的边缘；卡板的高度低于槽体溢流液面的高度。本实用新型专利技术通过在溢流槽内设置固定装置，对1寸花篮进行限位，防止1寸花篮浮出溢流液面，有效对1寸花篮内的晶片进行溢流清洗，避免水印缺陷。避免水印缺陷。避免水印缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种新型晶片溢流槽


[0001]本技术涉及晶片加工
，特别涉及一种新型晶片溢流槽。

技术介绍

[0002]在晶片加工过程中，晶片抛光后需要进行清洗，抛光后的晶片先放入花篮中，花篮装满后再放入晶片溢流槽中；水流从溢流槽底部进入，最终从晶片溢流槽的边缘溢出，以此流动水对淹没状态下的晶片进行清洗。目前现有的水槽不适用于1寸晶片，因1寸晶片尺寸小以及1寸的花篮质量轻，花篮放置在水槽中会被水流冲浮起来，晶片不能被淹没，晶片部分位置位于溢流液面之上，导致会产生水印缺陷，需返工处理；多次返工，消耗晶片厚度同时耽误抛光车间产能。

技术实现思路

[0003]本技术主要目的在提供一种新型晶片溢流槽，以解决上述问题。
[0004]为达上述目的，本技术提供一种新型晶片溢流槽，包括上部开口的槽体；所述槽体一侧底部设置有进水口；所述槽体内侧底部沿槽体长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置；所述固定装置包括垂直固定于槽体内侧底部的支撑板；所述支撑板顶部设置有向支撑板外部突出的卡板；1寸花篮卡设于支撑板与支撑板之间；所述卡板用于限制1寸花篮的边缘；所述卡板的高度低于槽体溢流液面的高度。
[0005]进一步的，所述槽体的开口边缘均匀设置有多个溢流豁口。
[0006]进一步的，所述溢流豁口呈梯形或三角形或弧形。
[0007]进一步的，所述槽体内部位于固定装置两侧，均设置有斜板；所述斜板与槽体围成三棱柱空腔；所述进水口与所述三棱柱空腔相连通；所述斜板上沿长度方向间隔设置有多个出水孔。
[0008]进一步的，所述出水孔的轴线垂直于斜板。
[0009]本技术具有以下有益效果：
[0010]本技术通过在溢流槽内设置固定装置，对1寸花篮进行限位，防止1寸花篮浮出溢流液面，有效对1寸花篮内的晶片进行溢流清洗，避免水印缺陷。
附图说明
[0011]图1为本技术提出的一种新型晶片溢流槽的立体图；
[0012]图2为本技术提出的一种新型晶片溢流槽的主视图；
[0013]图3为本技术提出的一种新型晶片溢流槽的左视图。
[0014]图中：1
‑
槽体；2
‑
固定装置；3
‑
斜板；11
‑
溢流豁口；12
‑
进水口；21
‑
支撑板；22
‑
卡板；31
‑
出水孔。
具体实施方式
[0015]为达成上述目的及功效，本技术所采用的技术手段及构造，结合附图就本技术较佳实施例详加说明其特征与功能。
[0016]如附图1
‑
3所示，本技术中提供了一种新型晶片溢流槽，包括上部开口的槽体1；所述槽体1一侧底部设置有进水口12；所述槽体1内侧底部沿槽体1长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置2；所述固定装置2包括垂直固定于槽体1内侧底部的支撑板21；所述支撑板21顶部设置有向支撑板21外部突出的卡板22；1寸花篮卡设于支撑板21与支撑板21之间；所述卡板22用于限制1寸花篮的边缘；所述卡板22的高度低于槽体1溢流液面的高度，恰好可放置1寸花篮。
[0017]使用时，将1寸花篮从固定装置2一侧插入两个固定装置2之间，并放置到槽体1的底部，使1寸花篮的边缘位于卡板22下方。在进水口12通入去离子水，即可进行溢流清洗。
[0018]在另一实施例中，所述槽体1的开口边缘均匀设置有多个溢流豁口11，方便水流下。
[0019]在另一实施例中，所述溢流豁口11呈梯形或三角形或弧形，本实施例中为梯形。
[0020]在另一实施例中，所述槽体1内部位于固定装置2两侧，均设置有斜板3；所述斜板3与槽体1围成三棱柱空腔；所述进水口12与所述三棱柱空腔相连通；所述斜板3上沿长度方向间隔设置有多个出水孔31。通过三棱柱空腔对进水口12的水流进行缓冲，使出水孔31出水更加均匀，保证1寸花篮内的晶片清洗一致性。
[0021]在另一实施例中，所述出水孔31的轴线垂直于斜板3，以便于出水孔31汇集各个方向的水流，使出水更加均匀。
[0022]以上所述仅为本技术较佳实施例而已，非全部实施例，任何人应该得知在本技术的启示下做出的结构变化，凡是与本技术具有相同或者相近似的技术方案，均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型晶片溢流槽，其特征在于，包括上部开口的槽体；所述槽体一侧底部设置有进水口；所述槽体内侧底部沿槽体长度方向间隔设置有多个用于固定1寸花篮的固定装置；所述固定装置包括垂直固定于槽体内侧底部的支撑板；所述支撑板顶部设置有向支撑板外部突出的卡板；1寸花篮卡设于支撑板与支撑板之间；所述卡板用于限制1寸花篮的边缘；所述卡板的高度低于槽体溢流液面的高度。2.如权利要求1所述的一种新型晶片溢流槽，其特征在于，所述槽体的开口...

【专利技术属性】
技术研发人员：李民，王文彬，洪庆福，任殿胜，赵波，高伟，
申请(专利权)人：保定通美晶体制造有限责任公司，
类型：新型
国别省市：