【技术实现步骤摘要】
巨量转移装置及巨量转移方法
[0001]本专利技术涉及巨量转移
，尤其涉及一种巨量转移装置及巨量转移方法。
技术介绍
[0002]Micro LED显示技术，是将传统LED微型化集成化形成微米级间距LED阵列，以达到具有超高解析度显示效果的技术。Micro
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LED具备自发光的特性，相比OLED和LCD显示，Micro
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LED色彩更容易准确的调试，有更长的发光寿命和更高的亮度、对比度，同时更具轻薄及省电优势。由于其高密度、小尺寸、超多像素的特点，Micro
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LED将成为未来最具潜力的新一代革命性显示技术。
[0003]目前在Micro
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LED中最大的工艺瓶颈是巨量转移环节，巨量转移过程中，WB(Wafer Bonding，晶圆键合)是一项关键的工艺，是指Micro LED生长基板通过胶材与暂态板进行键合，然后通过激光剥离工艺使Micro LED芯片从生长基板转移到暂态板的过程。在这个工艺过程中，目前通常采用手工键合的方式，在手动使两片...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：承载平台，所述承载平台用于放置生长基板和暂态基板；其中，置于所述承载平台上的所述生长基板设有芯片的第一表面和所述暂态基板设有键合胶层的第二表面正对，且所述生长基板和所述暂态基板均与所述承载平台垂直；以及第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件和所述第二调节组件均设置在所述承载平台上，所述第一调节组件位于所述生长基板背向所述暂态基板的一侧，所述第二调节组件位于所述暂态基板背向所述生长基板的一侧；所述第一调节组件用于与所述生长基板连接，并推动所述生长基板朝向所述暂态基板移动，以使所述芯片和所述键合胶层连接；和/或，所述第二调节组件用于与所述暂态基板连接，并推动所述暂态基板朝向所述生长基板移动，以使所述芯片和所述键合胶层连接。2.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一调节组件包括第一支架和第一推杆，所述第一支架固定在所述承载平台上，所述第一推杆与所述第一支架滑动连接，所述第一支架位于所述生长基板背向所述暂态基板的一侧，所述第一推杆用于与所述生长基板连接，并推动所述生长基板朝向所述暂态基板移动。3.如权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第二调节组件包括第二支架和第二推杆，所述第二支架固定在所述承载平台上，所述第二推杆与所述第二支架滑动连接，所述第二支架位于所述暂态基板背向所述生长基板的一侧，所述第二推杆用于与所述暂态基板连接，并推动所述暂态基板朝向所述生长基板移动。4.如权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一推杆靠近所述生长基板的一端设有吸盘，所述吸盘用于吸附所述生长基板。5.如权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述巨量转移装置还包括第一驱动组件，所述第一驱动组件为一个，一个所述第一驱动组件与所述第一推杆或所述第二推杆连接，所述第一驱动组件驱动所述第一推杆或所述第二推杆移动；或者，所述第一驱动组件为两个，其中一个所述第一驱动组件与所述第一推杆连接，并驱动所述第一推杆移动，另一个所述第一驱动组件与所述第二推杆连接，并驱动所述第二推杆移动。6.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述生长基板包括第一侧面，所述第一侧面与所述第一表面垂直连接，所述暂态基板包括第二侧面，所述第二侧面与所述第二表面垂直连接，所述第一侧面和所述第二侧面均为平面，所述第一侧面和所述第二侧面均放置在所述承载平台上。7.如权利要求5所述的巨量转移装置，其特征在于，所述巨量转移装置还包括第一定位夹具和第二定位夹具，所述第一定位夹具和所述第二定位夹具平行地间隔设置在所述承载平台上，所述第一定位夹具用于调整所述生长基板在所述承载平台上的位置，所述第二定位夹具用于调整所述暂态基板在所述承载平台上的位置，以使所述第一表面与所述第二表面正对。8.如权利要求7所述的巨量转移装置，其特征在于，所述承载平台包括支撑表面，所述
生长基板和所述暂态基板设置在所述支撑表面，所述支撑表面开设有平行间隔设置的第一滑槽和第二滑槽，所述第一定位夹具设置在所述第一滑槽内并沿所述第一滑槽移动，所述第二定位夹具设置在所述第二滑槽内并沿所述第二滑槽移动。9.如权利要求7所述的巨量转移装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：范春林，萧俊龙，蔡明达，王斌，汪庆，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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