微型发光二极管的巨量转移方法技术

本申请提供一种微型发光二极管的巨量转移方法，包括以下步骤：提供原生基板，所述原生基板上设有多个第一发光二极管；在所述第一发光二极管上形成临时基板；移除所述原生基板；翻转所述临时基板后在所述第一发光二极管上形成第一热解胶层；移除所述临时基板，得到第一中间体；提供第二中间体，包括第二热解胶层以及多个第二发光二极管；提供第三中间体，包括第三热解胶层以及多个第三发光二极管；将所述第一中间体、所述第二中间体以及所述第三中间体分别与目标基板对位并压合；以及加热以移除所述第一热解胶层、所述第二热解胶层和所述第三热解胶层，以实现所述发光二极管的转移。本申请的巨量转移方法具有较高的对位准度。本申请的巨量转移方法具有较高的对位准度。本申请的巨量转移方法具有较高的对位准度。

【技术实现步骤摘要】
微型发光二极管的巨量转移方法


[0001]本申请涉及微型发光二极管转移
，尤其涉及一种微型发光二极管的巨量转移方法。

技术介绍

[0002]相比传统显示器，微型发光二极管(Micro LED)具有更佳的色彩对比度、更快的响应速度以及更低的能耗等优点，因此日益受到更多客户的青睐。在发光二极管的制备流程中，通常需要将原生基板上的微型发光二极管批量式转移到目标基板上，并进行封装。如何将数以万计颗微小尺寸的发光二极管准确转移到目标基板上并保证较高的对位准度是巨量转移的主要目标，由此，巨量转移(Mass Transfer)技术也应运而生。然而，现有技术中用于巨量转移的方法具有操作复杂、设备成本较高以及对位准度较低的缺点。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种对位准度较高的微型发光二极管的巨量转移方法。
[0004]本申请一实施例提供一种微型发光二极管的巨量转移方法，包括以下步骤：
[0005]提供原生基板，所述原生基板上设有多个第一发光二极管；
[0006]在所述第一发光二极管上形成临时基板；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型发光二极管的巨量转移方法，其特征在于，包括以下步骤：提供原生基板，所述原生基板上设有多个第一发光二极管；在所述第一发光二极管上形成临时基板；移除所述原生基板；翻转所述临时基板后在所述第一发光二极管上形成第一热解胶层；移除所述临时基板，得到第一中间体；提供第二中间体，包括第二热解胶层以及设于所述第二热解胶层上的多个第二发光二极管；提供第三中间体，包括第三热解胶层以及设于所述第三热解胶层上的多个第三发光二极管；将所述第一中间体、所述第二中间体以及所述第三中间体分别与目标基板对位并压合；以及加热以移除所述第一热解胶层、所述第二热解胶层和所述第三热解胶层，以实现所述发光二极管的转移。2.如权利要求1所述的微型发光二极管的巨量转移方法，其特征在于，所述第一热解胶层、所述第二热解胶层以及所述第三热解胶层中还分别设有第一对位孔、第二对位孔以及第三对位孔，所述目标基板中设有基准孔，所述第一对位孔、所述第二对位孔和所述第三对位孔分别用于与所述基准孔对准以实现所述第一中间体、所述第二中间体以及所述第三中间体与所述目标基板之间的对位。3.如权利要求1所述的微型发光二极管的巨量转移方法，其特征在于，在同一温度条件下，所述第一热解胶层、所述第二热解胶层和所述第三热解胶层的粘度依次降低。4.如权利要求1所述的微型发光二极管的巨量转移方法，其特征在于，所述第一发光二极管发红光、所述第二发光二极管发绿光、所述第三发光二极管发蓝光。5.如权利要求1所述的微型发光二极管的巨量转移方法，其特征在于，所述第一热解胶层中设有多个第一通孔以及多个第二通孔，所述第二热解胶层中设有第三通孔以及第四通孔，所述第三热解胶层中设有第五通孔以及第六通孔，将所述第一中间体、所述第二中间体以及所述第三中间体分别与所述目标基板对位并压合...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈盈儒，杨景筌，鞠彦章，
申请(专利权)人：鹏鼎控股深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：