一种升降式光刻机及其加工方法技术

本发明专利技术公开一种升降式光刻机，包括基架；基架的两侧分别设置有上料传送带和下料传送带，基架的内部设置有中间传送带，基架的顶部设置有桁架，桁架上设置有光学机构；在中间传送带处设置有升降台机构，该升降台机构包括升降工作台、第一矫正机构、第二矫正机构，升降工作台沿着中间传送带升降运动；升降工作台包括工作台，工作台位于两个中间传送带之间，工作台的中部与升降气缸的输出端连接；工作台的两侧分别通过U型杆与扩张板连接；本发明专利技术的升降式光刻机在进行有序输送过程时，实现其对PCB板体升降式光刻处理，以及在升降过程中，对PCB板体进行定位对准、矫正处理，保证PCB板体光刻处理时的精准性。处理时的精准性。处理时的精准性。

【技术实现步骤摘要】
一种升降式光刻机及其加工方法


[0001]本专利技术属于光刻机
，具体为一种升降式光刻机及其加工方法。

技术介绍

[0002]光学加工广泛应用于半导体和PCB生产领域，是制作半导体器件、芯片和PCB板等产品的重要加工方法；中国专利号CN216387740U公开了一种升降式光刻机，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构；光学机构包括光刻镜头，光刻镜头和镜头移动板；对位机构包括对位相机；工作台机构包括上工作台和下工作台，上工作台上设有上斜块升降机构，上工作台通过上斜块升降机构对台面进行垂直升降；下工作台上设有下斜块升降机构，下工作台通过下斜块升降机构对台面进行垂直升降；基于上述现有技术，该升降式光刻机采用上下工作台对PCB板进行升降，来实现光刻处理的效果，但是这种工作台不能与传送带进行有效结合，从而将限制PCB板以输送带为流水线的方式，对PCB板体进行光刻加工处理，从而影响其对PCB板体进行光刻的效率。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就在于为了解决上述
技术介绍
的问题，而提出一种升降式光刻机及其加工方法。
[0004]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种升降式光刻机，包括上料传送带、基架、下料传送带、桁架、光学机构、中间传送带；基架的两侧分别设置有上料传送带和下料传送带，基架的内部设置有中间传送带，基架的顶部设置有桁架，桁架上设置有光学机构；在中间传送带处设置有升降台机构，该升降台机构包括升降工作台、第一矫正机构、第二矫正机构，升降工作台沿着中间传送带升降运动；升降工作台包括工作台、升降气缸、限位滑套、扩张板、定位板，工作台位于两个中间传送带之间，工作台的中部与升降气缸的输出端连接；工作台的两侧分别通过U型杆与扩张板连接；U型杆包括导向杆、第一连接杆，导向杆的顶部与工作台的底面连接，导向杆的底部与第一连接杆的水平部的端部连接，第一连接杆的竖直部的端部与扩张板连接。
[0005]作为本专利技术进一步的方案：导向杆为竖直杆，第一连接杆为L形杆。
[0006]作为本专利技术进一步的方案：光学机构包括光刻镜头，基架为矩形框架结构，基架包括底座、矩形架和连接架，底座的两侧分别设置有矩形架，上料传送带和下料传送带贯穿矩形架的矩形槽；两个矩形架之间设置有连接架，桁架位于连接架上。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：扩张板靠近升降工作台的侧壁上设置有定位板，定位板的水平高度高于工作台的水平高度。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：在升降工作台的两侧设置有第一矫正机构；第一矫正机构包括固定座，固定座内贯穿设置有连接轴，连接轴的一端通过齿轮连接件与扩张板连接，连接轴的另一端与矫正柱垂直连接；连接轴与扩张板呈平行状态设置。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：齿轮连接件包括第二连接杆，第二连接杆垂直安装在扩张板上，第二连接杆远离扩张板的端部上竖直设置有齿条，齿条与齿轮啮合连接，齿轮安装在连接轴的一端上。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：矩形架的顶部上设置有第二矫正机构，第二矫正机构包括安装架；安装架的水平中部位置处设置有旋转电机，旋转电机的输出端与连接盘连接，连接盘的两端分别通过活动杆与矫正板活动连接，矫正板转动安装在安装架上。
[0011]一种升降式光刻机的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将PCB板体沿着上料传送带进行上料传送，并运输到位于中间传送带处的升降工作台处，定位板将PCB板体停止在工作台上；步骤2：通过控制升降气缸工作，带动工作台向上移动，同时通过U型杆带动扩张板向上移动，从而将PCB板体带动其向上运动，当PCB板体运动到第二矫正机构的位置处时，通过控制旋转电机工作，带动连接盘转动，连接盘通过活动杆带动矫正板沿着连接块进行转动，使得两块矫正板将作用在位于工作台上的PCB板体的一侧上，使得PCB板体水平地靠在定位板上；同时，扩张板在向上移动时，将带动第二连接杆和齿条向上运动，然后通过齿条与齿轮之间的啮合作用，带动连接轴转动，使得矫正柱处于竖直状态，并使得矫正柱作用在PCB板体的两侧；步骤3：控制桁架和光学机构的光刻镜头进行移动，完成对PCB板体进行光刻加工处理。
[0012]作为本专利技术进一步的方案：在步骤3中，当PCB板体光刻结束后，控制升降气缸带动工作台向下移动，并使得定位板的水平面低于中间传送带的水平面上，从而使得加工后的PCB板体直接落在中间传送带上，输送至下料传送带上，同时，第一矫正机构上的矫正柱也将回转；当输送结束后，升降气缸将带动升降工作台复位到原始位置处，等待下个PCB板体输送过来进行光刻加工处理。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术的升降式光刻机，通过上料传送带、中间传送带和下料传送带,可以对PCB板体进行有序生产线的光刻处理，从而提高其PCB板体加工处理的效率；以及第一矫正机构和第二矫正机构的工作配合，使得对PCB板体进行X轴方向和Y轴方向进行定位矫正，使得可以对输送过来的PCB板体进行定位矫正，从而保证其PCB板体光刻的精准性，因此，该升降式光刻机在进行有序输送过程时，实现其对PCB板体升降式光刻处理，以及在升降过程中，对PCB板体进行定位对准、矫正处理，保证PCB板体光刻处理时的精准性；导向杆与第一连接杆组成的U型杆，将工作台与扩张板连接，从而将扩大升降工作台的承载面积，以及将在工作台与扩张板之间预留有放置槽，用于安装中间传送带，使得工作台、U型杆和扩张板之间组成的升降工作台可以沿着中间传送带进行升降运动，将升降工作台与中间传送带相互配合，完成PCB板体输送到升降工作台的位置时，通过升降气缸带动
PCB板体向上运动进行光刻处理，加工结束后，再通过升降气缸使得处理PCB板体落在中间传送带上进行输送，从而实现将PCB板体升降工作与输送工作有序进行连接一起，从而将提供其PCB板体进行光刻处理的效率；第一矫正机构和第二矫正机构的配合，对PCB板体进行X轴方向和Y轴方向进行定位矫正，使得可以对升降过程中的PCB板体进行定位矫正，从而保证其PCB板体光刻的精准性；以及第一矫正机构通过齿轮连接件将与升降工作台连接在一起，使得PCB板体在向上升降的时候，同时，将带动第一矫正机构工作，使得矫正柱处于竖直状态，其将不仅可以防止PCB板体在运输过程中，PCB板体处于倾斜问题，导致进行光刻加工时，出现加工位置偏移的问题，同时，还启动将PCB本体进行固定的作用，在进行光刻加工时，对PCB板体进行位置固定定位的作用，从而保证对PCB板体进行光刻加工的质量。
附图说明
[0014]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0015]图1为本专利技术的俯视图。
[0016]图2为本专利技术中基架、下料传送带与第二矫正机构连接关系的结构示意图。
[0017]图3为本专利技术中升降工作台的结构示意图。
[0018]图4为本专利技术图3中A处的局部放大示意图。
[0019]图5为本专利技术中扩张板与第一矫正机构连接关系的结构示意图。
[0020]图6为本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种升降式光刻机，其特征在于，包括基架（2）；基架（2）的两侧分别设置有上料传送带（1）和下料传送带（3），基架（2）的内部设置有中间传送带（7），基架（2）的顶部设置有桁架（4），桁架（4）上设置有光学机构（5）；在中间传送带（7）处设置有升降台机构，该升降台机构包括升降工作台（8）、第一矫正机构（9）、第二矫正机构（10），升降工作台（8）沿着中间传送带（7）升降运动；升降工作台（8）包括工作台（81），工作台（81）位于两个中间传送带（7）之间，工作台（81）的中部与升降气缸（82）的输出端连接；工作台（81）的两侧分别通过U型杆与扩张板（84）连接；U型杆包括导向杆（85）、第一连接杆（86），导向杆（85）的顶部与工作台（81）的底面连接，导向杆（85）的底部与第一连接杆（86）的水平部的端部连接，第一连接杆（86）的竖直部的端部与扩张板（84）连接。2.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，导向杆（85）为竖直杆，第一连接杆（86）为L形杆。3.根据权利要求2所述的一种升降式光刻机，其特征在于，光学机构（5）包括光刻镜头，基架（2）为矩形框架结构，基架（2）包括底座（6）、矩形架（21）和连接架（22），底座（6）的两侧分别设置有矩形架（21），上料传送带（1）和下料传送带（3）贯穿矩形架（21）的矩形槽；两个矩形架（21）之间设置有连接架（22），桁架（4）位于连接架（22）上。4.根据权利要求3所述的一种升降式光刻机，其特征在于，扩张板（84）靠近升降工作台（8）的侧壁上设置有定位板（89），定位板（89）的水平高度高于工作台（81）的水平高度。5.根据权利要求4所述的一种升降式光刻机，其特征在于，在升降工作台（8）的两侧设置有第一矫正机构（9）；第一矫正机构（9）包括固定座（92），固定座（92）内贯穿设置有连接轴（94），连接轴（94）的一端通过齿轮连接件与扩张板（84）连接，连接轴（94）的另一端与矫正柱（93）垂直连接；连接轴（94）与扩张板（84）呈平行状态设置。6.根据权利要求5所述的一种升降式光刻机，其特征在于，齿轮连接件包括第二连接杆（87），第二连接杆（87）垂直安装在扩张板（84）上，第二连接杆（87）远离扩张板（84）的端部上竖直设置有齿条（88），齿条（88）与齿轮（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，陈志特，甘泉，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：