下载一种升降式光刻机及其加工方法的技术资料

文档序号:35761524

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本发明公开一种升降式光刻机,包括基架;基架的两侧分别设置有上料传送带和下料传送带,基架的内部设置有中间传送带,基架的顶部设置有桁架,桁架上设置有光学机构;在中间传送带处设置有升降台机构,该升降台机构包括升降工作台、第一矫正机构、第二矫正机构...
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