金属遮罩及其制造方法技术

一种金属遮罩条，其包含：金属基材，包括至少一图案区域，其中每一图案区域包含多个蒸镀孔，该些蒸镀孔分别具有孔壁，该孔壁系由第一工艺所形成；以及轮廓，至少部分围绕该至少一图案区域，其中，至少部分的该轮廓系由第二工艺切割形成，该第二工艺不同于该第一工艺。该第二工艺不同于该第一工艺。该第二工艺不同于该第一工艺。

【技术实现步骤摘要】
金属遮罩及其制造方法


[0001]本专利技术涉及蒸镀
具体而言，本专利技术涉及一种以激光切割轮廓的金属遮罩及其制造方法。

技术介绍

[0002]在显示面板的工艺中，例如有机发光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)显示面板，须将有机发光材料蒸镀到基材上，在蒸镀过程中，有机发光材料透过精密金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)上的开口镀在基材，从而形成显示面板的有机发光层。为了使有机发光材料依照特定的图案蒸镀在基材上，显示面板的工艺中会利用具有多个开口形成的特定图案的精密金属遮罩。
[0003]目前精密金属遮罩的制造方法分为蚀刻法及电铸法，其中蚀刻法可利用化学湿式蚀刻的方式对金属基材进行压膜、曝光、显影、一次蚀刻、二次蚀刻、去膜等过程，形成金属遮罩上的开口以及轮廓。然而，湿式蚀刻为等向性蚀刻，在对金属遮罩的轮廓进行蚀刻时，可能会因设计要求对金属基材进行不对称的蚀刻，造成金属基材内部张力不均、表面皱褶等问题，进而影响蒸镀开口的均匀性、精确度。
[0004]参图1A示出的传统以蚀刻方式处理轮廓的金属遮罩10的俯视图，从图中可看出，参照原始金属基材11的轮廓(以虚线示出)，金属遮罩10在上端相较于下端蚀刻较多的金属基材11。由于蚀刻的等向性，此不对称的蚀刻行为容易造成金属遮罩10内部的张力不均，进而导致表面波纹、皱褶的情况，如图1A中的变形的金属遮罩10
’
。参考图1B可进一步看出，由于表面产生的皱折，在皱褶处的蒸镀孔13
’
相较于不具皱褶处的蒸镀孔13变形，因此影响了蒸镀工艺中的精确度。

技术实现思路

[0005]本专利技术的一目的在于提供一种以激光切割轮廓的金属遮罩及其制造方法，可提升表面的平整性，满足蒸镀孔的精确度要求。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种金属遮罩条，包含：
[0007]一金属基材，包括：
[0008]至少一图案区域，其中每一该图案区域包含多个蒸镀孔，该些蒸镀孔分别具有一孔壁，该孔壁由一第一工艺所形成；以及
[0009]一轮廓，至少部分围绕该至少一图案区域，其中，至少部分的该轮廓由一第二工艺切割形成，该第二工艺不同于该第一工艺。
[0010]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，至少部分该轮廓形成为激光切割边。
[0011]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，该孔壁包括：
[0012]一第一孔壁；以及
[0013]一第二孔壁，位于相反于该些第一孔壁的一面，其中该第二孔壁连通对应的该第一孔壁并贯通该金属基材，以形成该些蒸镀孔中对应的该蒸镀孔。
[0014]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，该金属基材进一步包括经该第一工艺而形成的至少一切割线，该切割线包含于该轮廓内且不与该图案区域重叠。
[0015]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，该金属基材的厚度介于10至80微米。
[0016]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，该至少一图案区域沿一第一方向分布，由该第二工艺形成的至少部分该轮廓至少部分位于该图案区域横切该第一方向的一侧，且至少部分沿该第一方向延伸。
[0017]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，该图案区域形成为矩形且具有一长边，该长边沿该第一方向延伸。
[0018]本专利技术所述的金属遮罩条，在一实施方式中，该至少一图案区域包含沿该第一方向分布的一第一图案区域及一第二图案区域，该由该第二工艺形成的至少部分该轮廓延伸以同时位于该第一图案区域及该第二图案区域的侧边。
[0019]为了达到上述目的，本专利技术还提供了一种金属遮罩板，包含：
[0020]多个如上述的金属遮罩条；以及
[0021]一框架，其中该些金属遮罩条彼此相隔一间距而焊接于该框架上，其中该些精密金属遮罩条间相邻的边缘皆系经激光切割形成。
[0022]为了达到上述目的，本专利技术更提供了一种制造金属遮罩条的方法，包含：
[0023]在一金属基材的至少一图案区域执行一第一工艺，以形成多个蒸镀孔，其中该些蒸镀孔分别具有一孔壁；以及
[0024]以一第二工艺对该金属基材执行切割，以形成一轮廓，其中，该轮廓至少部分围绕该至少一图案区域，且该第二工艺不同于该第一工艺。
[0025]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，该至少部分轮廓系形成为激光切割边。
[0026]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，形成该孔壁包括：
[0027]形成一第一孔壁；以及
[0028]在该金属基材相反于该些第一孔壁的一面形成一第二孔壁，其中该第二孔壁连通对应的该第一孔壁并贯通该金属基材，以形成该些蒸镀孔中对应的该蒸镀孔。
[0029]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，在该金属基材的该些图案区域执行该第一工艺还包括形成至少一切割线，该切割线包含于该轮廓内且不与该图案区域重叠。
[0030]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，该金属基材的厚度介于10至80微米。
[0031]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，该至少一图案区域系沿一第一方向分布，由该第二工艺形成的至少部分该轮廓至少部分位于该图案区域横切该第一方向的一侧，且至少部分沿该第一方向延伸。
[0032]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，该图案区域系形成为矩形且具有一长边，该长边系沿该第一方向延伸。
[0033]本专利技术所述的方法，在一实施方式中，该至少一图案区域包含沿该第一方向分布的一第一图案区域及一第二图案区域，该由该第二工艺形成的至少部分该轮廓系延伸以同时位于该第一图案区域及该第二图案区域的侧边。
附图说明
[0034]图1A系以蚀刻方式处理轮廓的金属遮罩的俯视示意图。
[0035]图1B系表面产生波纹、皱褶的金属遮罩的剖面示意图。
[0036]图2A系根据本专利技术的一实施例的经激光切割轮廓前后的金属遮罩遮罩条平面示意图。
[0037]图2B系根据本专利技术的一实施例的金属遮罩的剖面示意图。
[0038]图3系根据本专利技术的另一实施例的金属遮罩板的示意图。
[0039]图4系根据本专利技术又一实施例的金属遮罩条制造方法的流程图
[0040]其中，附图标记：
[0041]10
…
经蚀刻轮廓的金属遮罩
[0042]10
’…
变形的金属遮罩
[0043]11
…
金属基材
[0044]13
…
蒸镀孔
[0045]13
’…
蒸镀孔
[0046]100
…
未经激光切割的金属遮罩条
[0047]100
’…
经激光切割的金属遮罩条
[0048]101
…
金属基材
[0049]103
…
蒸镀孔
[0050]1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩条，其特征在于，包含：一金属基材，包括：至少一图案区域，其中每一该图案区域包含多个蒸镀孔，该些蒸镀孔分别具有一孔壁，该孔壁由一第一工艺所形成；以及一轮廓，至少部分围绕该至少一图案区域，其中，至少部分的该轮廓由一第二工艺切割形成，该第二工艺不同于该第一工艺。2.如权利要求1所述的金属遮罩条，其中至少部分该轮廓形成为激光切割边。3.如权利要求1所述的金属遮罩条，其中该孔壁包括：一第一孔壁；以及一第二孔壁，位于相反于该些第一孔壁的一面，其中该第二孔壁连通对应的该第一孔壁并贯通该金属基材，以形成该些蒸镀孔中对应的该蒸镀孔。4.如权利要求1所述的金属遮罩条，其该金属基材进一步包括经该第一工艺而形成的至少一切割线，该切割线包含于该轮廓内且不与该图案区域重叠。5.如权利要求1所述的金属遮罩条，其中该金属基材的厚度介于10至80微米。6.如权利要求1所述的金属遮罩条，其中该至少一图案区域沿一第一方向分布，由该第二工艺形成的至少部分该轮廓至少部分位于该图案区域横切该第一方向的一侧，且至少部分沿该第一方向延伸。7.如权利要求6所述的金属遮罩条，其中该图案区域形成为矩形且具有一长边，该长边沿该第一方向延伸。8.如权利要求6所述的金属遮罩条，其中该至少一图案区域包含沿该第一方向分布的一第一图案区域及一第二图案区域，该由该第二工艺形成的至少部分该轮廓延伸以同时位于该第一图案区域及该第二图案区域的侧边。9.一种金属遮罩板，其特征在于，包含：多个如权利要求1至8项中任一所述的金属遮罩条；以及一框架，其中该些金属遮罩条彼此相隔一...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄乔铃，徐俊益，
申请(专利权)人：达运精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：