蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法制造方法及图纸

蒸镀掩模具备掩模框架以及掩模部，该掩模框架具备：主体部，具有第一表面、与第一表面相反侧的第一背面以及贯通第一表面与第一背面之间的第一开口部；以及框状部，具备第二表面以及与第二表面相反侧的第二背面，且具备贯通第二表面与第二背面之间的第二开口部，该掩模框架构成为能够以第二表面上的第二开口部的位置与第一表面上的第一开口部的位置对齐的方式在第一背面侧将框状部能够拆卸地安装于主体部，该掩模部具有多个掩模孔，且以覆盖第二开口部的方式接合于第二背面。二开口部的方式接合于第二背面。二开口部的方式接合于第二背面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法


[0001]本专利技术涉及蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法。

技术介绍

[0002]在有机EL显示装置的制造中，使用真空蒸镀来形成有机EL显示元件所具备的有机发光层。在通过真空蒸镀形成有机发光层时，为了将具有规定形状的有机发光层形成于蒸镀对象中的规定位置而使用蒸镀掩模。蒸镀掩模具备多个掩模部以及掩模框架。各掩模部是形成有多个掩模孔的金属箔。多个掩模孔具有与有机发光层的形状以及配置相应的形状以及配置。掩模框架具有用于使蒸镀材料到达安装于掩模框架的掩模部的框架孔。各掩模部以堵塞彼此不同的一个框架孔的方式与掩模框架接合(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2019/054462号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]然而，掩模部相对于掩模框架的接合例如使用焊接。在掩模部的接合使用焊接的情况下，在掩模框架形成接合了掩模部的接合痕。接合痕是在掩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模，其中，具备掩模框架以及掩模部，上述掩模框架具备：主体部，具备第一表面、与上述第一表面相反侧的第一背面、以及贯通上述第一表面与上述第一背面之间的第一开口部；以及框状部，具备第二表面以及与上述第二表面相反侧的第二背面，且具备贯通上述第二表面与上述第二背面之间的第二开口部，上述掩模框架构成为，能够以上述第二表面上的上述第二开口部的位置与上述第一表面上的上述第一开口部的位置对齐的方式，在上述第一背面侧将上述框状部能够拆卸地安装于上述主体部，上述掩模部具有多个掩模孔，且以覆盖上述第二开口部的方式与上述第二背面接合。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其中上述掩模部是多个掩模部中的一个，上述主体部具备多个第一开口部，上述第一开口部是上述多个第一开口部中的一个，上述掩模框架具备多个框状部，上述框状部是上述多个框状部中的一个，各框状部的上述第二开口部在上述第二表面上的位置与不同于与其他第二开口部在上述第二表面上的位置对齐的上述第一开口部在上述第一表面上的位置的、上述第一开口部在上述第一表面上的位置对齐，各掩模部通过焊接接合于不同于其他掩模部所接合的框状部的、上述框状部的上述第二背面，各框状部具备通过上述掩模部相对于该框状部的焊接而形成的焊接痕，上述焊接痕是形成于上述第二背面的凹陷。3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中上述框状部由具有磁性的金属形成，上述掩模框架还具备固定部，该固定部以能够相对于上述主体部拆卸的方式通过磁吸附将上述框状部固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本有史，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：