蒸镀掩模具备掩模框架以及掩模部，该掩模框架具备：主体部，具有第一表面、与第一表面相反侧的第一背面以及贯通第一表面与第一背面之间的第一开口部；以及框状部，具备第二表面以及与第二表面相反侧的第二背面，且具备贯通第二表面与第二背面之间的第二开口部，该掩模框架构成为能够以第二表面上的第二开口部的位置与第一表面上的第一开口部的位置对齐的方式在第一背面侧将框状部能够拆卸地安装于主体部，该掩模部具有多个掩模孔，且以覆盖第二开口部的方式接合于第二背面。二开口部的方式接合于第二背面。二开口部的方式接合于第二背面。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法
[0001]本专利技术涉及蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法。
技术介绍
[0002]在有机EL显示装置的制造中，使用真空蒸镀来形成有机EL显示元件所具备的有机发光层。在通过真空蒸镀形成有机发光层时，为了将具有规定形状的有机发光层形成于蒸镀对象中的规定位置而使用蒸镀掩模。蒸镀掩模具备多个掩模部以及掩模框架。各掩模部是形成有多个掩模孔的金属箔。多个掩模孔具有与有机发光层的形状以及配置相应的形状以及配置。掩模框架具有用于使蒸镀材料到达安装于掩模框架的掩模部的框架孔。各掩模部以堵塞彼此不同的一个框架孔的方式与掩模框架接合(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2019/054462号
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的课题
[0007]然而，掩模部相对于掩模框架的接合例如使用焊接。在掩模部的接合使用焊接的情况下，在掩模框架形成接合了掩模部的接合痕。接合痕是在掩模框架中的掩模部所焊接的部分形成的凹陷。
[0008]另一方面，当使用了一个蒸镀掩模的蒸镀进行多次时，有时掩模部的一部分变形、或者在掩模部的一部分堆积蒸镀材料。对于这一点，在上述蒸镀掩模中，能够仅将需要更换的掩模部从掩模框架拆卸，并将新的掩模部与掩模框架进行接合。然而，在掩模框架上由于掩模部的接合而形成有接合痕，因此为了抑制由于接合痕而掩模部相对于掩模框架的位置偏移、或者掩模部相对于掩模框架未被接合的情况，需要对接合痕进行加工。因此，对应于需要对接合痕进行加工的情况，掩模部相对于掩模框架的重新接合变得繁琐。
[0009]另外，上述课题不限定于掩模部的接合使用焊接的情况，在掩模部的接合使用粘合的情况下也是共通的。在掩模部的接合使用粘合的情况下，作为接合痕而形成有粘合层。
[0010]本专利技术的目的在于提供能够容易地进行掩模部相对于掩模框架的重新接合的蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法。
[0011]用于解决课题的手段
[0012]用于解决上述课题的蒸镀掩模具备掩模框架以及掩模部，上述掩模框架具备：主体部，具备第一表面、与上述第一表面相反侧的第一背面、以及贯通上述第一表面与上述第一背面之间的第一开口部；以及框状部，具备第二表面以及与上述第二表面相反侧的第二背面，且具备贯通上述第二表面与上述第二背面之间的第二开口部，上述掩模框架构成为，能够以上述第二表面上的上述第二开口部的位置与上述第一表面上的上述第一开口部的位置对齐的方式，在上述第一背面侧将上述框状部能够拆卸地安装于上述主体部，上述掩
模部具有多个掩模孔，且以覆盖上述第二开口部的方式与上述第二背面接合。
[0013]用于解决上述课题的蒸镀掩模的制造方法包括：对具有贯通第二表面与第二背面之间的第二开口部的框状部接合掩模部的步骤；以及对具有贯通第一表面与第一背面之间的第一开口部的主体部安装上述框状部的步骤，上述接合掩模部的步骤包括以覆盖上述第二开口部的方式在上述第二背面接合上述掩模部的步骤，上述安装框状部的步骤包括以上述第二表面上的上述第二开口部的位置与上述第一表面上的上述第一开口部的位置对齐的方式在上述第一背面侧将上述框状部能够拆卸地安装于上述主体部的步骤。
[0014]用于解决上述课题的显示装置的制造方法包括：使用通过上述蒸镀掩模的制造方法制造出的蒸镀掩模在蒸镀对象上形成图案的步骤。
[0015]根据上述蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法，在将蒸镀掩模所具备的掩模部更换为新的掩模部时，能够与能够从主体部拆卸的框状部一起将掩模部从主体部拆卸。由此，由于掩模部相对于框状部的接合而形成于框状部的接合痕也被从主体部去除。因此，通过对主体部安装新的框状部且对新的框状部接合新的掩模部，由此能够得到蒸镀掩模。如此，在对掩模框架重新接合掩模部时，不需要对掩模框架具有的接合痕进行加工，因此容易进行掩模部相对于掩模框架的重新接合。
附图说明
[0016]图1是表示第一实施方式中的蒸镀掩模的构造的立体图。
[0017]图2是表示图1所示的蒸镀掩模中的一部分构造的截面图。
[0018]图3是表示图2所示的蒸镀掩模中的一部分构造的截面图。
[0019]图4是表示图2所示的蒸镀掩模具备的掩模部的构造的平面图。
[0020]图5是将图2所示的蒸镀掩模具备的掩模部的构造放大表示的截面图。
[0021]图6是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0022]图7是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0023]图8是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0024]图9是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0025]图10是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0026]图11是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0027]图12是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0028]图13是将图12所示的区域A放大表示的截面图。
[0029]图14是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0030]图15是用于说明蒸镀掩模的制造方法的工序图。
[0031]图16是用于说明蒸镀掩模的作用的作用图。
[0032]图17是将蒸镀装置的构成与蒸镀掩模以及蒸镀对象一起示意地表示的装置构成图。
[0033]图18是表示第二实施方式中的蒸镀掩模的构造的平面图。
[0034]图19是表示沿着图18所示的XIX
‑
XIX线的构造的截面图。
[0035]图20是表示图18所示的固定部以及固定部的周边构造的截面图。
[0036]图21是表示沿着图18所示的XIX
‑
XIX线的构造的截面图。
[0037]图22是表示图18所示的固定部以及固定部的周边构造的截面图。
[0038]图23是表示第三实施方式中的蒸镀掩模的构造的平面图。
[0039]图24是沿着图23所示的XXIV
‑
XXIV线的构造的截面图。
[0040]图25是表示第四实施方式中的蒸镀掩模的构造的平面图。
[0041]图26是表示沿着图25所示的XXVI
‑
XXVI线的构造的截面图。
[0042]图27是表示第五实施方式中的蒸镀掩模的构造的平面图。
[0043]图28是表示沿着图27所示的XXVIII
‑
XXVIII线的构造的截面图。
具体实施方式
[0044][第一实施方式][0045]参照图1至图17对蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法的第一实施方式进行说明。以下，对蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法依次进行说明。
[0046][蒸镀掩模][0047]蒸镀掩模具备掩模框架和掩模部本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模，其中，具备掩模框架以及掩模部，上述掩模框架具备：主体部，具备第一表面、与上述第一表面相反侧的第一背面、以及贯通上述第一表面与上述第一背面之间的第一开口部；以及框状部，具备第二表面以及与上述第二表面相反侧的第二背面，且具备贯通上述第二表面与上述第二背面之间的第二开口部，上述掩模框架构成为，能够以上述第二表面上的上述第二开口部的位置与上述第一表面上的上述第一开口部的位置对齐的方式，在上述第一背面侧将上述框状部能够拆卸地安装于上述主体部，上述掩模部具有多个掩模孔，且以覆盖上述第二开口部的方式与上述第二背面接合。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其中上述掩模部是多个掩模部中的一个，上述主体部具备多个第一开口部，上述第一开口部是上述多个第一开口部中的一个，上述掩模框架具备多个框状部，上述框状部是上述多个框状部中的一个，各框状部的上述第二开口部在上述第二表面上的位置与不同于与其他第二开口部在上述第二表面上的位置对齐的上述第一开口部在上述第一表面上的位置的、上述第一开口部在上述第一表面上的位置对齐，各掩模部通过焊接接合于不同于其他掩模部所接合的框状部的、上述框状部的上述第二背面，各框状部具备通过上述掩模部相对于该框状部的焊接而形成的焊接痕，上述焊接痕是形成于上述第二背面的凹陷。3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中上述框状部由具有磁性的金属形成，上述掩模框架还具备固定部，该固定部以能够相对于上述主体部拆卸的方式通过磁吸附将上述框状部固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：桥本有史，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：
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