一种旋转靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种旋转靶材，包括靶材本体，所述靶材本体为圆筒状，所述靶材本体的两侧面上分别设有一圈第一法兰接孔和一圈第二法兰接孔，所述靶材本体内部设有第一内衬管和第二内衬管，所述第一内衬管和第二内衬管的管壁上均设有多个磁体槽，所述磁体槽内设有磁体；本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，第一内衬管、第二内衬管与靶材本体之间可以进行拆卸，这样当靶材本体表面将不再平整后，只需要将其拆卸更换即可，从而大大节省材料。从而大大节省材料。从而大大节省材料。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材


[0001]本技术涉及旋转靶材
，具体为一种旋转靶材。

技术介绍

[0002]现有工艺中常用的旋转靶材(简称靶材)是磁控的靶材，一般为圆筒结构，且靶材表面为光滑的平面结构；
[0003]当靶材被多次使用之后，由于溅射过程中高能粒子撞击靶材表面的角度、频率及能量等有所不同，靶材表面将不再是平整的结构，而是形成了多个环状的凹坑，当凹坑继续被高能粒子撞击时，将可能导致靶材被击穿，从而影响溅射结果，因此，需要及时更换靶材；
[0004]被更换的靶材只是表面被撞击出了凹坑，靶材的其他的地方也还是好的，但是现有的靶材都是一个整体，不便于拆卸，因此只能整体更换掉，从而造成了靶材材料的浪费，增加了成本。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种旋转靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种旋转靶材，包括靶材本体，所述靶材本体为圆筒状，所述靶材本体的两侧面上分别设有一圈第一法兰接孔和一圈第二法兰接孔，其特征在于：所述靶材本体内部设有第一内衬管和第二内衬管，所述第一内衬管和第二内衬管的管壁上均设有多个磁体槽，所述磁体槽内设有磁体；
[0007]所述第一内衬管的一端面上设有一圈卡槽，所述第一内衬管的另一端设有第一连接法兰，所述第一连接法兰的外围还设有法兰盘；
[0008]所述第二内衬管的一端面上设有一圈卡柱，所述第二内衬管的另一端外壁上设有第二连接法兰，所述第二内衬管的另一端端部还设有圆靶。
[0009]优选的，所述第一内衬管带有卡槽的一端插入靶材本体内部，所述第一内衬管与靶材本体内壁相贴合，所述第一连接法兰与第一法兰接孔相匹配，所述第一连接法兰与第一法兰接孔之间通过第一连接螺栓进行固定。
[0010]优选的，所述第二内衬管带有卡柱的一端插入靶材本体内部，所述第二内衬管与靶材本体内壁相贴合，所述第二连接法兰与第二法兰接孔相匹配，所述第二连接法兰与第一法兰接孔之间通过第二连接螺栓进行固定。
[0011]优选的，所述卡槽与卡柱相互卡接。
[0012]优选的，所述圆靶上均匀布有环形凸起。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，第一内衬管、第二内衬管与靶材本体之间可以进行拆卸，这样当靶材本体表面将不再平整后，只需要将其拆卸更换即可，从而大大节省材料；
[0014]另外本技术的圆靶上设置的环形凸起，能够增加圆靶的厚度，当受圆靶收到高能量撞击时，不会出现凹坑，有效延长了靶材的使用寿命。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术结构剖视示意图；
[0017]图3为本技术靶材本体立体结构示意图；
[0018]图4为本技术靶材本体另一侧正视示意图；
[0019]图5为本技术第一内衬管立体结构示意图；
[0020]图6为本技术第一内衬管另一侧正视示意图；
[0021]图7为本技术第二内衬管立体结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种旋转靶材，包括靶材本体1，所述靶材本体1为圆筒状，所述靶材本体1的两侧面上分别设有一圈第一法兰接孔11和一圈第二法兰接孔12，所述靶材本体1内部设有第一内衬管2和第二内衬管3，所述第一内衬管2和第二内衬管3的管壁上均设有多个磁体槽4，所述磁体槽4内设有磁体41；
[0024]所述第一内衬管2的一端面上设有一圈卡槽21，所述第一内衬管2的另一端设有第一连接法兰22，所述第一连接法兰22的外围还设有用于与设备进行固定的法兰盘23；
[0025]所述第二内衬管3的一端面上设有一圈卡柱31，所述第二内衬管3的另一端外壁上设有第二连接法兰32，所述第二内衬管3的另一端端部还设有圆靶33，所述圆靶33上均匀布有环形凸起331。
[0026]本实施例中，先将所述第一内衬管2带有卡槽21的一端插入靶材本体1内部，这时所述第一内衬管2与靶材本体1内壁相贴合，并使所述第一连接法兰22与第一法兰接孔11相匹配，再利用第一连接螺栓，将所述第一连接法兰22与第一法兰接孔11之间进行固定，从而使第一内衬管固定于靶材本体内；
[0027]再将所述第二内衬管3带有卡柱31的一端插入靶材本体1内部，这时所述第二内衬管2与靶材本体1内壁相贴合，并使所述第二连接法兰32与第二法兰接孔12相匹配，同样再利用第二连接螺栓，将所述第二连接法兰32与第一法兰接孔12之间进行固定，从而将第二内衬管也固定于靶材本体内；
[0028]此时位于靶材本体内的，第一内衬管的卡槽21与第二内衬管的卡柱32相互卡接，这样即可使第一内衬管、第二内衬管与靶材本体之间连接成一个整体。
[0029]综上所述，第一内衬管、第二内衬管与靶材本体之间可以进行拆卸，这样当靶材本体表面将不再平整后，只需要将其拆卸更换即可，从而大大节省材料；
[0030]另外在圆靶上设置的环形凸起，能够增加圆靶的厚度，当受圆靶收到高能量撞击时，不会出现凹坑，有效延长了靶材的使用寿命。
[0031]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材，包括靶材本体（1），所述靶材本体（1）为圆筒状，所述靶材本体（1）的两侧面上分别设有一圈第一法兰接孔（11）和一圈第二法兰接孔（12），其特征在于：所述靶材本体（1）内部设有第一内衬管（2）和第二内衬管（3），所述第一内衬管（2）和第二内衬管（3）的管壁上均设有多个磁体槽（4），所述磁体槽（4）内设有磁体（41）；所述第一内衬管（2）的一端面上设有一圈卡槽（21），所述第一内衬管（2）的另一端设有第一连接法兰（22），所述第一连接法兰（22）的外围还设有法兰盘（23）；所述第二内衬管（3）的一端面上设有一圈卡柱（31），所述第二内衬管（3）的另一端外壁上设有第二连接法兰（32），所述第二内衬管（3）的另一端端部还设有圆靶（33）。2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述第一内衬管（...

【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：