一种平面溅射靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平面溅射靶材，包括主板，所述主板上设有背板槽，所述背板槽内设有多个卡接柱，位于所述背板槽两侧的主板上还设有卡接槽，所述卡接槽，所述卡接槽外侧的侧壁上设有多个固定通孔，所述背板槽内设有背板，本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，特设的主板与背板之间为可拆卸设计，一旦背板损坏可拆除更换新的背板，从而避免了材料的浪费。从而避免了材料的浪费。从而避免了材料的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种平面溅射靶材


[0001]本技术涉及靶材
，具体为一种平面溅射靶材。

技术介绍

[0002]平面溅射镀膜属于物理气相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击靶材表面，使得靶材原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜，平面溅射镀膜中溅射靶材是不可或缺的工具，在进行溅射镀膜的过程中，会利用高压冷却水冲击靶材组件背板可有效加快靶材的散热，提高镀膜质量。
[0003]然而传统的溅射靶材在使用过程，由于被持续的高压冷却水冲击背板，高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板容易损坏，由于传统的溅射靶材的主板与背板都是焊接在一起的，因此当背板损坏后，只能连同未被损坏的主板也一起拆除，从而造成了浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种平面溅射靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种平面溅射靶材，包括主板，所述主板上设有背板槽，所述背板槽内设有多个卡接柱，位于所述背板槽两侧的主板上还设有卡接槽，所述卡接槽，所述卡接槽外侧的侧壁上设有多个固定通孔，所述背板槽内设有背板。
[0006]优选的，所述背板的下端面上设有多个卡接孔，多个所述卡接孔和卡接柱一一对应卡接，所述背板的两侧设有延伸板，所述延伸板的下方设有卡接条，所述卡接条上设有多个固定槽，所述卡接条嵌于卡接槽内，多个所述固定槽和固定通孔一一对应，每组所述固定槽和固定通孔之间均通过螺栓进行固定。
[0007]优选的，所述主板两侧设有安装板，所述安装板上设有多个安装孔。
[0008]优选的，所述延伸板的上端面呈弧形面设置。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，特设的主板与背板之间为可拆卸设计，一旦背板损坏可拆除更换新的背板，从而避免了材料的浪费；另外主板与背板之间通过相互卡接固定，可有效提高整体结构的稳定，防止高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板脱落或损坏，从而有效的增强了靶材的使用寿命。
附图说明
[0010]图1为本技术主板侧视示意图；
[0011]图2为本技术主板侧面剖视示意图；
[0012]图3为本技术主板俯视示意图；
[0013]图4为本技术背板侧视示意图；
[0014]图5为本技术背板侧面剖视示意图；
[0015]图6为本技术背板仰视示意图；
[0016]图7为本技术整体结构侧视示意图；
[0017]图8为本技术整体结构侧面剖视示意图。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种平面溅射靶材，包括主板1，所述主板1上设有背板槽11，所述背板槽11内设有多个卡接柱12，位于所述背板槽11两侧的主板1上还设有卡接槽13，所述卡接槽13，所述卡接槽13外侧的侧壁上设有多个固定通孔131，所述背板槽11内设有背板2；所述主板1两侧设有安装板14，所述安装板14上设有多个安装孔141，用于将整个靶材安装在设备上。
[0020]本实施例中，在所述背板2的下端面上设有多个卡接孔21，并将背板带有卡接孔的一面与背板槽相对，对接后使得多个所述卡接孔21和卡接柱12一一对应卡接，此时所述背板2的两侧设置的延伸板22与主板的两侧相对应，且所述延伸板22的下方设有卡接条23，该所述卡接条23嵌于卡接槽13内，再在所述卡接条23上开设多个固定槽231，当卡接条23嵌于卡接槽13后，多个所述固定槽231和固定通孔131一一对应，然后将每组所述固定槽231和固定通孔131之间均通过螺栓3进行固定，另外，所述延伸板22的上端面呈弧形面设置，这样方便高压冷却水在冲击时从两侧排出。
[0021]综上所述，主板与背板之间为可拆卸设计，一旦背板损坏可拆除更换新的背板，从而避免了材料的浪费；另外主板与背板之间通过相互卡接固定，可有效提高整体结构的稳定，防止高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板脱落或损坏，从而有效的增强了靶材的使用寿命。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面溅射靶材，包括主板（1），其特征在于：所述主板（1）上设有背板槽（11），所述背板槽（11）内设有多个卡接柱（12），位于所述背板槽（11）两侧的主板（1）上还设有卡接槽（13），所述卡接槽（13），所述卡接槽（13）外侧的侧壁上设有多个固定通孔（131），所述背板槽（11）内设有背板（2）；所述背板（2）的下端面上设有多个卡接孔（21），多个所述卡接孔（21）和卡接柱（12）一一对应卡接，所述背板（2）的两侧设有延伸板（22），所述延伸板（22）的下方设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：