【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材绑定固定装置
[0001]本技术涉及靶材加工
，具体为一种旋转靶材绑定固定装置。
技术介绍
[0002]旋转靶材在使用时，需要将靶材与背管绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求，一般是通过将液态的铟或锡作灌入靶材和背管之间的空隙内，在冷却后能够将靶材与背管绑定，现有的旋转靶材在注入绑定材料时，没有进行密封，都是直接对准填充在空隙内，这样容易混着空气进入，产生汽包，从而影响靶材的绑定效果，另外，在绑定过程中容易导致旋转靶材移动，因此需要设计一种旋转靶材绑定固定装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种旋转靶材绑定固定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种旋转靶材绑定固定装置，包括底座，所述底座的一侧设有安装板，所述安装板的上端设有第一电动丝杆，所述第一电动丝杆上设有第一滑行块，所述第一滑行块连接着密封盖，所述密封盖的下端边缘设有密封环，所述密封盖的中间设有通孔，位于所述通孔旁的密封盖上设有注液孔。<...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材绑定固定装置，包括底座（1），所述底座的一侧设有安装板（2），其特征在于：所述安装板（2）的上端设有第一电动丝杆（21），所述第一电动丝杆（21）上设有第一滑行块（23），所述第一滑行块（23）连接着密封盖（3），所述密封盖（3）的下端边缘设有密封环（31），所述密封盖（3）的中间设有通孔（32），位于所述通孔（32）旁的密封盖上设有注液孔（33）。2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材绑定固定装置，其特征在于：所述底座（1）上设有背管槽（11），所述背管槽（11）内设有限位块（12），位于所述背管槽（11）的外围还设有密封圈（13），所述密封圈（13）与背管槽（11）之间形成的区域为旋转靶材放置区（14），所述背管槽（11）与密封盖（3）...
【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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