一种靶材除尘装置制造方法及图纸

本技术公开了一种靶材除尘装置，包括机架，所述机架上方依次设有吸尘机构和静电除尘机构，所述机架中间还设有传送带，所述传送带位于吸尘机构和静电除尘机构的下方，本技术不仅可以用于圆形的靶材除尘，还可以用于矩形的靶材除尘，只需要将多个靶材放置到传送带上，利用传送带来带动靶材依次进入吸尘机构和静电除尘机构，完成靶材一面的除尘，然后工人对靶材翻面，在再传送带的带动下进入下一组吸尘机构和静电除尘机构，从而完成对靶材的另一面的除尘；综上所述，本技术功能多样，可用于不同形状的靶材除尘，同时利用传送带不断带动靶材进入吸尘机构和静电除尘机构，大大提高了除尘效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材加工，具体为一种靶材除尘装置。

技术介绍

1、靶材生产过程的最后工序是人工除尘并封装，一颗几微米的灰尘就会直接导致芯片废品，现有专利公开了一种靶材除尘装置，公开号cn109482578a，将靶材放置在一个封闭的圆柱体状罩壳壳体内，引入切向气流，形成与旋转底座转动方向相反的负压旋转气流，即使气流中的灰尘颗粒离心旋转，在离心运动的灰尘颗粒接触到吸尘网罩时有机会被吸附在不干胶上，如果未能吸附而穿过吸尘网罩则在撞击罩壳内壁时将吸附于罩壳内壁的不干胶上，进行除尘；

2、由于靶材的形状有圆形的也有矩形的，但是该设备的整体结构为圆柱状的所以只能加工圆形的靶材，功能较为单一，而且该设备一次只能加工一件靶材，效率较低，因此有必要进行改进。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种靶材除尘装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种靶材除尘装置，包括机架，所述机架上方依次设有吸尘机构和静电除尘机构，所述机架中间还设有传送带，所述传送带位于吸尘机构和静电除尘机构的下方，

3、所述静电除尘机构包括第一滑杆和第二滑杆，所述第一滑杆和第二滑杆分别固定于机架的两侧，所述第一滑杆的侧壁上设有齿条，所述第一滑杆上套有第一滑块，所述第一滑块内设有齿轮，所述齿轮与齿条啮合，所述第一滑块内还设有一根手摇杆，所述手摇杆的螺纹段与齿轮的顶端啮合，所述第二滑杆上设有第二滑块，所述第一滑块与第二滑块之间设有安装板，所述安装板的下方安装有静电除尘板，所述静电除尘板上设有除尘纸巾，所述除尘纸巾的四个边角卡在静电除尘板四周的洞孔内。

4、优选的，所述吸尘机构包括两个l形的吸尘头，两个所述吸尘头分别安装于机架的两侧，每个所述吸尘头上设有多个吸尘嘴，所述吸尘头通过吸尘管连接着吸尘器。

5、优选的，所述静电除尘板采用带有静电荷的纤维材料制成。

6、优选的，在所述机架上再设置一组吸尘机构和静电除尘机构。

7、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术不仅可以用于圆形的靶材除尘，还可以用于矩形的靶材除尘，只需要将多个靶材放置到传送带上，利用传送带来带动靶材依次进入吸尘机构和静电除尘机构，完成靶材一面的除尘，然后工人对靶材翻面，在再传送带的带动下进入下一组吸尘机构和静电除尘机构，从而完成对靶材的另一面的除尘；综上所述，本技术功能多样，可用于不同形状的靶材除尘，同时利用传送带不断带动靶材进入吸尘机构和静电除尘机构，大大提高了除尘效率。

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【技术保护点】

1.一种靶材除尘装置，包括机架（1），所述机架（1）上方依次设有吸尘机构（2）和静电除尘机构（3），所述机架（1）中间还设有传送带（11），所述传送带（11）位于吸尘机构（2）和静电除尘机构（3）的下方，其特征在于：所述静电除尘机构（3）包括第一滑杆（31）和第二滑杆（32），所述第一滑杆（31）和第二滑杆（32）分别固定于机架（1）的两侧，所述第一滑杆（31）的侧壁上设有齿条（311），所述第一滑杆（31）上套有第一滑块（312），所述第一滑块（312）内设有齿轮（313），所述齿轮（313）与齿条（311）啮合，所述第一滑块（312）内还设有一根手摇杆（314），所述手摇杆（314）的螺纹段与齿轮（313）的顶端啮合，所述第二滑杆（32）上设有第二滑块（321），所述第一滑块（312）与第二滑块（321）之间设有安装板（33），所述安装板（33）的下方安装有静电除尘板（34），所述静电除尘板（34）上设有除尘纸巾（35），所述除尘纸巾（35）的四个边角卡在静电除尘板（34）四周的洞孔（341）内。

2.根据权利要求1所述的一种靶材除尘装置，其特征在于：所述吸尘机构（2）包括两个L形的吸尘头（21），两个所述吸尘头（21）分别安装于机架（1）的两侧，每个所述吸尘头（21）上设有多个吸尘嘴（211），所述吸尘头（21）通过吸尘管（22）连接着吸尘器（23）。

3.根据权利要求1所述的一种靶材除尘装置，其特征在于：所述静电除尘板（34）采用带有静电荷的纤维材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种靶材除尘装置，其特征在于：在所述机架（1）上再设置一组吸尘机构（2）和静电除尘机构（3）。

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【技术特征摘要】

1.一种靶材除尘装置，包括机架（1），所述机架（1）上方依次设有吸尘机构（2）和静电除尘机构（3），所述机架（1）中间还设有传送带（11），所述传送带（11）位于吸尘机构（2）和静电除尘机构（3）的下方，其特征在于：所述静电除尘机构（3）包括第一滑杆（31）和第二滑杆（32），所述第一滑杆（31）和第二滑杆（32）分别固定于机架（1）的两侧，所述第一滑杆（31）的侧壁上设有齿条（311），所述第一滑杆（31）上套有第一滑块（312），所述第一滑块（312）内设有齿轮（313），所述齿轮（313）与齿条（311）啮合，所述第一滑块（312）内还设有一根手摇杆（314），所述手摇杆（314）的螺纹段与齿轮（313）的顶端啮合，所述第二滑杆（32）上设有第二滑块（321），所述第一滑块（312）与第二滑块（321）之...

【专利技术属性】
技术研发人员：田伟，常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：