本实用新型专利技术涉及晶元测试领域，具体为一种晶元半自动测试辅助装置，包括运输机构，所述运输机构表面设置有输送台，所述输送台表面阵列开设有安置槽，所述安置槽内均固定连接有防尘气囊，所述输送台两侧对称阵列开设注气槽，所述注气槽与防尘气囊两侧外侧壁联通，所述注气槽内滑动连接有活塞，所述活塞表面螺纹连接有螺纹杆。实用新型专利技术通过设置防尘气囊、注气槽、活塞和充气机构，未充气时，充气气囊表面呈凹面，可以将凸面晶元表面贴合，晶元陷入到安置槽内，从而保证晶元的稳定，随后通过充气机构，充气气囊充气鼓起，将晶元顶起，从而便于从安置槽内取出，从而在保证晶元稳定的同时，避免发生凸面晶元外侧受损的问题。发生凸面晶元外侧受损的问题。发生凸面晶元外侧受损的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种晶元半自动测试辅助装置
[0001]本技术涉及晶元测试领域，具体为一种晶元半自动测试辅助装置。
技术介绍
[0002]晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、
……
20英吋以上等)。晶元越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但要求材料技术和生产技术更高。
[0003]现有技术中，在测试凸面晶元时，由于凸面晶元两侧厚度小，一般的夹持机构不仅难以将凸面晶元夹持，而且容易对凸面晶元两侧进行二次损害，从而导致测试难度增大的问题。
[0004]基于此，本技术设计了一种晶元半自动测试辅助装置，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种晶元半自动测试辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出了现有技术中，在测试凸面晶元时，由于凸面晶元两侧厚度小，一般的夹持机构不仅难以将凸面晶元夹持，而且容易对凸面晶元两侧进行二次损害，从而导致测试难度增大的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶元半自动测试辅助装置，包括运输机构，所述运输机构表面设置有输送台，所述输送台表面阵列开设有安置槽，所述安置槽内均固定连接有防尘气囊，所述输送台两侧对称阵列开设注气槽，所述注气槽与防尘气囊两侧外侧壁联通，所述注气槽内滑动连接有活塞，所述活塞表面螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆端部贯穿输送台外侧壁后与输送台外侧壁转动连接，所述螺纹杆端部和输送机构表面共同设置有充气机构。
[0007]优选的，所述充气机构包括齿轮，所述齿轮固定连接螺纹杆端部，所述输送机构两端分别对称设置有能和齿轮啮合的齿条板，其中两个所述齿条板位于输送台上方，另两个所述齿条板位于输送台下方。
[0008]优选的，所述运输机构包括U形安装架，所述U形安装架内侧壁对称转动连接有传动辊，两个所述传动辊表面共同传动连接有输送带，所述输送台固定连接在输送带表面，其中一个所述传动辊端部传动连接有电机，所述电机固定连接在U形安装架外侧壁上。
[0009]优选的，其中两个所述齿条板固定连接在U形安装架右端内侧壁上，另两个所述齿条板固定连接在U形安装架左端内侧壁上。
[0010]优选的，所述U形安装架底端设置有清洗机构，所述清洗机构包括数个清洗辊，所述清洗辊阵列转动连接在U形安装架底端内侧壁上，所述清洗辊两端表面对称固定连接有接触辊，其中接触辊与输送台表面贴合，清洗辊与防尘气囊表面贴合。
[0011]优选的，所述清洗辊底端表面滑动连接有除尘台，所述除尘台底端固定连接在U形安装架底端上。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.本技术通过设置防尘气囊、注气槽、活塞和充气机构，未充气时，充气气囊表面呈凹面，可以将凸面晶元表面贴合，晶元陷入到安置槽内，从而保证晶元的稳定，随后通过充气机构，充气气囊充气鼓起，将晶元顶起，从而便于从安置槽内取出，从而在保证晶元稳定的同时，避免发生凸面晶元外侧受损的问题。
[0014]2.本技术通过设置清洗机构，保证防尘气囊表面整洁性，避免静电作用，使得充气气囊表面粘附灰尘，从而避免发生晶元表面被污染的问题。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术整体结构第一示意图；
[0017]图2为本技术整体结构第二示意图(隐藏U形安装架)；
[0018]图3为本技术整体结构第三示意图；
[0019]图4为本技术中输送台的剖视图；
[0020]图5为图4中A处放大图。
[0021]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0022]输送台1、安置槽2、防尘气囊3、注气槽4、活塞5、螺纹杆6、齿轮7、齿条板8、U形安装架9、传动辊10、输送带11、电机12、清洗辊13、接触辊14、除尘台15。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种晶元半自动测试辅助装置，包括运输机构，运输机构表面设置有输送台1，输送台1表面阵列开设有安置槽2，安置槽2内均固定连接有防尘气囊3，输送台1两侧对称阵列开设注气槽4，注气槽4与防尘气囊3两侧外侧壁联通，注气槽4内滑动连接有活塞5，活塞5表面螺纹连接有螺纹杆6，螺纹杆6端部贯穿输送台1外侧壁后与输送台1外侧壁转动连接，螺纹杆6端部和输送机构表面共同设置有充气机构，充气机构包括齿轮7，齿轮7固定连接螺纹杆6端部，输送机构两端分别对称设置有能和齿轮7啮合的齿条板8，其中两个齿条板8位于输送台1上方，另两个齿条板8位于输送台1下方，运输机构包括U形安装架9，U形安装架9内侧壁对称转动连接有传动辊10，两个传动辊10表面共同传动连接有输送带11，输送台1固定连接在输送带11表面，其中一个传动辊10端部传动连接有电机12，电机12固定连接在U形安装架9外侧壁上，其中两个齿条板8固定连接
在U形安装架9右端内侧壁上，另两个齿条板8固定连接在U形安装架9左端内侧壁上。
[0025]本实施例的一个具体应用为：使用时，启动电机12，使电机12输出轴旋转，输送带11带动输送台1向右输送，随后将晶元放入到安置槽2内，此时防尘气囊3表面为凹面，使得能与晶元底端表面凸面贴合，从而保证晶元的稳定性，随后晶元向右运输，并被测试，当运动到U形安装架9最右端时，此时齿轮7与齿条板8啮合，使得螺纹杆6转动，在螺纹连接的作用下，使得活塞5沿着注气槽4向防尘气囊3外侧靠进，将注气槽4内的空气注入到防尘气囊3内，使得防尘气囊3鼓起，将原本在安置槽2内的晶元顶起，从而便于取下晶元，随后当输送台1转动到底端时，通过齿轮7与底端的齿条板8啮合，随后将活塞5复位，使得鼓起的气囊重新塌陷，从而为下一个安装晶元做装备。
[0026]本技术通过U形安装架9底端设置有清洗机构，清洗机构包括数个清洗辊13，清洗辊13阵列转动连接在U形安装架9底端内侧壁上，清洗辊13两端表面对称固定连接有接触辊14，其中接触辊14与输送台1表面贴合，清洗辊13与防尘气囊3表面本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶元半自动测试辅助装置，包括运输机构，所述运输机构表面设置有输送台(1)，其特征在于：所述输送台(1)表面阵列开设有安置槽(2)，所述安置槽(2)内均固定连接有防尘气囊(3)，所述输送台(1)两侧对称阵列开设注气槽(4)，所述注气槽(4)与防尘气囊(3)两侧外侧壁联通，所述注气槽(4)内滑动连接有活塞(5)，所述活塞(5)表面螺纹连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)端部贯穿输送台(1)外侧壁后与输送台(1)外侧壁转动连接，所述螺纹杆(6)端部和输送机构表面共同设置有充气机构。2.根据权利要求1所述的一种晶元半自动测试辅助装置，其特征在于：所述充气机构包括齿轮(7)，所述齿轮(7)固定连接螺纹杆(6)端部，所述输送机构两端分别对称设置有能和齿轮(7)啮合的齿条板(8)，其中两个所述齿条板(8)位于输送台(1)上方，另两个所述齿条板(8)位于输送台(1)下方。3.根据权利要求2所述的一种晶元半自动测试辅助装置，其特征在于：所述运输机构包括U形安装架(9)，所述U形安装架(9)内侧壁对称转动连接有传动辊(10)...
【专利技术属性】
技术研发人员：李娜，夏光普，高伦，
申请(专利权)人：河北光森电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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