一种干法刻蚀设备的承载盘系统技术方案

本技术公开了一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳，所述固定壳的两侧均开设有散热口，且固定壳的内壁固定连接有隔板，所述固定壳的内底壁固定安装有电动推杆，且电动推杆的伸缩杆顶端固定连接有移动板；所述移动板的底部固定连接有限位柱。该干法刻蚀设备的承载盘系统，通过移动板、散热口和挡板等结构的设置，通过加热管对固定壳内部空间加热，需要快速降温时，将电动推杆带动移动板向上移动，使得阻拦加热气体流向圆晶片的底部，并通过挡板的移动将散热口打开进行散热，从而方便进行快速降温，且方便调温使用，不需要进行冷热流体的使用，结构简单并满足使用需求，从而提高干法刻蚀设备的承载盘系统的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及干刻蚀卡盘，具体为一种干法刻蚀设备的承载盘系统。

技术介绍

1、等离子刻蚀机，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，在进行刻蚀设备的使用时，需要将圆晶片放置在承载盘(卡盘)上进行刻蚀操作。

2、但现有的承载盘在使用时还存在一些缺陷，在将圆晶片放置在承载盘上进行刻蚀时，需要将承载盘内部进行温度的控制，从而保证圆晶片底部受热均匀，避免影响刻蚀加工效果，且现有的承载盘内部温度调节操作需要冷热两种流体进行调温使用，降温时需要供液泵抽取冷却液，进而导致温度调节较为不便，如中国专利公开的专利公开号为cn217719548u的一种刻蚀机的静电卡盘装置，进而需要提出一种一种干法刻蚀设备的承载盘系统。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种干法刻蚀设备的承载盘系统，以解决上述
技术介绍
中提出的承载盘调温不便的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳，所述固定壳的两侧均开设有散热口，且固定壳的内壁固定连接有隔板，所述固定壳的内底壁固定安装有电动推杆，且电动推杆的伸缩杆顶端固定连接有移动板；

3、所述移动板的底部固定连接有限位柱，且移动板的外壁固定连接有连接块，所述固定壳的内壁固定安装有通气格板，且通气格板的内部移动连接有移动柱，所述移动柱的顶端固定安装有挡板。

4、优选的，所述固定壳的顶部开设有放置槽，且放置槽的内部开设有贯穿口，所述放置槽的内部放置有圆晶片，所述固定壳的顶部两侧均开设有出气孔，且圆晶片通过放置槽放置在固定壳的顶部。

5、优选的，所述固定壳的两侧均固定安装有固定盒，且固定盒的一侧固定安装有吹风扇，所述固定盒的内部固定连接有加热管，且固定壳对应固定盒的内侧开设有进风口。

6、优选的，所述隔板垂直设置在通气格板的底部，所述固定壳的顶部内侧壁固定安装有温度传感器，所述固定盒水平设置在通气格板和隔板之间。

7、优选的，所述电动推杆的伸缩杆移动设置在隔板的内部，所述限位柱移动设置在隔板的内部，且限位柱对称设置在移动板的顶部，所述移动板的顶部设置有密封垫。

8、优选的，所述连接块对称安装在移动板的外壁，且连接块挤压设置在移动柱的底端，所述挡板通过移动柱移动设置在通气格板的顶部。

9、优选的，所述挡板移动设置在散热口的一侧，所述通气格板的内部有弧形格孔，且移动板挤压设置在通气格板的底部，所述移动板的整体直径大于弧形格孔的整体直径。

10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该干法刻蚀设备的承载盘系统；

11、1.通过移动板、散热口和挡板等结构的设置，通过加热管对固定壳内部空间加热，需要快速降温时，将电动推杆带动移动板向上移动，使得阻拦加热气体流向圆晶片的底部，并通过挡板的移动将散热口打开进行散热，从而方便进行快速降温，且方便调温使用，不需要进行冷热流体的使用，结构简单并满足使用需求，从而提高干法刻蚀设备的承载盘系统的实用性；

12、2.通过温度传感器对圆晶片底部空间的温度进行检测，需要加热时，通过加热管加热固定盒内部气体，然后通过吹风扇吹风将热量从通气格板内部经过进入固定壳的顶部空间，且将固定壳上层的多余空气从出气孔排出，从而方便对圆晶片进行均为加热使用，且加热空气时通过挡板阻拦散热口将热空气在圆晶片底部暂留，从而方便快速加热空气至需要温度，使得保证圆晶片的干法刻蚀效果，且提高干法刻蚀设备的承载盘系统的使用价值。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳(1)，其特征在于：所述固定壳(1)的两侧均开设有散热口(5)，且固定壳(1)的内壁固定连接有隔板(9)，所述固定壳(1)的内底壁固定安装有电动推杆(10)，且电动推杆(10)的伸缩杆顶端固定连接有移动板(11)；

2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述固定壳(1)的顶部开设有放置槽(2)，且放置槽(2)的内部开设有贯穿口，所述放置槽(2)的内部放置有圆晶片(3)，所述固定壳(1)的顶部两侧均开设有出气孔(4)，且圆晶片(3)通过放置槽(2)放置在固定壳(1)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述固定壳(1)的两侧均固定安装有固定盒(6)，且固定盒(6)的一侧固定安装有吹风扇(7)，所述固定盒(6)的内部固定连接有加热管(8)，且固定壳(1)对应固定盒(6)的内侧开设有进风口。

4.根据权利要求3所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述隔板(9)垂直设置在通气格板(16)的底部，所述固定壳(1)的顶部内侧壁固定安装有温度传感器(17)，所述固定盒(6)水平设置在通气格板(16)和隔板(9)之间。

5.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述电动推杆(10)的伸缩杆移动设置在隔板(9)的内部，所述限位柱(12)移动设置在隔板(9)的内部，且限位柱(12)对称设置在移动板(11)的顶部，所述移动板(11)的顶部设置有密封垫。

6.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述连接块(13)对称安装在移动板(11)的外壁，且连接块(13)挤压设置在移动柱(14)的底端，所述挡板(15)通过移动柱(14)移动设置在通气格板(16)的顶部。

7.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述挡板(15)移动设置在散热口(5)的一侧，所述通气格板(16)的内部有弧形格孔，且移动板(11)挤压设置在通气格板(16)的底部，所述移动板(11)的整体直径大于弧形格孔的整体直径。

...

【技术特征摘要】

1.一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳(1)，其特征在于：所述固定壳(1)的两侧均开设有散热口(5)，且固定壳(1)的内壁固定连接有隔板(9)，所述固定壳(1)的内底壁固定安装有电动推杆(10)，且电动推杆(10)的伸缩杆顶端固定连接有移动板(11)；

2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述固定壳(1)的顶部开设有放置槽(2)，且放置槽(2)的内部开设有贯穿口，所述放置槽(2)的内部放置有圆晶片(3)，所述固定壳(1)的顶部两侧均开设有出气孔(4)，且圆晶片(3)通过放置槽(2)放置在固定壳(1)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述固定壳(1)的两侧均固定安装有固定盒(6)，且固定盒(6)的一侧固定安装有吹风扇(7)，所述固定盒(6)的内部固定连接有加热管(8)，且固定壳(1)对应固定盒(6)的内侧开设有进风口。

4.根据权利要求3所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述隔板(9)垂直设...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏光普，高伦，王树华，刘晶晶，
申请(专利权)人：河北光森电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：