感光性元件及抗蚀图案的形成方法技术

提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。一种感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，JIS B0601

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性元件及抗蚀图案的形成方法


[0001]本专利技术涉及感光性元件及抗蚀图案的形成方法。

技术介绍

[0002]个人计算机或便携式电话等电子仪器中，作为部件或半导体等的安装用，使用印刷布线板等。作为印刷布线板等的制造用的抗蚀剂，以往使用在支承膜上层叠感光性树脂组合物层、进而在该感光性树脂组合物层上根据需要层叠保护膜而成的感光性元件(感光性树脂层叠体)、所谓的干膜抗蚀剂(例如参照专利文献1、专利文献2)。
[0003]对于这种感光性元件，为了改善分辨率，作为支承膜，优选使用阻断进行曝光的光的内部异物少的高品质膜。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2004
‑
191648号公报
[0007]专利文献2：日本特开2019
‑
188612号公报

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]但是，高品质膜由于表面粗糙度小，因此将感光性树脂组合物层和保护膜层叠并以卷状卷取时，在与保护膜接触的界面，摩擦力过高而产生皱折。
[0010]本专利技术是鉴于这种以往的实际情况而提出的，本专利技术的目的在于，提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]本专利技术人等发现通过以下的技术性的手段可以解决上述问题。
[0013][1]一种感光性元件，其特征在于，
[0014]其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，
[0015]JIS B0601
‑
2001中规定的、前述支承膜(A)的与前述感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz
A1
(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度Rz
A2
(nm)、前述保护膜(C)的与前述感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz
C1
(nm)、和相反侧的表面的表面粗糙度Rz
C2
(nm)满足以下的(1)～(3)：
[0016](1)1<Rz
A1
<100
[0017](2)300<Rz
C1
<600
[0018](3)40<Rz
C2
/Rz
A2
。
[0019][2][0020]根据[1]所述的感光性元件，其中，1<Rz
A2
<200。
[0021][3][0022]根据[1]或[2]所述的感光性元件，其中，1.1<Rz
A2
/Rz
A1
<7。
[0023][4][0024]根据[1]～[3]中任一项所述的感光性元件，其中，1.1<Rz
C2
/Rz
C1
<10。
[0025][5][0026]根据[1]～[4]中任一项所述的感光性元件，其中，50<Rz
C2
/Rz
A2
<100。
[0027][6][0028]根据[1]～[5]中任一项所述的感光性元件，其中，前述支承膜(A)中含有的直径2μm以上且5μm以下的颗粒的个数为30个/30mm2以下。
[0029][7][0030]根据[1]～[6]中任一项所述的感光性元件，其中，前述支承膜(A)中含有的直径2μm以上且5μm以下的颗粒的个数为15个/30mm2以下。
[0031][8][0032]根据[1]～[7]中任一项所述的感光性元件，其中，前述支承膜(A)中含有的直径2μm以上且5μm以下的颗粒的个数为10个/30mm2以下。
[0033][9][0034]根据[1]～[8]中任一项所述的感光性元件，其中，前述支承膜(A)中含有的钛元素含量为1ppm以上且20ppm以下。
[0035][10][0036]根据[1]～[9]中任一项所述的感光性元件，其中，对前述支承膜(A)的至少单面实施了平滑化处理。
[0037][11][0038]根据[1]～[10]中任一项所述的感光性元件，其中，前述支承膜(A)的膜厚为5μm以上且12μm以下。
[0039][12][0040]根据[1]～[11]中任一项所述的感光性元件，其中，前述保护膜(C)的表面由聚丙烯树脂形成。
[0041][13][0042]一种感光性元件的卷绕体，其为将[1]～[12]中任一项所述的感光性元件卷绕而成的。
[0043][14][0044]一种抗蚀图案的形成方法，其包括：
[0045]将[1]～[12]中任一项所述的感光性元件层叠于基板的层叠工序、
[0046]对该感光性元件的感光性树脂组合物层进行曝光的曝光工序、和
[0047]将该感光性树脂组合物层的未曝光部显影去除的显影工序。
[0048][15][0049]根据[14]所述的抗蚀图案的形成方法，其中，前述曝光工序通过投影曝光方法进行。
[0050]专利技术的效果
[0051]根据本专利技术，可以提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。
附图说明
[0052]图1为示意性地表示本专利技术的感光性元件的一结构例的截面图。
具体实施方式
[0053]以下对用于实施本专利技术的实施方式进行详细说明。
[0054][感光性元件][0055]图1为示意性地表示本专利技术的感光性元件的一结构例的截面图。
[0056]本专利技术的感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，
[0057]JIS B0601中规定的、支承膜(A)的与感光性树脂组合物层接触侧的表面的表面粗糙度Rz
A1
(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度Rz
A2
(nm)、保护膜(C)的与感光性树脂组合物层接触侧的表面的表面粗糙度Rz
C1
(nm)、和相反侧的表面的表面粗糙度Rz
C2
(nm)满足以下的(1)～(3)：
[0058](1)1<Rz
A1
<100
[0059](2)300<Rz
C1
<600
[0060](3)40<Rz
C2
/Rz
A2
。
[0061]为了改善感光性元件的分辨率，作为支承膜(A)，优选使用阻断进行曝光的光的内部异物少的高品质膜。
[0062]高品质膜的特征为：表面粗糙度小、特别是与感光性树脂组合物层(B本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，JIS B0601
‑
2001中规定的、所述支承膜(A)的与所述感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz
A1
(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度Rz
A2
(nm)、所述保护膜(C)的与所述感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz
C1
(nm)、和相反侧的表面的表面粗糙度Rz
C2
(nm)满足以下的(1)～(3)：(1)1<Rz
A1
<100(2)300<Rz
C1
<600(3)40<Rz
C2
/Rz
A2
。2.根据权利要求1所述的感光性元件，其中，1<Rz
A2
<200。3.根据权利要求1或2所述的感光性元件，其中，1.1<Rz
A2
/Rz
A1
<7。4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性元件，其中，1.1<Rz
C2
/Rz
C1
<10。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性元件，其中，50&...

【专利技术属性】
技术研发人员：加持义贵，
申请(专利权)人：旭化成株式会社，
类型：发明
国别省市：