一种敏感元件膜片组合热处理强化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种敏感元件膜片组合热处理强化装置，包括时效框架和用于定位多个膜片组合的时效垫块；时效垫块固定于时效框架内，时效垫块包括下垫块、多个中垫块和上垫块；不同的膜片组合分别固定于下垫块与中垫块之间、相邻的两个中垫块之间以及中垫块与上垫块之间，并分别通过定位环定位压紧膜片组合。本实用新型专利技术解决了耐高温耐高压差膜片式传感器较复杂型面的膜片组合制造时，膜片及组件容易变形，造成膜片压力—位移特性超差，装配传感器后密封面失效等问题，保证了系列膜片式压差传感器的顺利生产。传感器的顺利生产。传感器的顺利生产。

【技术实现步骤摘要】
一种敏感元件膜片组合热处理强化装置


[0001]本技术属于敏感元件处理装置的
，具体涉及一种敏感元件膜片组合热处理强化装置。

技术介绍

[0002]原有大量敏感元件为铍青铜类材料的膜片及膜片组合，以避免铍铜材料时效强化变形，采用常规热处理夹具，见图8，该夹具型面简单，耐温度低(一般
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55℃～120℃)，且材料为低碳钢，易锈蚀，在非真空热处理炉中使用。且原垫块结构双面相互定位，垫块变形后不容易返修。目前随着配套发动机的传感器工作温度升高，耐压指标提高，传感器的膜片选用的耐高温耐高压的不锈钢材料较多，密封面精度要求高，原来时效垫块及热处理装置不适用。尤其膜片式压差传感器的膜片及其膜片组合结构复杂，直径大，型面异形，厚0.15mm～0.40mm的薄壁件，且膜片与中心机、连接件焊接为膜片组合。焊接应力较大，膜片组合变形较大。因此设计膜片组合工艺流程时，考虑膜片软态下焊接，焊接后膜片组合再热处理强化处理，同时消除焊接应力，但膜片组合在高达1050℃的真空状态，低至
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80℃的较大温差下进行，膜片型面，密封面，中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种敏感元件膜片组合热处理强化装置，其特征在于：包括时效框架和用于定位多个膜片组合的时效垫块；所述时效垫块固定于时效框架内，时效垫块包括下垫块、多个中垫块和上垫块；不同的膜片组合分别固定于下垫块与中垫块之间、相邻的两个中垫块之间以及中垫块与上垫块之间，并分别通过定位环定位压紧膜片组合。2.根据权利要求1所述的敏感元件膜片组合热处理强化装置，其特征在于：所述时效框架包括上盖板、下盖板和四根螺柱；四根螺柱底部分别固定于下盖板上预留的四个孔内，四根螺柱顶部分别穿过上盖板上预留的四个通孔，并通过螺母锁定。3.根据权利要求2所述的敏感元件膜片组合热处理强化装置，其特征在于：所述时效垫块设于四根螺柱围成的空间内，且下垫块设于下盖板上，上垫块与上盖板挤压相连，并通过螺母调整对时效垫块的预紧力。4.根据权利要求1所述的敏感元件膜片组合热处理强化装置，其特征在于：所述膜片组合包括带凸台的中心螺柱和固定于中心螺柱上的膜片。5.根据权利要求4所述的敏感元件膜片组合热处理强化装置，其特征在于：所述下垫块上表面为用于放置膜片组合的第一型面；第一型面的边端设有与定位环连接的第一定位台阶；所述下垫块的中部设有用于中心螺柱嵌入的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖春惠，侯良云，张国旗，段德瑞，陈俊梅，邹捷，熊艳梅，
申请(专利权)人：成都凯天电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：