本实用新型专利技术公开了一种大尺寸石墨载物台装置，包括载物台基板，载物台基板上设置有下支撑组件，下支撑组件上设置有下分流板，下分流板上设置有上支撑组件，上支撑组件上设置有上分流板，载物台基板的两侧均设置有侧支撑组件，下分流板和上分流板均为石墨板；本实用新型专利技术设置有下分流板和上分流板，在下分流板上开设有多个均匀分布的下分气孔，在上分流板上开设有多个均匀分布的上分气孔，可以提高大尺寸碳化硅单晶掺氮量的分布均匀性；本实用新型专利技术设置有下分流板和上分流板，所述下分流板由三块分流板拼接而成，所述上分流板由三块分流板拼接而成，合理拼接、保证强度且避免尺寸超大无法采购、降低采购成本。降低采购成本。降低采购成本。
【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸石墨载物台装置
[0001]本技术涉及载物台
，具体涉及一种大尺寸石墨载物台装置。
技术介绍
[0002]碳化硅是继硅和砷化镓之后的第三代宽禁带半导体材料的典型代表，其具有禁带宽度大、饱和电子漂移速率高、击穿场强大以及热导率高等优异的物理性能，因而被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。高质量碳化硅晶体是半导体和信息产业发展的基石，其制备水平制约了下游器件的制备与性能。
[0003]尽管近几年物理气相传输法(PVT)生长碳化硅晶体取得了长足的进步，但其生长晶体的稳定性仍需要进一步研究。现有的物理气相传输法(PVT)生长碳化硅需要使用载物台。而现有的载物台均采用石墨板，而市场上尺寸超过1.5米的高纯石墨材料很稀少且价格昂贵，导致载物台成本高，不能适用大尺寸的碳化硅，同时，结构简单，使得气体流场分布不均匀，导致碳化硅掺氮不均匀。鉴于以上缺陷，实有必要设计一种大尺寸石墨载物台装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种大尺寸石墨载物台装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大尺寸石墨载物台装置，包括载物台基板，所述载物台基板上设置有下支撑组件，下支撑组件上设置有下分流板，下分流板上设置有上支撑组件，上支撑组件上设置有上分流板，所述载物台基板的两侧均设置有侧支撑组件，所述下分流板和上分流板均为石墨板。
[0006]优选的，所述载物台基板包括左基板、中基板和右基板，所述左基板和右基板上表面的一侧均向外延伸有上连接板，中基板下表面的两侧均向外延伸有下连接板，所述上连接板和下连接板上均开设有螺栓孔，螺栓孔上穿设有用于上连接板与下连接板连接用的螺栓。
[0007]优选的，所述左基板、中基板和右基板上均开设有进气孔，进气孔与进气管相连通，进气管与气泵相连通，气泵与储气罐相连通，所述左基板、中基板和右基板的底部均设置有三个支撑柱，所述左基板、中基板和右基板的两侧均开设有螺杆孔。
[0008]优选的，所述下支撑组件包括侧支撑板、横向支撑块、纵向支撑块和横向支撑板，所述侧支撑板设置有两个，两个所述侧支撑板位于横向支撑块的两侧。
[0009]优选的，所述横向支撑块设置有多块，多块横向支撑块呈横向排列，所述纵向支撑块设置有八块，八块所述纵向支撑块分成左右两排设置，所述纵向支撑板设置有六块，六块所述纵向支撑板分成三排设置，侧支撑板上均匀布置有四个固定孔，固定孔内穿设有固定杆，固定杆固定在载物台基板上。
[0010]优选的，所述下分流板由三块分流板拼接而成，所述下分流板上开设有多个均匀分布的下分气孔，所述上分流板由三块分流板拼接而成，所述上分流板上开设有多个均匀
分布的上分气孔。
[0011]优选的，所述侧支撑组件包括左支撑板、中支撑板和后支撑板，所述左支撑板和右支撑板的一侧向外延伸有前连接块，所述中支撑板的两侧均向外延伸有后连接块。
[0012]优选的，所述左支撑板、中支撑板以及右支撑板的上下表面分别开设有上限位槽和下限位槽，所述左支撑板、中支撑板以及右支撑板上均开设有安装孔，安装孔内部穿设有螺杆。
[0013]与现有技术相比，本技术一种大尺寸石墨载物台装置，设置有下分流板和上分流板，在下分流板上开设有多个均匀分布的下分气孔，在上分流板上开设有多个均匀分布的上分气孔，可以提高大尺寸碳化硅单晶掺氮量的分布均匀性；本技术设置有下分流板和上分流板，所述下分流板由三块分流板拼接而成，所述上分流板由三块分流板拼接而成，合理拼接、保证强度且避免尺寸超大无法采购、降低采购成本，尺寸超过1.5米的高纯石墨材料很稀少且价格昂贵。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0015]图1为本技术一种大尺寸石墨载物台装置的立体图；
[0016]图2为本技术一种大尺寸石墨载物台装置的侧视图；
[0017]图3为本技术一种大尺寸石墨载物台装置中的载物台基板结构示意图；
[0018]图4为本技术一种大尺寸石墨载物台装置中的下支撑组件结构示意图；
[0019]图5为本技术一种大尺寸石墨载物台装置中的下分流板结构示意图。
[0020]附图中：
[0021]1、载物台基板；2、下支撑组件；3、下分流板；4、上支撑组件；5、上分流板；6、侧支撑组件；7、左基板；8、中基板；9、右基板；10、上连接板；11、下连接板；12、螺栓孔；13、螺栓；14、进气孔；15、进气管；16、支撑柱；17、侧支撑板；18、横向支撑块；19、纵向支撑块；20、纵向支撑板；21、固定杆；22、下分气孔；23、上分气孔；24、左支撑板；25、中支撑板；26、右支撑板；27、前连接块；28、后连接块；29、上限位槽；30、下限位槽；31、螺杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5所示，本技术提供一种技术方案：一种大尺寸石墨载物台装置，包括载物台基板1，所述载物台基板1上设置有下支撑组件2，下支撑组件2上设置有下分流板3，下分流板3上设置有上支撑组件4，上支撑组件4上设置有上分流板5，所述载物台基板1的两侧均设置有侧支撑组件6，所述下分流板3和上分流板5均为石墨板。
[0024]本实施例中的所述载物台基板1包括左基板7、中基板8和右基板9，所述左基板7和右基板9上表面的一侧均向外延伸有上连接板10，中基板8下表面的两侧均向外延伸有下连
接板11，所述上连接板10和下连接板11上均开设有螺栓孔12，螺栓孔12上穿设有用于上连接板10与下连接板11连接用的螺栓13，所述左基板7、中基板8和右基板9上均开设有进气孔14，进气孔14与进气管15相连通，进气管15与气泵相连通，气泵与储气罐相连通，所述左基板7、中基板8和右基板9的底部均设置有三个支撑柱16，所述左基板7、中基板8和右基板9的两侧均开设有螺杆孔。
[0025]本实施例中的所述下支撑组件2包括侧支撑板17、横向支撑块18、纵向支撑块19和横向支撑板20，所述侧支撑板17设置有两个，两个所述侧支撑板17位于横向支撑块18的两侧，所述横向支撑块18设置有多块，多块横向支撑块18呈横向排列，所述纵向支撑块19设置有八块，八块所述纵向支撑块19分成左右两排设置，所述纵向支撑板20设置有六块，六块所述纵向支撑板20分成三排设置，侧支撑板17上均匀布置有四个固定孔，固定孔内穿设有固定杆21，固定杆2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸石墨载物台装置，其特征在于：包括载物台基板(1)，所述载物台基板(1)上设置有下支撑组件(2)，下支撑组件(2)上设置有下分流板(3)，下分流板(3)上设置有上支撑组件(4)，上支撑组件(4)上设置有上分流板(5)，所述载物台基板(1)的两侧均设置有侧支撑组件(6)，所述下分流板(3)和上分流板(5)均为石墨板。2.根据权利要求1所述一种大尺寸石墨载物台装置，其特征在于：所述载物台基板(1)包括左基板(7)、中基板(8)和右基板(9)，所述左基板(7)和右基板(9)上表面的一侧均向外延伸有上连接板(10)，中基板(8)下表面的两侧均向外延伸有下连接板(11)，所述上连接板(10)和下连接板(11)上均开设有螺栓孔(12)，螺栓孔(12)上穿设有用于上连接板(10)与下连接板(11)连接用的螺栓(13)。3.根据权利要求2所述一种大尺寸石墨载物台装置，其特征在于：所述左基板(7)、中基板(8)和右基板(9)上均开设有进气孔(14)，进气孔(14)与进气管(15)相连通，进气管(15)与气泵相连通，气泵与储气罐相连通，所述左基板(7)、中基板(8)和右基板(9)的底部均设置有三个支撑柱(16)，所述左基板(7)、中基板(8)和右基板(9)的两侧均开设有螺杆孔。4.根据权利要求1所述一种大尺寸石墨载物台装置，其特征在于：所述下支撑组件(2)包括侧支撑板(17)、横向支撑块(18)、纵向支撑块(19)和纵向支撑板(20)，所述侧支撑板(17)设...
【专利技术属性】
技术研发人员：李振，徐养毅，白斌，周春霞，韩科选，
申请(专利权)人：苏州步科斯新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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