一种再生气体流量控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种再生气体流量控制装置，属于废弃排放技术领域。一种再生气体流量控制装置，包括外壳，所述外壳左侧贯穿安装有进气管，所述外壳内侧中部安装有内壳，所述内壳中部安装有分子筛，所述外壳顶端贯穿安装有喷淋装置。本实用新型专利技术通过整体的结构设置，将喷淋装置设置在分子筛正上方，并且采用上下分体式结构，上部供水管用于提供清洁液，下部均水管顶端安装有螺旋片，水流冲击过螺旋片时，会推动均水管转动进而进行清洁液均匀的喷洒，对整个分子筛进行喷淋清洗，避免局部升温异常。异常。异常。

【技术实现步骤摘要】
一种再生气体流量控制装置


[0001]本技术涉及废弃排放
，更具体地说，涉及一种再生气体流量控制装置。

技术介绍

[0002]在半导体生产的过程中，使用高纯度气体作为原料，制备高纯度气体需要带有分子筛的气体纯化设备，对进入纯化设备中的气体原料进行杂质吸附和过滤，分子筛在使用的过程中吸附杂质到饱和状态后，则会影响气体纯化效率，所以当分子筛使用一端时间后需要对分子筛进行再生操作，过程中会有废气排出，为避免高浓度废气直接排放污染环境，会用到流量控制装置。
[0003]现有专利号为202121112944.X，专利名称为再生气体流量控制装置的专利文件，对分子筛再生过程中产生的气体进行稀释和带有流量控制的排放，从而降低对周围环境的影响，但是在进行分子筛的加热自洁时，喷淋装置无法均匀的对整个分子筛进行喷淋清洗，导致局部升温异常，容易造成分子筛损坏，鉴于此，我们提出一种再生气体流量控制装置。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]本技术的目的在于提供一种再生气体流量控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有流量控制装置无法均匀的对整个分子筛进行喷淋降温的问题。
[0006]2.技术方案
[0007]一种再生气体流量控制装置，包括外壳，所述外壳左侧贯穿安装有进气管，所述外壳内侧中部安装有内壳，所述内壳中部安装有分子筛，所述外壳顶端贯穿安装有喷淋装置，所述喷淋装置位于分子筛正上方，所述外壳右侧贯穿安装有排气管，所述排气管上下排布有多个，全部所述排气管右端连通有气体流量计；
[0008]分子筛上附着物质可以通过喷淋装置出水进行清洗，喷淋装置通过管道和外部供水设备导通，可以将分子筛洗净，并通过进气管将惰性保护气体充到外壳中，将分子筛上逸散出来的气体进行稀释，并通过排气管分散排出，排气管上带有蝶阀，排出速度通过气体流量计进行检测，当排速度过快时，可以将检测数据传输到远端控制设备，监控人员通过远端控制设备上的监视器看到排气速度过快时，可以及时通过调节蝶阀的开启程度介入处理。
[0009]优选地，所述喷淋装置采用分体式结构，所述喷淋装置包括相互之间可以转动的供水管和均水管，所述供水管底端和均水管顶端转动连接；
[0010]分体式的喷淋装置，可以进行单独的拆分清洁和更换，并且均水管采用同心散射形结构，可以均匀的将水分散喷洒到分子筛上。
[0011]优选地，所述供水管底端固定安装有转接套，所述均水管顶端固定安装有转接头，所述转接头和转接套转动连接，所述均水管底端贯穿设置有喷头；
[0012]转接套对转接头进行限位，连这个和之间采用转动密封，供水管提供的清洗液可
以从喷头向下喷出，进行分子筛的均匀清洗。
[0013]优选地，所述转接头顶端固定安装有螺旋片，所述螺旋片侧壁和转接套内壁滑动接触；
[0014]螺旋片和转接头固定连接，当水流冲击螺旋片通过时，可以带动螺旋片转动，此时均水管可以转动喷淋，提高均匀性。
[0015]优选地，所述内壳顶端设置有锥形环，所述锥形环上粗下细，所述内壳后侧贯穿开设有排水孔；
[0016]锥形环可以收集上部喷洒的清洁液，充分利用喷出的清洁液对分子筛进行冲洗清洁，并通过排水孔排出统一收集。
[0017]优选地，所述内壳内侧安装有支撑架，所述支撑架顶端侧壁紧密接触分子筛底端侧壁，所述支撑架下部设置有加热器；
[0018]支撑架呈蜘蛛网状，可以撑住分子筛防止分子筛中部下垂，加热器可以为分子筛加热，提高恢复效果，并且加热器采用自控温的加热器，使用前将加热温度设置好后，便可以保证加热器可以提供稳定的加热温度。
[0019]优选地，所述加热器端部安装有导热丝，所述导热丝外侧套设安装有导通环，所述导通环顶端贯穿导通安装有加热管，所述加热管顶端和支撑架底端侧壁抵压接触；
[0020]导热丝将热量均匀传递到导通环内部的导热液中，导热液通过加热管为支撑架加热，使得热量可以均匀的传递到分子筛中。
[0021]3.有益效果
[0022]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0023]1、本技术通过整体的结构设置，将喷淋装置设置在分子筛正上方，并且采用上下分体式结构，上部供水管用于提供清洁液，下部均水管顶端安装有螺旋片，水流冲击过螺旋片时，会推动均水管转动进而进行清洁液均匀的喷洒，对整个分子筛进行喷淋清洗，避免局部升温异常。
[0024]2、本技术通过整体的结构设置，将分子筛下方设置支撑架，使得分子筛受到喷淋冲击时可以保持稳定，避免分子筛被喷淋水流冲击以及清洗液在分子筛位置堆积导致分子筛下沉破坏，同时在支撑架下方设置加热管，加热管内部填充导热液，加热管内部的导热丝可以搭配导热液将热量充分均匀的分散到整个分子筛，保证温度均匀。
附图说明
[0025]图1为本技术的整体结构左侧示意图；
[0026]图2为本技术的上部结构位置示意图；
[0027]图3为本技术的下部结构剖面示意图；
[0028]图4为本技术的部分结构拆分示意图。
[0029]图中标号说明：外壳1；喷淋装置2；进气管3；分子筛4；加热器5；内壳6；支撑架7；导通环8；加热管9；导热丝10；供水管21；螺旋片22；转接套23；转接头24；均水管25；喷头26。
具体实施方式
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽
度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]请参阅图1
‑
4,本技术提供两种技术方案：
[0034]实施例一：
[0035]一种再生气体流量控制装置，包括外壳1，外壳1左侧贯穿安装有进气管3，外壳1内侧中部安装有内壳6，内壳6中部安装有分子筛4，外壳1顶端贯穿安装有喷淋装置2，喷淋装置2位于分子筛4正上方，外壳1右侧贯穿安装有排气管，排气管上下排布有多个，全部排气管右端连通有气体流量计。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种再生气体流量控制装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)左侧贯穿安装有进气管(3)，所述外壳(1)内侧中部安装有内壳(6)，所述内壳(6)中部安装有分子筛(4)，所述外壳(1)顶端贯穿安装有喷淋装置(2)，所述喷淋装置(2)位于分子筛(4)正上方，所述外壳(1)右侧贯穿安装有排气管，所述排气管上下排布有多个，全部所述排气管右端连通有气体流量计。2.根据权利要求1所述的一种再生气体流量控制装置，其特征在于：所述喷淋装置(2)采用分体式结构，所述喷淋装置(2)包括相互之间可以转动的供水管(21)和均水管(25)，所述供水管(21)底端和均水管(25)顶端转动连接。3.根据权利要求2所述的一种再生气体流量控制装置，其特征在于：所述供水管(21)底端固定安装有转接套(23)，所述均水管(25)顶端固定安装有转接头(24)，所述转接头(24)和转接套(23)转动连接，所述均水管(25...

【专利技术属性】
技术研发人员：高松平，王富成，周高洁，
申请(专利权)人：日美隼包装机械科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：