一种FOUP固定锁制造技术

本实用新型专利技术公开了一种FOUP固定锁，包括：装载机体和固定锁头，所述装载机体的表面安装有台面，所述台面的表面连接有晶圆盒，所述晶圆盒的一侧设置有防护罩，所述装载机体相对台面的一侧安装有气缸，所述气缸的顶端连接有固定锁头。该FOUP固定锁，当晶圆盒下时，气动控制自动开启，带动固定锁头进行工作，固定锁头通过晶圆盒底面落点孔进入，紧紧锁定牢固晶圆盒，保证晶圆盒不倾斜，安全性，FOUP固定锁通过气动控制，气动装置结构简单，轻便，安装维护简单，使用安全，可靠性，使用寿命长，这就是该FOUP固定锁的特点。FOUP固定锁的特点。FOUP固定锁的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种FOUP固定锁


[0001]本技术涉及FOUP固定锁
，具体为一种FOUP固定锁。

技术介绍

[0002]晶圆传送盒(FOUP)是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12吋晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。
[0003]这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：
[0004]1.装载机在工作中晶圆传送盒落下时，缺少具有固定紧密连接的结构，这样晶圆传送盒在下落之后不能稳定放置。
[0005]所以需要针对上述问题进行改进，来满足市场需求。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种FOUP固定锁，以解决上述
技术介绍
中提出装载机在工作中晶圆传送盒落下时，缺少具有固定紧密连接的结构，这样晶圆传送盒在下落之后不能稳定放置的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种FOUP固定锁，包括：装载机体和固定锁头，所述装载机体的表面安装有台面，所述台面的表面连接有晶圆盒，所述晶圆盒的一侧设置有防护罩，所述装载机体相对台面的一侧安装有气缸，所述气缸的顶端连接有固定锁头；
[0008]优选的，所述台面为金属材质，所述台面通过螺栓与装载机体定位连接。
[0009]优选的，所述防护罩与装载机体为一体结构。
[0010]优选的，所述气缸与装载机体为可拆卸式结构。
[0011]优选的，所述固定锁头的顶部开设有安装孔，所述安装孔的横截面呈圆形。
[0012]优选的，所述气缸与固定锁头通过气动进行连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.该FOUP固定锁在晶圆盒落下时气缸自动开启，带动固定锁头进行工作，固定锁头通过晶圆盒底面落点孔进入，并通过气动控制，使其锁前后分开，最大空间停止，紧扣晶圆盒，实现牢牢锁紧的目的。
附图说明
[0015]图1为本技术晶圆盒安装结构示意图；
[0016]图2为本技术固定锁头侧视示意图；
[0017]图3为本技术立体示意图；
[0018]图4为本技术固定锁头俯视示意图。
[0019]图中：1、装载机体；2、台面；3、晶圆盒；4、防护罩；5、气缸；6、固定锁头。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种FOUP固定锁，包括：装载机体1和固定锁头6，所述装载机体1的表面安装有台面2，所述台面2的表面连接有晶圆盒3，所述晶圆盒3的一侧设置有防护罩4，所述装载机体1相对台面2的一侧安装有气缸5，所述气缸5的顶端连接有固定锁头6，该FOUP固定锁在晶圆盒3落下时气动控制自动开启，紧紧锁定晶圆盒3，保证晶圆盒3平稳，不倾斜，提高安全性和可靠性，使用寿命长；
[0022]参照图1，所述台面2为金属材质，所述台面2通过螺栓与装载机体1定位连接，通过将台面2安装在装载机体1的表面上，台面2可对晶圆盒3的下落提供一个场所，方便对固定锁头6进行配合；
[0023]参照图1和2，所述防护罩4与装载机体1为一体结构，所述气缸5与装载机体1为可拆卸式结构，通过安装有可拆装式气缸5，可以对后期的维护更加便捷，使用更加方便；
[0024]参照图3和图4，所述固定锁头6的顶部开设有安装孔，所述安装孔的横截面呈圆形，通过固定锁头6表面开设的圆形安装孔，可以快速与晶圆盒3对接；
[0025]参照图2，所述气缸5与固定锁头6通过气动进行连接，通过气缸5带动固定锁头6进行工作，使得紧紧锁定晶圆盒3，保证晶圆盒3不倾斜。
[0026]工作原理：如图1
‑
4所示，在使用该FOUP固定锁时，首先FOUP固定锁在无气体进入时由弹簧推动活塞关闭阀门，此原理为常闭式，当气体进入气缸5时阀门开启，做到紧密连接，断气时由弹簧带活塞阀门自动关闭，FOUP固定锁在晶圆盒3下时，气动控制自动开启，带动固定锁头6进行工作，固定锁头6通过晶圆盒3底面落点孔进入，紧紧锁定牢固晶圆盒3，保证晶圆盒3不倾斜，安全性，FOUP固定锁通过气动控制，气动装置结构简单，轻便，安装维护简单，使用安全，可靠性，使用寿命长，这就是该FOUP固定锁的特点。
[0027]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOUP固定锁，包括：装载机体(1)和固定锁头(6)，其特征在于：所述装载机体(1)的表面安装有台面(2)，所述台面(2)的表面连接有晶圆盒(3)，所述晶圆盒(3)的一侧设置有防护罩(4)，所述装载机体(1)相对台面(2)的一侧安装有气缸(5)，所述气缸(5)的顶端连接有固定锁头(6)。2.根据权利要求1所述的一种FOUP固定锁，其特征在于：所述台面(2)为金属材质，所述台面(2)通过螺栓与装载机体(1)定位连接。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵罡，赵洪亮，
申请(专利权)人：北京海岚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：