一种外延尾气处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种外延尾气处理设备，包括外延主设备，所述外延主设备的出口端设置有真空管路，所述真空管路的出口端设置有水洗式尾气处理器，所述水洗式尾气处理器的出口端通过真空管路设置有燃烧水洗式尾气处理器，所述燃烧水洗式尾气处理器的出口端通过真空管路设置有水洗塔。该一种外延尾气处理设备，在进行日常使用的过程中，通过增加燃烧水洗器能够有效的处理掉大量的H2，实现了外延设备工艺尾气处理的优化，减少传统放空方式存在的安全隐患，同时将水洗式和燃烧水洗式设备放置在二楼，减少了尾气在真空管路中的流通距离，以最快的方式将尾气溶解和燃烧掉，大大提高了尾气处理的整体效率。处理的整体效率。处理的整体效率。

【技术实现步骤摘要】
一种外延尾气处理设备


[0001]本技术涉及尾气处理
，具体为一种外延尾气处理设备。

技术介绍

[0002]外延设备在工艺时会产生大量尾气，包含(H2、TCS、HCL、PH3、B2H6)等特殊气体，传统的方式是通过水洗式的尾气处理设备处理掉99％的包含(TCS、HCL、PH3、B2H6)等特殊气体，剩余大量H2会通过放空的方式排入到大气中，处理过程中尾气在真空管道内部的流通距离较长，导致尾气处理的效果不佳效率较低，同时处理过程中存在较大的安全隐患。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种外延尾气处理设备，以解决上述
技术介绍
中提出的传统尾气处理方式是通过水洗式的尾气处理设备处理掉99％的包含(TCS、HCL、PH3、B2H6)等特殊气体，剩余大量H2会通过放空的方式排入到大气中，处理过程中尾气在真空管道内部的流通距离较长，导致尾气处理的效果不佳效率较低，同时处理过程中存在较大的安全隐患的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种外延尾气处理设备，包括外延主设备，所述外延主设备的出口端设置有真空管路，所述真空管路的出口端设置有水洗式尾气处理器，所述水洗式尾气处理器的出口端通过真空管路设置有燃烧水洗式尾气处理器，所述燃烧水洗式尾气处理器的出口端通过真空管路设置有水洗塔。
[0005]优选的，所述外延主设备的顶部表面设置有进料口，且进料口的顶部设置有密封端盖。
[0006]优选的，所述水洗塔的顶部表面设置有排放口，且排放口的表面设置有控制阀。
>[0007]优选的，所述外延主设备、水洗式尾气处理器、燃烧水洗式尾气处理器和水洗塔的两侧表面皆设置有安装块，所述安装块的表面皆设置有安装孔，且安装孔的内侧皆设置有安装栓。
[0008]优选的，所述安装栓的顶部设置有防脱帽，且安装栓的表面以及安装孔的内壁皆设置有螺纹。
[0009]优选的，所述外延主设备、水洗式尾气处理器、燃烧水洗式尾气处理器和水洗塔的一侧表面皆设置有控制按钮，且外延主设备、水洗式尾气处理器、燃烧水洗式尾气处理器和水洗塔的输入端皆通过导线与外部电源的输出端电性连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]该一种外延尾气处理设备，在进行日常使用的过程中，通过增加燃烧水洗器能够有效的处理掉大量的H2，实现了外延设备工艺尾气处理的优化，减少传统放空方式存在的安全隐患，同时将水洗式和燃烧水洗式设备放置在二楼，减少了尾气在真空管路中的流通距离，以最快的方式将尾气溶解和燃烧掉，大大提高了尾气处理的整体效率。
附图说明
[0012]图1为本技术的主视图；
[0013]图2为本技术的安装块和安装栓连接结构示意图；
[0014]图3为本技术的后视图。
[0015]图中：1、密封端盖；2、进料口；3、安装孔；4、水洗式尾气处理器；5、燃烧水洗式尾气处理器；6、真空管路；7、安装块；8、水洗塔；9、控制阀；10、排放口；11、防脱帽；12、安装栓；13、螺纹；14、控制按钮；15、外延主设备。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种外延尾气处理设备，包括外延主设备15，外延主设备15的出口端设置有真空管路6，可方便进行尾气的实时输送流通，同时减少尾气输送的流通距离，真空管路6的出口端设置有水洗式尾气处理器4，通过三楼工艺尾气通过真空管路6流入二楼水洗式尾气处理器4内部，进行处理掉99％包含H2、TCS、HCL、PH3、B2H6等特殊气体，水洗式尾气处理器4的出口端通过真空管路6设置有燃烧水洗式尾气处理器5，剩余少量特气和大量H2通过真空管路6流入二楼燃烧水洗式尾气处理器5内部，通过燃烧的方式处理掉99％以上的H2并处理掉剩余的少量特气，燃烧水洗式尾气处理器5的出口端通过真空管路6设置有水洗塔8，通过厂务端的尾气处理系统，将前置设备处理完的气体引流到四楼的水洗塔8，再次处理，外延主设备15的顶部表面设置有进料口2，且进料口2的顶部设置有密封端盖1，可方便进行原材料的导入和密封，避免使用过程中发生泄漏。
[0018]水洗塔8的顶部表面设置有排放口10，且排放口10的表面设置有控制阀9，可将处理后的尾气进行实时排放导出到外界大气中，外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8的两侧表面皆设置有安装块7，安装块7的表面皆设置有安装孔3，且安装孔3的内侧皆设置有安装栓12，可将设备各个部件进行实时安装和限位，安装栓12的顶部设置有防脱帽11，可避免使用过程中设备与安装栓12发生脱落掉落的问题，且安装栓12的表面以及安装孔3的内壁皆设置有螺纹，可通过螺纹扭合驱动进行实时插接卡合限位，提高设备使用的整体稳定性，外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8的一侧表面皆设置有控制按钮14，可方便协调控制外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8运行，避免造成能源浪费或者外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8长时间闲置运行导致故障发生，且外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8的输入端皆通过导线与外部电源的输出端电性连接，可为外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8运行提供充足的电力能源。
[0019]工作原理：当需要进行外延设备尾气处理工作时，首先可将外延主设备15、水洗式尾气处理器4、燃烧水洗式尾气处理器5和水洗塔8分别安装到相应的不同楼层中，并且通过
真空管路6将其之间进行相互连接贯通，通过三楼工艺尾气通过真空管路6流入二楼水洗式尾气处理器4内部，进行处理掉99％包含(H2、TCS、HCL、PH3、B2H6)等特殊气体，然后剩余少量特气和大量H2通过真空管路6流入二楼燃烧水洗式尾气处理器5内部，通过燃烧的方式处理掉99％以上的H2并处理掉剩余的少量特气，最终通过厂务端的尾气处理系统，将前置设备处理完的气体引流到四楼的水洗塔8，再次处理后将符合环境标准的尾气排入到大气中即可。
[0020]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延尾气处理设备，包括外延主设备(15)，其特征在于：所述外延主设备(15)的出口端设置有真空管路(6)，所述真空管路(6)的出口端设置有水洗式尾气处理器(4)，所述水洗式尾气处理器(4)的出口端通过真空管路(6)设置有燃烧水洗式尾气处理器(5)，所述燃烧水洗式尾气处理器(5)的出口端通过真空管路(6)设置有水洗塔(8)。2.根据权利要求1所述的一种外延尾气处理设备，其特征在于：所述外延主设备(15)的顶部表面设置有进料口(2)，且进料口(2)的顶部设置有密封端盖(1)。3.根据权利要求1所述的一种外延尾气处理设备，其特征在于：所述水洗塔(8)的顶部表面设置有排放口(10)，且排放口(10)的表面设置有控制阀(9)。4.根据权利要求1所述的一种外延尾气处理设备，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王超，杨振域，郑岳亮，卢鹏斐，龚塞，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：