一种多晶硅片表面淋洗装置制造方法及图纸

技术编号:35645053 阅读:18 留言:0更新日期:2022-11-19 16:37
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅片表面淋洗装置,具体涉及多晶硅片生产加工技术领域,包括两个对称设置的限位支板,所述限位支板的一侧安装有导向框,且在导向框的内部设置有淋洗机构;所述淋洗组件包括设置在导向框内部的传动螺杆,且传动螺杆的外壁套设有套接螺纹块,在套接螺纹块的一侧位置处设置有多个第一连接方管。本实用新型专利技术通过设置淋洗机构,第一连接方管带动多点位下喷管进行移动,同时连接管带动第二连接方管使下对接管向上倾斜移动,多点位下喷管可以对多晶硅片上倾斜面进行清洁,多点位上喷管可以对多晶硅片下倾斜面进行清洁,实现多点位大面积覆盖式清洁,清洁效果更好,更加彻底全面。更加彻底全面。更加彻底全面。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅片表面淋洗装置


[0001]本技术涉及多晶硅片生产加工
,更具体地说,本技术涉及一种多晶硅片表面淋洗装置。

技术介绍

[0002]现有的多晶硅片是制备太阳能电池的主要材料,多晶硅片在经过研磨、抛光等加工工序后,会导致其上下位置处均存在大量的杂质,这样就需要用到淋洗装置进行清洗才做。
[0003]专利申请公布号CN212190272U的技术专利公开了一种多晶硅片表面淋洗装置,包括外框、电机座、轴承座、电机、转轴、凸轮、升降框、多晶硅片固定框、淋洗喷嘴、储水槽、基座;外框螺接在基座中部,外框两侧设有电机座和轴承座,电机座上安置电机,转轴一端穿过轴承座,转轴上设两个凸轮,两个凸轮带动两个升降框交替升降,多晶硅片固定框固定多晶硅片,随着两个升降框的交替升降,多晶硅片交替翻转,淋洗喷嘴穿过外框左右侧壁,储水槽用于收集淋洗液,位于基座下方。本技术一种多晶硅片表面淋洗装置能够实现多晶硅片两面的同时淋洗,水流与多晶硅片的表面冲淋夹角始终小于90
°
,水流能沿着多晶硅片表面流走,同时带走多晶硅片表面的杂质,淋洗效果好。
[0004]综合上述专利在清洁时,只能对准倾斜的多晶硅片一个点位进行清洁冲洗,这样在清洁时,无法达到多点位全方位覆盖清洁,这样清洁不够彻底,降低了清洁效果。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术的上述缺陷,本技术的实施例提供一种多晶硅片表面淋洗装置,通过设置淋洗机构,多点位上喷管可以对多晶硅片下倾斜面进行清洁,实现多点位大面积覆盖式清洁,清洁效果更好,更加彻底全面,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多晶硅片表面淋洗装置,包括两个对称设置的限位支板,所述限位支板的一侧安装有导向框,且在导向框的内部设置有淋洗机构;
[0007]所述淋洗组件包括设置在导向框内部的传动螺杆,且传动螺杆的外壁套设有套接螺纹块,在套接螺纹块的一侧位置处设置有多个第一连接方管,所述第一连接方管的一侧连通有多点位下喷管,且多点位下喷管的下方安装有多点位上喷管,在多点位上喷管的一端设置有第二连接方管,所述第二连接方管的一侧安装有连接管,且在第二连接方管的下方设置有下对接管。
[0008]在一个优选地实施方式中,所述套接螺纹块与传动螺杆之间螺纹连接,且第一连接方管与多点位下喷管之间相连通,所述多点位下喷管和多点位上喷管对称设置,所述连接管两端分别与第二连接方管和第一连接方管两两之间相连通。
[0009]在一个优选地实施方式中,所述传动螺杆的一端连接有驱动电机,且驱动电机的输出端与传动螺杆之间同轴传动连接,两个所述限位支板相对一侧且位于导向框下方位置
处均安装有定位框。
[0010]在一个优选地实施方式中,所述第一连接方管的顶端连通有注入软管,且注入软管的底端安装有增压泵机,在增压泵机输入端连通有吸入管,所述吸入管的外部套设有水箱。
[0011]在一个优选地实施方式中,其中一个所述限位支板的底端安装有第一联动螺环块,在第一联动螺环块的一侧设置有第二联动螺环块,所述第二联动螺环块的内壁螺纹连接有双向传动螺杆,且双向传动螺杆一端安装有同轴传动连接的伺服电机,所述双向传动螺杆的外壁且位于第二联动螺环块一侧套设有支撑框,在支撑框下方安装有两个支撑柱。
[0012]本技术的技术效果和优点:
[0013]1、通过设置淋洗机构,传动螺杆带动套接螺纹块向上进行倾斜移动,第一连接方管带动多点位下喷管进行移动,同时连接管带动第二连接方管使下对接管向上倾斜移动,多点位下喷管可以对多晶硅片上倾斜面进行清洁,多点位上喷管可以对多晶硅片下倾斜面进行清洁,实现多点位大面积覆盖式清洁,清洁效果更好,更加彻底全面;
[0014]2、后期需要对两个限位支板之间的零件进行维修时,启动伺服电机带动双向传动螺杆进行反转,第一联动螺环块向右移动,第二联动螺环块向左移动,实现两个限位支板的空隙逐渐变大,对两个限位支板之间的零件进行维修操作,维修空间更大,便于维修操作。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术的后视立体结构示意图。
[0017]图3为本技术的图2中A处放大结构示意图。
[0018]图4为本技术的第二联动螺环块竖切面结构示意图。
[0019]附图标记为:1、限位支板;2、导向框;3、传动螺杆;4、套接螺纹块;5、第一连接方管;6、多点位下喷管;7、多点位上喷管;8、连接管;9、下对接管;10、第二连接方管;11、驱动电机;12、定位框;13、注入软管;14、增压泵机;15、吸入管;16、水箱;17、第一联动螺环块;18、第二联动螺环块;19、双向传动螺杆;20、伺服电机;21、支撑框;22、支撑柱。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]如附图1

4所示的一种多晶硅片表面淋洗装置,包括两个对称设置的限位支板1,限位支板1的一侧安装有导向框2,且在导向框2的内部设置有淋洗机构;
[0022]淋洗组件包括设置在导向框2内部的传动螺杆3,且传动螺杆3的外壁套设有套接螺纹块4,在套接螺纹块4的一侧位置处设置有多个第一连接方管5,第一连接方管5的一侧连通有多点位下喷管6,且多点位下喷管6的下方安装有多点位上喷管7,在多点位上喷管7的一端设置有第二连接方管10,第二连接方管10的一侧安装有连接管8,且在第二连接方管10的下方设置有下对接管9。
[0023]在一些实施例中如附图1

3所示,套接螺纹块4与传动螺杆3之间螺纹连接,且第一连接方管5与多点位下喷管6之间相连通,以便传动螺杆3在转动时传动螺杆3带动套接螺纹块4在螺纹的作用下进行移动,且第一连接方管5内部注入的清洁水增压后进入到多点位下喷管6内部实现下喷操作,多点位下喷管6和多点位上喷管7对称设置,连接管8两端分别与第二连接方管10和第一连接方管5两两之间相连通,以便多点位下喷管6可以实现多点位下喷操作,且多点位上喷管7可以实现多点位上喷操作,这样可以对多晶硅片进行上下多点位覆盖清洁。
[0024]在一些实施例中如附图1

2所示,传动螺杆3的一端连接有驱动电机11,且驱动电机11的输出端与传动螺杆3之间同轴传动连接,以便启动驱动电机11带动传动螺杆3进行传动,传动螺杆3实现旋转操作,两个限位支板1相对一侧且位于导向框2下方位置处均安装有定位框12,以便定位框12可以放置多晶硅片置入其内部,这样安装后可以达到更好的限位支撑的作用。
[0025]在一些实施本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片表面淋洗装置,包括两个对称设置的限位支板(1),其特征在于:所述限位支板(1)的一侧安装有导向框(2),且在导向框(2)的内部设置有淋洗机构;所述淋洗机构包括设置在导向框(2)内部的传动螺杆(3),且传动螺杆(3)的外壁套设有套接螺纹块(4),在套接螺纹块(4)的一侧位置处设置有多个第一连接方管(5),所述第一连接方管(5)的一侧连通有多点位下喷管(6),且多点位下喷管(6)的下方安装有多点位上喷管(7),在多点位上喷管(7)的一端设置有第二连接方管(10),所述第二连接方管(10)的一侧安装有连接管(8),且在第二连接方管(10)的下方设置有下对接管(9)。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面淋洗装置,其特征在于:所述套接螺纹块(4)与传动螺杆(3)之间螺纹连接,且第一连接方管(5)与多点位下喷管(6)之间相连通。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面淋洗装置,其特征在于:所述多点位下喷管(6)和多点位上喷管(7)对称设置,所述连接管(8)两端分别与第二连接方管(10)和第一连接方管(5)两两之间相连通。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面...

【专利技术属性】
技术研发人员:光善如程世显熊文金
申请(专利权)人:安徽晶瑞新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1