一种单晶硅片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片烘干装置，涉及单晶硅片技术领域。本实用新型专利技术包括工作台，工作台顶部的一端设置有烘干箱，烘干箱的内部设置有加热丝。本实用新型专利技术通过第一移动机构以及第二移动机构的设置，使得两个矩形移动台能够分别进入烘干箱的内部进行烘干，进而使得其中一个矩形移动台能够在烘干时，另一个矩形移动台能够进行上料或下料，并通过吹风机组件的设置进行降温处理，进行提高工作效率，本实用新型专利技术通过批量夹持机构的设置，使得单晶硅片能够得到批量的夹持，对单晶硅片夹持有利于烘干以及冷却时单晶硅片的稳定性，通过液压缸的运作使得批量的单晶硅片能够快速的上下料，进一步提高工作效率。进一步提高工作效率。进一步提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片烘干装置


[0001]本技术属于单晶硅片
，特别是涉及一种单晶硅片烘干装置。

技术介绍

[0002]单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成；
[0003]在现有的大部分装置中：
[0004]1、把单晶硅片多层的摞放在烘干箱体内部进行烘干，顶部的一部分单晶硅片首先被烘干，导致烘干效率下降，底部位置处的单晶硅片不能够很好的烘干；
[0005]2、不便于烘干前对单晶硅片的放置以及烘干后对单晶硅片的取出，以及单晶硅片烘干后的温度较高，很容易对操作人员造成烫伤；
[0006]因此，针对此缺点进行改进的装置使得单晶硅片能够得到批量的烘干，以及更加便捷的上料与下料；
[0007]为此，设计了一种单晶硅片烘干装置，用于对上述问题提供另一种解决方案。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种单晶硅片烘干装置，以解决现有的问题：把单晶硅片多层的摞放在烘干箱体内部进行烘干，顶部的一部分单晶硅片首先被烘干，导致烘干效率下降，底部位置处的单晶硅片不能够很好的烘干。
[0009]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：一种单晶硅片烘干装置，包括工作台，所述工作台顶部的一端设置有烘干箱，所述烘干箱的内部设置有加热丝，用于单晶硅片的加热；
[0010]所述工作台的中部位置处固定有U型板，所述U型板内部的顶端以及底端均设置有吹风机组件；
[0011]所述工作台顶部的两端均设置有矩形移动台，所述矩形移动台的顶部设置有用于多个单晶硅片批量夹持的批量夹持机构；
[0012]所述工作台内部的两侧分别设置有用于两个矩形移动台单独移动的第一移动机构以及第二移动机构。
[0013]进一步地，所述批量夹持机构包括两个竖向柱，所述矩形移动台顶部的两端均设置有竖向柱，所述竖向柱的两端均固定有液压缸，所述液压缸的输出端固定有矩形移动板，所述矩形移动板的靠近竖向柱的一端固定有多个圆形柱；
[0014]所述圆形柱的内部滑动连接有圆形滑杆，所述圆形滑杆的远离矩形移动板的一端固定有夹块，所述圆形柱的内部且位于圆形滑杆以及矩形移动板之间设置有弹簧。
[0015]进一步地，所述圆形滑杆靠近矩形移动板的一端且位于圆形柱的内部固定有圆形滑块，所述圆形柱的内部开设有与圆形滑块适配的圆形滑槽，所述圆形柱与圆形滑块之间
通过圆形滑槽的开设滑动连接。
[0016]进一步地，所述第一移动机构包括竖向矩形板，所述工作台底部的一侧固定有竖向矩形板，所述竖向矩形板一侧的两端均固定有第一矩形固定板，其中一个所述第一矩形固定板的一端螺栓固定有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的外侧螺纹连接有矩形滑动块，所述矩形滑动块的内部滑动连接有竖向滑板，所述竖向滑板的顶部固定与其中一个所述矩形移动台固定连接。
[0017]进一步地，所述竖向矩形板的内部开设有V型槽，所述V型槽的内部活动连接有定位轮，所述竖向滑板的底部与定位轮通过轴承转动连接。
[0018]进一步地，所述矩形滑动块的内部开设有矩形滑槽，所述矩形滑动块与竖向矩形板之间通过矩形滑槽滑动连接。
[0019]进一步地，所述第二移动机构包括两个第二矩形固定板，所述工作台底部的两端均固定有第二矩形固定板，其中一个所述第二矩形固定板的一端螺栓固定有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的外侧螺纹连接有L型移动块，所述L型移动块的顶部与其中另一个所述矩形移动台固定连接。
[0020]进一步地，所述第二驱动电机的输出端贯穿其中一个所述第二矩形固定板的内部且与第二矩形固定板通过轴承转动连接；
[0021]所述第二螺纹杆一端与其中另一个所述第二矩形固定板之间通过轴承转动连接。
[0022]本技术具有以下有益效果：
[0023]1、本技术通过第一移动机构以及第二移动机构的设置，使得两个矩形移动台能够分别进入烘干箱的内部进行烘干，进而使得其中一个矩形移动台能够在烘干时，另一个矩形移动台能够进行上料或下料，并通过吹风机组件的设置进行降温处理，进行提高工作效率。
[0024]2、本技术通过批量夹持机构的设置，使得单晶硅片能够得到批量的夹持，对单晶硅片夹持有利于烘干以及冷却时单晶硅片的稳定性，通过液压缸的运作使得批量的单晶硅片能够快速的上下料，进一步提高工作效率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本技术整体的结构示意图；
[0027]图2为本技术工作台内部结构的剖视图；
[0028]图3为本技术定位轮与竖向矩形板的结构示意图；
[0029]图4为本技术矩形移动台与L型移动块的结构示意图；
[0030]图5为本技术液压缸与竖向柱的结构示意图；
[0031]图6为本技术圆形柱内部结的剖视图。
[0032]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0033]1、工作台；2、烘干箱；3、加热丝；4、U型板；5、吹风机组件；6、矩形移动板；7、第一驱
动电机；8、竖向矩形板；9、第一螺纹杆；10、定位轮；11、矩形滑动块；12、竖向滑板；13、第二驱动电机；14、L型移动块；15、第二螺纹杆；16、矩形移动台；17、圆形柱；18、圆形滑杆；19、夹块；20、液压缸；21、竖向柱；22、弹簧；23、第一矩形固定板；24、第二矩形固定板。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]请参阅图1
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6所示，本技术为一种单晶硅片烘干装置，包括工作台1，工作台1顶部的一端设置有烘干箱2，烘干箱2的内部设置有加热丝3，用于单晶硅片的加热；
[0036]工作台1的中部位置处固定有U型板4，U型板4内部的顶端以及底端均设置有吹风机组件5；
[0037]工作台1顶部的两端均设置有矩形移动台16，矩形移动台16的顶部设置有用于多个单晶硅片批量夹持的批量夹持机构；
[0038]工作台1内部的两侧分别设置有用于两个矩形移动台16单独移动的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片烘干装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)顶部的一端设置有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)的内部设置有加热丝(3)，用于单晶硅片的加热；所述工作台(1)的中部位置处固定有U型板(4)，所述U型板(4)内部的顶端以及底端均设置有吹风机组件(5)；所述工作台(1)顶部的两端均设置有矩形移动台(16)，所述矩形移动台(16)的顶部设置有用于多个单晶硅片批量夹持的批量夹持机构；所述工作台(1)内部的两侧分别设置有用于两个矩形移动台(16)单独移动的第一移动机构以及第二移动机构。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述批量夹持机构包括两个竖向柱(21)，所述矩形移动台(16)顶部的两端均设置有竖向柱(21)，所述竖向柱(21)的两端均固定有液压缸(20)，所述液压缸(20)的输出端固定有矩形移动板(6)，所述矩形移动板(6)的靠近竖向柱(21)的一端固定有多个圆形柱(17)；所述圆形柱(17)的内部滑动连接有圆形滑杆(18)，所述圆形滑杆(18)的远离矩形移动板(6)的一端固定有夹块(19)，所述圆形柱(17)的内部且位于圆形滑杆(18)以及矩形移动板(6)之间设置有弹簧(22)。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述圆形滑杆(18)靠近矩形移动板(6)的一端且位于圆形柱(17)的内部固定有圆形滑块，所述圆形柱(17)的内部开设有与圆形滑块适配的圆形滑槽，所述圆形柱(17)与圆形滑块之间通过圆形滑槽的开设滑动连接。4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述第一移动机构包括竖向矩形板(8)，所述工作台(1)底部的一侧固定有竖向矩形板(8)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：光善如，
申请(专利权)人：安徽晶瑞新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：