一种单晶硅片生产检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架、检测控制台、移动检测螺杆和晶片放置架，所述检测装置外架上表面固定连接有检测控制台，所述检测控制台外表面设置有硅片数据显示器，本实用新型专利技术通过设置的移动检测螺杆，在对晶片放置架上端不同位置的单晶硅片检测时，通过螺杆控制电机控制移动检测螺杆转动，使移动检测螺杆外侧螺纹连接的移动检测环一和移动检测环二拉动移动检测滑块以水平方向移动，在移动检测滑块移动时，与移动检测滑块下端通过连接固定架相连的外观检测器能够随之移动，以此方式能够通过螺杆控制电机控制外观检测器在晶片放置架上端不同位置的单晶硅片进行检测，较为便捷。较为便捷。较为便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片生产检测装置


[0001]本技术属于单晶硅片检测
，具体涉及一种单晶硅片生产检测装置。

技术介绍

[0002]单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
[0003]现有技术的单晶硅片生产检测装置在对不同单晶硅片检测时，需要通过人工手动调整检测机构的位置，这种方式较为麻烦，因此需要设计一种便于对不同位置的单晶硅片的检测装置。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种单晶硅片生产检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有技术的单晶硅片检测装置不便于对不同位置单晶硅片检测的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架、检测控制台、移动检测螺杆和晶片放置架，所述检测装置外架上表面固定连接有检测控制台，所述检测控制台外表面设置有硅片数据显示器，所述检测装置外架外表面一侧固定连接有螺杆控制电机，所述螺杆控制电机内侧传动连接有移动检测螺杆，所述移动检测螺杆另一端转动连接在检测装置外架内壁表面，所述移动检测螺杆外表面一侧螺纹连接有移动检测环一，所述移动检测螺杆外表面另一侧螺纹连接有移动检测环二，所述移动检测环一和移动检测环二分别设置在移动检测滑块两侧位置，所述移动检测滑块中间贯穿设置有移动检测螺杆，所述移动检测滑块下端固定连接有连接固定架。
[0006]优选的，所述连接固定架下端设置有外观检测器，所述外观检测器下表面设置有红外扫描机构。
[0007]优选的，所述检测装置外架内部顶端固定连接有内置顶端滑轨，所述内置顶端滑轨下端两侧均滑动连接有限位机构，两个所述限位机构下端分别固定连接在移动检测环一和移动检测环二上表面。
[0008]优选的，所述检测装置外架内部底端两侧均固定连接有升降电动推杆，两个所述升降电动推杆上端分别固定连接在升降固定架下端两侧。
[0009]优选的，所述升降固定架上表面固定连接有晶片放置架，所述晶片放置架上表面固定连接有三个晶片检测台。
[0010]优选的，所述晶片检测台上表面设置有多个防滑条纹。
[0011]优选的，所述检测装置外架外表面一侧转动连接有外架保护门，所述检测装置外架外表面另一侧设置有检测观察窗。
[0012]优选的，所述检测装置外架上表面设置有多个检测控制按键。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种单晶硅片生产检测装置，具备以下有益效果：
[0014]1、本技术通过设置的移动检测螺杆，在对晶片放置架上端不同位置的单晶硅片检测时，通过螺杆控制电机控制移动检测螺杆转动，使移动检测螺杆外侧螺纹连接的移动检测环一和移动检测环二拉动移动检测滑块以水平方向移动，在移动检测滑块移动时，与移动检测滑块下端通过连接固定架相连的外观检测器能够随之移动，以此方式能够通过螺杆控制电机控制外观检测器在晶片放置架上端不同位置的单晶硅片进行检测，较为便捷；
[0015]2、本技术通过设置的升降固定架，当需要调整晶片放置架的高度时，通过在检测装置外架内部底端位置的两组升降电动推杆的作用下，能够使升降固定架在检测装置外架内部以竖直方向移动，以此方式通过升降电动推杆控制升降固定架的高度，从而能够实现对晶片放置架高度的调整。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0017]图1为本技术提出的单晶硅片生产检测装置的结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的单晶硅片生产检测装置的剖视图；
[0019]图3为本技术提出的单晶硅片生产检测装置图2中A的放大图；
[0020]图4为本技术提出的单晶硅片生产检测装置中晶片放置架的俯视图；
[0021]图中：1、检测装置外架；2、检测控制台；3、检测控制按键；4、硅片数据显示器；5、外架保护门；6、检测观察窗；7、内置顶端滑轨；8、限位机构；9、移动检测螺杆；10、移动检测环一；11、移动检测环二；12、移动检测滑块；13、连接固定架；14、外观检测器；15、晶片放置架；16、晶片检测台；17、升降固定架；18、升降电动推杆；19、螺杆控制电机；20、防滑条纹。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，本技术提供以下技术方案：一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架1、检测控制台2、移动检测螺杆9和晶片放置架15，检测装置外架1上表面固定连接有检测控制台2，检测控制台2外表面设置有硅片数据显示器4，检测装置外架1外表面一侧固定连接有螺杆控制电机19，螺杆控制电机19内侧传动连接有移动检测螺杆9，移动检测螺杆9另一端转动连接在检测装置外架1内壁表面，移动检测螺杆9外表面一侧螺纹连接
有移动检测环一10，移动检测螺杆9外表面另一侧螺纹连接有移动检测环二11，移动检测环一10和移动检测环二11分别设置在移动检测滑块12两侧位置，移动检测滑块12中间贯穿设置有移动检测螺杆9，移动检测滑块12下端固定连接有连接固定架13，在对晶片放置架15上端不同位置的单晶硅片检测时，通过螺杆控制电机19控制移动检测螺杆9转动，使移动检测螺杆9外侧螺纹连接的移动检测环一10和移动检测环二11拉动移动检测滑块12以水平方向移动，在移动检测滑块12移动时，与移动检测滑块12下端通过连接固定架13相连的外观检测器14能够随之移动，以此方式能够通过螺杆控制电机19控制外观检测器14在晶片放置架15上端不同位置的单晶硅片进行检测，较为便捷。
[0024]本技术中，优选的，连接固定架13下端设置有外观检测器14，外观检测器14下表面设置有红外扫描机构，需要说明的是在单晶硅片检测时，通过外观检测器14下端位置的检测扫描机构对单晶硅片进行扫描，并将扫描结果显示在硅片数据显示器4表面，从而能够实现对单晶硅片的检测效果。
[0025]本技术中，优选的，检测装置外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架(1)、检测控制台(2)、移动检测螺杆(9)和晶片放置架(15)，其特征在于：所述检测装置外架(1)上表面固定连接有检测控制台(2)，所述检测控制台(2)外表面设置有硅片数据显示器(4)，所述检测装置外架(1)外表面一侧固定连接有螺杆控制电机(19)，所述螺杆控制电机(19)内侧传动连接有移动检测螺杆(9)，所述移动检测螺杆(9)另一端转动连接在检测装置外架(1)内壁表面，所述移动检测螺杆(9)外表面一侧螺纹连接有移动检测环一(10)，所述移动检测螺杆(9)外表面另一侧螺纹连接有移动检测环二(11)，所述移动检测环一(10)和移动检测环二(11)分别设置在移动检测滑块(12)两侧位置，所述移动检测滑块(12)中间贯穿设置有移动检测螺杆(9)，所述移动检测滑块(12)下端固定连接有连接固定架(13)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述连接固定架(13)下端设置有外观检测器(14)，所述外观检测器(14)下表面设置有红外扫描机构。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测装置外架(1)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：光善如，程世显，熊文金，
申请(专利权)人：安徽晶瑞新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：