本实用新型专利技术涉及一种冷却装置，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置。本实用新型专利技术的技术问题：提供一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的光刻胶匀胶显影机的冷却装置。一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒、支撑架、放置台和冷却管等；冷液存放盒右上部前后两侧均连接有支撑架，支撑架之间连接有放置台，放置台和冷液存放盒连接，放置台中部连接有冷却管。本实用新型专利技术的水泵可以将冷却液吸入冷却管内，对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管接触，从而能够加快冷却速度。从而能够加快冷却速度。从而能够加快冷却速度。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置
[0001]本技术涉及一种冷却装置，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置。
技术介绍
[0002]硅片是光刻胶匀胶显影机中必不可少的部件，在使用时，需要对曝光后烘干的硅片进行降温，现在一般是通过冷板对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，冷板上有冷却通道，冷却通道连通冷却液供应系统，但是冷板不能和光刻胶匀胶显影机的硅片接触，导致冷却效率低下。
[0003]针对目前存在的问题，设计一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的冷却装置。
技术实现思路
[0004]为了克服冷板不能和光刻胶匀胶显影机的硅片接触，导致冷却效率低下的缺点，本技术的技术问题：提供一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的光刻胶匀胶显影机的冷却装置。
[0005]本技术的技术实施方案是：一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒、支撑架、放置台、进液管、冷却管、出液管和水泵，冷液存放盒右上部前后两侧均连接有支撑架，支撑架之间连接有放置台，放置台和冷液存放盒连接，放置台中部连接有冷却管，冷液存放盒左部连接有出液管，出液管和冷却管连接且连通，冷液存放盒内底部连接有水泵，水泵上连接有进液管，进液管和冷却管连接且连通。
[0006]可选地，还包括有放置环和弹片，放置台顶部左侧转动式连接有放置环，放置台顶部前后两侧均连接有弹片，弹片和放置环接触。
[0007]可选地，还包括有斜块和弹簧，放置台顶部右侧滑动式设有能够将放置环卡住的斜块，斜块和放置台之间连接有至少三根弹簧。
[0008]可选地，还包括有冷风机，冷液存放盒后侧安装有冷风机。
[0009]可选地，还包括有支撑杆，放置台底部前侧连接有支撑杆。
[0010]本技术的有益效果：1、本技术的水泵可以将冷却液吸入冷却管内，对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管接触，从而能够加快冷却速度。
[0011]2、可以将光刻胶匀胶显影机的硅片放在放置环上，使光刻胶匀胶显影机的硅片慢慢的和冷却管接触，避免光刻胶匀胶显影机的硅片受损。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体示意图。
[0013]图2为本技术的放置台、进液管等部分立体结构示意图。
[0014]图3为本技术的冷液存放盒、冷却管等部分立体结构示意图。
[0015]图4为本技术的进液管、冷却管等部分立体结构示意图。
[0016]图5为本技术的斜块、弹簧等部分立体结构示意图。
[0017]图6为本技术A部分的放大示意图。
[0018]附图标号：1_支撑杆，2_冷液存放盒，202_支撑架，3_放置台，301_进液管，302_冷却管，303_出液管，304_水泵，305_冷风机，401_斜块，402_弹簧，5_放置环，501_弹片。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例对本技术进一步地进行说明。
[0020]实施例1
[0021]一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，如图1
‑
4所示，包括有冷液存放盒2、支撑架202、放置台3、进液管301、冷却管302、出液管303和水泵304，冷液存放盒2右上部前后两侧均通过螺钉连接有支撑架202，支撑架202之间通过螺钉连接有放置台3，放置台3和冷液存放盒2通过螺钉连接，放置台3中部连接有冷却管302，冷液存放盒2左部连接有出液管303，出液管303和冷却管302连接且连通，冷液存放盒2内底部通过螺栓连接有水泵304，水泵304上通过螺纹连接有进液管301，进液管301和冷却管302连接且连通。
[0022]如图4所示，还包括有冷风机305，冷液存放盒2后侧通过螺栓安装有冷风机305。
[0023]如图1所示，还包括有支撑杆1，放置台3底部前侧通过螺栓连接有支撑杆1。
[0024]本装置放置在地面上，支撑杆1可以对放置台3进行支撑，使得放置台3更加的稳定，人们将冷却液倒入冷液存放盒2内，然后将光刻胶匀胶显影机的硅片放到放置台3上，光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管302接触，再启动水泵304，水泵304将冷却液吸入进液管301内，冷却液流入冷却管302内，最后通过出液管303流回冷液存放盒2内，流入冷却管302内的冷却液对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管302接触，从而能够加快冷却速度，冷却的温度升高之后，人们可以启动冷风机305，冷风机305对冷却液进行吹冷风，降低冷却液的温度，保证冷却液的冷却效果，光刻胶匀胶显影机的硅片冷却完成之后，关闭水泵304。
[0025]实施例2
[0026]在实施例1的基础之上，如图5所示，还包括有放置环5和弹片501，放置台3顶部左侧通过销轴连接有放置环5，放置台3顶部前后两侧均连接有弹片501，弹片501和放置环5接触。
[0027]如图5
‑
6所示，还包括有斜块401和弹簧402，放置台3顶部右侧滑动式设有斜块401，斜块401能够将放置环5卡住，斜块401和放置台3之间连接有三根弹簧402。
[0028]人们将光刻胶匀胶显影机的硅片放到放置环5，弹片501对放置环5进行支撑，然后向下按压放置环5，弹片501被按压，当放置环5向下转动触碰到斜块401时，放置环5推动斜块401向右移动，弹簧402被压缩，当放置环5向下转动越过斜块401时，斜块401在弹簧402的作用下向左移动，斜块401将放置环5挡住，此时，光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管302接触，如此能够使光刻胶匀胶显影机的硅片慢慢的和冷却管302接触，避免光刻胶匀胶显影机的硅片受损，光刻胶匀胶显影机的硅片冷却完成之后，人们向右移动斜块401，弹簧402被压缩，斜块401和放置环5不接触时，放置环5在弹片501的作用下向上转动复位，然后松开斜块401，斜块401在弹簧402的作用下向左移动复位。
[0029]上面结合附图对本技术的实施方式作了详细说明，但是本技术并不限于上述实施方式，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本技术宗旨的前提下做出各种变化。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒(2)，其特征是，还包括有支撑架(202)、放置台(3)、进液管(301)、冷却管(302)、出液管(303)和水泵(304)，冷液存放盒(2)右上部前后两侧均连接有支撑架(202)，支撑架(202)之间连接有放置台(3)，放置台(3)和冷液存放盒(2)连接，放置台(3)中部连接有冷却管(302)，冷液存放盒(2)左部连接有出液管(303)，出液管(303)和冷却管(302)连接且连通，冷液存放盒(2)内底部连接有水泵(304)，水泵(304)上连接有进液管(301)，进液管(301)和冷却管(302)连接且连通。2.按照权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征是，还包括有放置环(5)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘雍文，贺武峰，
申请(专利权)人：江西维易科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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