激光扫描溅射部件制造技术

本申请公开了激光扫描溅射部件，包括：底座；调节装置，位于底座上；多个第二支架，位于调节装置上，沿第三方向延伸；第一支架，位于多个第二支架上；其中，调节装置调节第二支架和第一支架沿第一方向和/或第二方向运动，第一方向、第二方向和第三方向两两互相垂直。本申请的激光扫描溅射部件，采用角度与位置可调节的支架固定激光器，可以改变激光器的入射方向(包括入射角度以及入射位置)从而将激光束直接入射到反应腔的靶材上进行薄膜沉积，极简的直线光路大幅度地降低了激光能量的损耗，激光光路部件的“整体移动扫描”工作模式为激光扫描溅射提供了极高的稳定性以及一致性。描溅射提供了极高的稳定性以及一致性。描溅射提供了极高的稳定性以及一致性。

【技术实现步骤摘要】
激光扫描溅射部件


[0001]本专利技术涉及薄膜沉积
，特别涉及一种激光扫描溅射部件。

技术介绍

[0002]超导薄膜制成的天线、谐振器、滤波器、延迟线等微波通讯器件具有常规材料(如金、银等)无法比拟的高灵敏度，从而受到各国军方的重视，成为未来电子对抗战中的关键技术，也是新一代通信技术的“未来”。在大型粒子加速器中，超导薄膜也表现出了巨大的市场前景。
[0003]脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition，PLD)技术作为制备超导薄膜的重要技术，通过激光与靶材料的相互作用，在靶材料的法线方向产生等离子体，等离子体在基片的表面成核，长大形成薄膜。
[0004]现有技术中的脉冲激光沉积中，一般采用的激光扫描溅射部件为高性能的工业级别准分子激光器，通过反射镜调节入射到反应腔靶材表面的激光束路径。这种激光器不仅存在售价高、重量大、不易移动等问题，同时也存在激光束因反射镜的反射而导致的能量损耗问题。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种激光扫描溅射部件，采用小型的激光器搭配相应的支架，不仅降低了成本，易于移动，而且实现了激光束直接入射反应腔靶材表面，降低了激光束的能量损耗。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供一种激光扫描溅射部件，包括：底座；调节装置，位于所述底座上；多个第二支架，位于所述调节装置上，沿第三方向延伸；第一支架，位于多个所述第二支架上；其中，所述调节装置调节所述第二支架和所述第一支架沿第一方向和/或第二方向运动，所述第一方向、第二方向和第三方向两两互相垂直。
[0007]可选地，还包括：激光器，位于所述第一支架上，用于产生激光束。
[0008]可选地，所述调节装置包括：第一面板和第二面板；紧固件，固定于所述第一面板上，用于固定所述第二支架和所述调节装置；第一滑动件，用于可滑动的固定所述第一面板和所述第二面板，位于所述第一面板和所述第二面板之间，以使所述第一面板和第二面板沿第一方向相对运动；第二滑动件，用于可滑动的固定所述第二面板和所述底座，位于所述第二面板和所述底座之间，以使所述第二面板和底座沿第二方向相对运动。
[0009]可选地，所述调节装置还包括：第一调节件，与所述第一滑动件连接，用于控制所述第一面板和第二面板沿第一方向的自动化高精度位移扫描控制；第二调节件，与所述第二滑动件连接，用于控制所述第二面板和底座沿第二方向的自动化高精度位移扫描控制。
[0010]可选地，所述多个第二支架为可调节支架。
[0011]可选地，所述调节装置还包括：第三调节件，与所述第二支架连接，用于调节所述第二支架在第三方向上的长度以调节所述第一支架的倾斜角度。
[0012]可选地，所述多个第二支架上设置有第四调节件，用于调节所述第二支架在第三方向上的长度以调节所述第一支架的倾斜角度。
[0013]可选地，所述第一调节件、第二调节件和/或第三调节件包括高精度精密电机。
[0014]可选地，所述激光器具有指示灯，所述指示灯产生的指示光束与激光束平行，用于所述激光器的调节瞄准。
[0015]可选地，所述激光器产生的激光束的波长包括1064nm，532nm，355nm，266nm，不同波长可以自动选择切换。
[0016]可选地，所述底座包括：支撑架，与所述调节装置连接；滑轮，位于所述支撑架底部，用于移动所述激光扫描溅射部件。
[0017]可选地，所述滑轮包括打开状态和锁紧状态，在所述打开状态下，所述激光扫描溅射部件可以移动；在所述锁紧状态下，所述激光扫描溅射部件不能移动。
[0018]可选地，还包括：激光电源，固定于所述支撑架中，用于给所述激光器提供电源。
[0019]本申请提供的激光扫描溅射部件，采用可调节的支架固定激光器，可以改变激光器的入射方向(包括入射角度以及入射位置)，从而将激光束直接入射到反应腔的靶材上进行薄膜沉积，极简的直线光路大幅度地降低了激光能量的损耗，激光光路部件的“整体移动扫描”工作模式为激光扫描溅射提供了极高的稳定性以及一致性。
[0020]进一步地，所述激光器为小型固态激光器，体积小，重量轻。其中，本申请采用的功率较低的激光器，可以降低设备的成本，而且降低了设备的体积。
[0021]进一步地，本申请的激光扫描溅射部件，由于采用小型的激光器，使得整个激光扫描溅射部件的重量都很小，从而可以通过装配高精度精密电机很方便的对整个激光扫描溅射部件进行预定方向的自动化高精度位移扫描控制。此外，由于激光器可以采用重约25公斤的小型固态激光器，从而通过调节装置控制激光器进行第一方向和第二方向的运动的过程也较为方便，进而也可以提高在靶材的扫描过程中靶材表面不同位置扫描点的激光能量的一致性。
[0022]进一步地，本申请的激光扫描溅射部件中，激光器上设置有指示灯，可以产生指示光束，方便调节激光器的倾斜角度、移动方向等。
[0023]进一步地，本申请的激光扫描溅射部件模块化的设计方案不但具有更高的技术兼容性和灵活性，还可达到整体系统快速装卸的目的。
附图说明
[0024]通过以下参照附图对本专利技术实施例的描述，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：
[0025]图1示出了根据本专利技术实施例的脉冲激光沉积装置的立体图；
[0026]图2示出了根据本专利技术实施例的激光扫描溅射部件的侧视图；
[0027]图3示出了根据本专利技术实施例的激光扫描溅射部件的调节装置。
具体实施方式
[0028]以下将参照附图更详细地描述本专利技术。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些
公知的部分。为了简明起见，可以在一幅图中描述经过数个步骤后获得的半导体结构。
[0029]应当理解，在描述器件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将器件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一区域“下面”或“下方”。
[0030]如果为了描述直接位于另一层、另一区域上面的情形，本文将采用“直接在
……
上面”或“在
……
上面并与之邻接”的表述方式。
[0031]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。
[0032]图1示出了根据本专利技术实施例的脉冲激光沉积装置的立体图；图2示出了根据本专利技术实施例的激光扫描溅射部件的侧视图；图3示出了根据本专利技术实施例的激光扫描溅射部件的调节装置。
[0033]参考图1，本专利技术实施例的脉冲激光沉积装置100包括：沉积装置110和多个激光扫描溅射部件120，图1示出了具有三个激光扫描溅射部件120的实施例。
[0034]在该实施例中，沉积装置110包括：反应腔，位于反应腔侧壁上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光扫描溅射部件，包括：底座；调节装置，位于所述底座上；多个第二支架，位于所述调节装置上，沿第三方向延伸；第一支架，位于多个所述第二支架上；其中，所述调节装置调节所述第二支架和所述第一支架沿第一方向和/或第二方向运动，所述第一方向、第二方向和第三方向两两互相垂直。2.根据权利要求1所述的激光扫描溅射部件，其特征在于，还包括：激光器，位于所述第一支架上，用于产生激光束。3.根据权利要求1所述的激光扫描溅射部件，其特征在于，所述调节装置包括：第一面板和第二面板；紧固件，固定于所述第一面板上，用于固定所述第二支架和所述调节装置；第一滑动件，用于可滑动的固定所述第一面板和所述第二面板，位于所述第一面板和所述第二面板之间，以使所述第一面板和第二面板沿第一方向相对运动；第二滑动件，用于可滑动的固定所述第二面板和所述底座，位于所述第二面板和所述底座之间，以使所述第二面板和底座沿第二方向相对运动。4.根据权利要求3所述的激光扫描溅射部件，其特征在于，所述调节装置还包括：第一调节件，与所述第一滑动件连接，用于控制所述第一面板和第二面板沿第一方向的自动化高精度位移扫描控制；第二调节件，与所述第二滑动件连接，用于控制所述第二面板和底座沿第二方向的自动化高精度位移扫描控制。5.根据权利要求1或4所述的激光扫描溅射部件，其特征在于，所述多个第二支架为可调节支架。6.根据权利要求5所述的激光扫描溅射部件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯中沛，杨景婷，金魁，袁洁，许波，赵忠贤，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：发明
国别省市：