用于微元件非接触式转移的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于微元件非接触式转移的装置，装置包括：承载座，包括水平承载件和龙门架，龙门架垂直于水平承载件设置；竖直调节机构，包括龙门架、调节件和支撑件，支撑件设于龙门架上，支撑件朝向水平承载件的一侧通过旋转调节机构与调节件相连接，所述调节件用于安装光机系统，所述光机系统用于发射光束，所述光机系统下方设有的待转移基板与所述调节件相连接，所述待转移基板上附着有微元件，所述待转移基板用于接收所述光束，所述微元件在所述光束的作用下掉落；水平调节机构，固定安装于水平承载件上，水平调节机构朝向待转移基板的一侧设有接收基板以用于接收微元件。这样的设计能够对微元件的掉落角度进行调节。样的设计能够对微元件的掉落角度进行调节。样的设计能够对微元件的掉落角度进行调节。

【技术实现步骤摘要】
用于微元件非接触式转移的装置


[0001]本技术涉及微元件转移，特别涉及一种用于微元件非接触式转移的装置。

技术介绍

[0002]微元件转移是通过光机系统操控光束透过来源基板照射在待被转移的微元件上，致使微元件与来源基板间的感光性胶材气化消失或感光失去黏著力而使得微元件由来源基板下落到接收基板上的预定位置。
[0003]其中光束可以由光学镜组收束为小径光束，再以双轴或三轴反射振镜进行选择性扫描，或是由光学镜组扩束为大径光束，再由光罩、DMD(DigitalMicromirror Device)/DLP(Digital Light Processing)或LCOS(Liquid Crystal onSilicon)等数位光学元件进行选择性同步扫描。
[0004]虽然光机系统可以高速扫描来源基板上的微元件阵列达到高速、大量的转移，但是由于受到光学元件及镜组口径的限制，可扫描的范围相当有限，通常小于直径100mm，为能兼顾其高速、大量的转移特性并扩展可转移范围，故需设计一种用于微元件非接触式转移的装置。
技术内容
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述装置包括：承载座，所述承载座包括水平承载件和龙门架，所述龙门架垂直于所述水平承载件设置；竖直调节机构，所述竖直调节机构包括调节件和支撑件，所述支撑件设于所述龙门架上，所述支撑件朝向所述水平承载件的一侧通过旋转调节机构与所述调节件相连接，所述调节件用于安装光机系统，所述光机系统用于发射光束，所述光机系统下方设有的待转移基板与所述调节件相连接，所述待转移基板上附着有微元件，所述待转移基板用于接收所述光束，所述微元件在所述光束的作用下掉落；水平调节机构，固定安装于所述水平承载件上，所述水平调节机构朝向所述待转移基板的一侧设有接收基板以用于接收所述微元件。2.如权利要求1所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述龙门架包括侧边梁，所述侧边梁分别设于所述竖直调节机构的两侧，所述侧边梁的一端与所述水平承载件固定连接，所述侧边梁的另一端与所述支撑件固定连接。3.如权利要求2所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述支撑件的两端分别与所述侧边梁的顶端固定连接，所述支撑件的中间位置朝向所述水平调节机构的一侧安装有所述旋转调节机构。4.如权利要求1所述的用于微元件非接触式转移的装置，其特征在于，所述旋转调节机构背离所述支撑件的一侧设有第一竖直导向部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈弥彰，
申请(专利权)人：上海华方巨量半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：