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本实用新型提供一种用于微元件非接触式转移的装置,装置包括:承载座,包括水平承载件和龙门架,龙门架垂直于水平承载件设置;竖直调节机构,包括龙门架、调节件和支撑件,支撑件设于龙门架上,支撑件朝向水平承载件的一侧通过旋转调节机构与调节件相连接,所...该专利属于上海华方巨量半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华方巨量半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种用于微元件非接触式转移的装置,装置包括:承载座,包括水平承载件和龙门架,龙门架垂直于水平承载件设置;竖直调节机构,包括龙门架、调节件和支撑件,支撑件设于龙门架上,支撑件朝向水平承载件的一侧通过旋转调节机构与调节件相连接,所...