本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种抓取装置及搬运设备。该抓取装置包括压平机构以及抓取机构，压平机构用于压平待抓取件，抓取机构设置在压平机构上，抓取机构包括两组在压平机构两侧相对设置的抓取组件，两组抓取组件能够相对压平机构转动闭合，以抓取被压平机构压平后的待抓取件。通过设置压平机构，保证了待抓取件的平整度，从而提高了抓取机构抓取待抓取件的稳定性和可靠性。抓取机构的设计使得两组抓取组件相对压平机构进行微小的转动闭合即可实现对待抓取件的抓取，提高了对待抓取件抓取分离的可靠性和准确度。搬运设备通过应用上述抓取装置，保证了待抓取件的平整度，提高了对待抓取件抓取分离的稳定性、可靠性和准确度。可靠性和准确度。可靠性和准确度。
【技术实现步骤摘要】
一种抓取装置及搬运设备
[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种抓取装置及搬运设备。
技术介绍
[0002]随着我国半导体集成电路产业的发展，集成电路各制程工序都已实现全自动生产，芯片在各工序之间传递采用料盒装载传送，大多数芯片封装后层叠堆放在料盒中，流转至下一制程工序，再采用搬运设备把堆放的单个芯片从料盒中取出，放入相应的传送机构。由于层叠堆放的两个芯片之间的间隙很小，只有0.85mm左右，传统的平行开闭式的机械夹爪在进行抓取工作时，相互靠近抓取的距离较远，并且夹爪本身的厚度最少有0.5mm，大大降低了对芯片抓取分离的可靠性和准确度。此外，芯片在堆叠放置的过程中可能会存在不平翘起的问题，也大大降低了对芯片抓取的稳定性和可靠性，容易导致芯片从夹爪上掉落，从而导致芯片损坏。
[0003]因此，亟需专利技术一种抓取装置及搬运设备，以解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种抓取装置及搬运设备，以保证待抓取件的平整度，提高对待抓取件抓取分离的稳定性、可靠性和准确度。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种抓取装置，包括：
[0007]压平机构，被配置为压平待抓取件；以及
[0008]抓取机构，设置在所述压平机构上，所述抓取机构包括两组在所述压平机构两侧相对设置的抓取组件，两组所述抓取组件能够相对所述压平机构转动闭合，以抓取被所述压平机构压平后的所述待抓取件。
[0009]作为优选方案，所述抓取组件包括：
[0010]安装架，固定在所述压平机构上；
[0011]抓取臂，转动设置在所述安装架上；以及
[0012]复位件，所述抓取臂在所述复位件的作用下相对所述安装架朝靠近所述压平机构的方向转动以抓取所述待抓取件。
[0013]作为优选方案，所述抓取组件还包括：
[0014]驱动件，被配置为驱动所述抓取臂相对所述安装架朝远离所述压平机构的方向转动以释放所述待抓取件。
[0015]作为优选方案，所述驱动件包括：
[0016]吹气发生器；
[0017]进气管，设置在所述安装架上，并且与所述吹气发生器相连通；以及
[0018]活塞杆，所述安装架的内部开设有与所述进气管相连通的容纳腔，所述活塞杆活动设置在所述容纳腔中；
[0019]所述吹气发生器通过所述进气管向所述容纳腔中吹气时，所述活塞杆能相对所述容纳腔滑动并推动所述抓取臂相对所述安装架朝远离所述压平机构的方向转动。
[0020]作为优选方案，所述抓取组件还包括：
[0021]调节件，所述调节件的一端能旋拧穿过所述抓取臂与所述安装架相抵接；
[0022]通过调节所述调节件旋入所述抓取臂的深度，以调节所述复位件推动所述抓取臂相对所述安装架朝靠近所述压平机构方向转动的角度。
[0023]作为优选方案，所述抓取臂的抓取端开设有抓取所述待抓取件的螺纹沟槽。
[0024]作为优选方案，所述抓取臂在所述复位件的作用下抓取所述待抓取件时，所述抓取臂相对两组所述抓取组件的对称轴朝远离所述压平机构方向倾斜的角度大于15
°
且小于25
°
。
[0025]作为优选方案，所述压平机构包括：
[0026]压平组件，被配置为压平所述待抓取件；
[0027]安装组件，设置在所述压平组件的上方；以及
[0028]弹性件，所述弹性件的两端分别与所述安装组件和所述压平组件相连接。
[0029]作为优选方案，所述压平机构还包括：
[0030]导向组件，设置在所述安装组件和所述压平组件之间，被配置为引导所述压平组件朝靠近或远离所述安装组件的方向移动。
[0031]作为优选方案，所述导向组件包括：
[0032]导向轴承，贯穿固定在所述安装组件中；以及
[0033]导向柱，在所述安装组件和所述压平组件之间延伸，所述弹性件套设在所述导向柱上，所述导向柱的一端固定在所述压平组件上，所述导向柱的另一端能滑动穿设在所述导向轴承中。
[0034]作为优选方案，所述导向柱穿出所述导向轴承的一端套设固定有限位板，所述限位板能与所述导向轴承相抵接以限制所述压平组件远离所述安装组件的极限位置。
[0035]作为优选方案，所述抓取装置还包括：
[0036]检测机构，固定在所述压平机构上，被配置为检测所述压平机构的下方是否存在有所述待抓取件。
[0037]一种搬运设备，包括移送装置以及如上所述的抓取装置，所述抓取装置设置在所述移送装置上，所述移送装置被配置为带动所述抓取装置运动。
[0038]本技术的有益效果：
[0039]本技术提供的抓取装置，通过设置压平机构压平待抓取件，保证了待抓取件的平整度，从而提高了抓取机构抓取待抓取件的稳定性和可靠性，避免了待抓取件从抓取机构上掉落出现损伤。此外，通过将抓取机构设计成两组在压平机构两侧相对设置的抓取组件，并且两组抓取组件能够相对压平机构转动闭合，以抓取被压平机构压平后的待抓取件，使得两组抓取组件相对压平机构进行微小的转动闭合就可以实现对待抓取件的抓取分离，大大提高了抓取机构对待抓取件抓取分离的可靠性和准确度。
[0040]本技术提供的搬运设备，通过应用上述抓取装置，保证了待抓取件的平整度，提高了搬运设备对待抓取件抓取分离的稳定性、可靠性和准确度。
附图说明
[0041]图1是本技术实施例提供的抓取装置的轴侧图；
[0042]图2是本技术实施例提供的抓取装置的侧视图；
[0043]图3是本技术实施例提供的抓取组件的结构示意图；
[0044]图4是本技术实施例提供的抓取装置的主视图。
[0045]图中：
[0046]100、抓取装置；200、待抓取件；
[0047]1、压平机构；11、压平组件；12、安装组件；121、基板；122、连接板；13、弹性件；14、导向组件；141、导向轴承；142、导向柱；1421、限位板；
[0048]2、抓取机构；21、抓取组件；211、安装架；2111、连接座；2112、安装板；21121、容纳腔；2113、盖板；2114、密封圈；212、抓取臂；2121、转轴；213、复位件；214、驱动件；2141、进气管；2142、活塞杆；215、调节件；
[0049]3、检测机构；31、固定架；32、检测组件。
具体实施方式
[0050]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0051]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抓取装置，其特征在于，包括：压平机构(1)，被配置为压平待抓取件(200)；以及抓取机构(2)，设置在所述压平机构(1)上，所述抓取机构(2)包括两组在所述压平机构(1)两侧相对设置的抓取组件(21)，两组所述抓取组件(21)能够相对所述压平机构(1)转动闭合，以抓取被所述压平机构(1)压平后的所述待抓取件(200)。2.根据权利要求1所述的抓取装置，其特征在于，所述抓取组件(21)包括：安装架(211)，固定在所述压平机构(1)上；抓取臂(212)，转动设置在所述安装架(211)上；以及复位件(213)，所述抓取臂(212)在所述复位件(213)的作用下相对所述安装架(211)朝靠近所述压平机构(1)的方向转动以抓取所述待抓取件(200)。3.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于，所述抓取组件(21)还包括：驱动件(214)，被配置为驱动所述抓取臂(212)相对所述安装架(211)朝远离所述压平机构(1)的方向转动以释放所述待抓取件(200)。4.根据权利要求3所述的抓取装置，其特征在于，所述驱动件(214)包括：吹气发生器；进气管(2141)，设置在所述安装架(211)上，并且与所述吹气发生器相连通；以及活塞杆(2142)，所述安装架(211)的内部开设有与所述进气管(2141)相连通的容纳腔(21121)，所述活塞杆(2142)活动设置在所述容纳腔(21121)中；所述吹气发生器通过所述进气管(2141)向所述容纳腔(21121)中吹气时，所述活塞杆(2142)能相对所述容纳腔(21121)滑动并推动所述抓取臂(212)相对所述安装架(211)朝远离所述压平机构(1)的方向转动。5.根据权利要求2所述的抓取装置，其特征在于，所述抓取组件(21)还包括：调节件(215)，所述调节件(215)的一端能旋拧穿过所述抓取臂(212)与所述安装架(211)相抵接；通过调节所述调节件(215)旋入所述抓取臂(212)的深度，以调节所述复位件(213)推动所述抓取臂(212)相对所述安装架(211)朝靠近所述压平机构(1)方向转动的角度。6.根据权利要求2～5任一项所述的抓取装置，其特征在于，所述抓取臂(212)的抓取端开设...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙征，
申请(专利权)人：无锡祺芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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