一种涂布控制装置及涂布机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种涂布控制装置及涂布机，应用于涂布机技术领域，用以解决现有技术中吐胶控制泵内部压力骤降为零造成涂布机损坏的问题，具体包括：至少一个吐胶单元、阀门控制单元、通断控制阀和控制器；该至少一个吐胶单元的真空支路汇聚成真空管路，真空管路上设置有通断控制阀，通断控制阀与阀门控制单元连接，阀门控制单元与控制器连接；每个吐胶单元包括通过真空入口连接到真空支路的吐胶控制泵、设置在真空支路并与阀门控制单元连的接真空保持阀、位于真空入口和真空保持阀之间的第一压力传感器、分别与出料口和阀门控制单元连接的出料控制阀。这样，通过在真空支路上设置真空保持阀，实现吐胶控制泵中的真空保持，延长设备使用时间。延长设备使用时间。延长设备使用时间。

【技术实现步骤摘要】
一种涂布控制装置及涂布机


[0001]本技术涉及涂布机
，尤其涉及一种涂布控制装置及涂布机。

技术介绍

[0002]涂布机的吐胶控制泵主要用于光刻制程，吐胶控制泵内部为真空状态并设置有树脂杯，用于排除吐胶控制泵内部光刻胶中的气泡，使喷涂出的光刻胶用量更为精准。
[0003]然而，目前的吐胶控制泵当出现内部压力骤降为零的情况时，其内部的树脂杯会产生褶皱，长此以往，会造成吐胶控制泵内部的树脂杯破裂，进而影响涂布机的正常生产。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供了一种涂布控制装置及涂布机，用以解决现有技术中的吐胶控制泵内部压力骤降为零造成涂布机损坏的问题。
[0005]本技术实施例提供的技术方案如下：
[0006]一方面，本技术实施例提供了一种涂布控制装置，包括：至少一个吐胶单元、阀门控制单元、通断控制阀和控制器；每个吐胶单元的真空支路连接到真空管路，真空管路上设置有通断控制阀，通断控制阀与阀门控制单元连接，阀门控制单元与控制器连接；每个吐胶单元包括吐胶控制泵、真空保持阀、第一压力传感器和出料控制阀，吐胶控制泵的真空入口连接到真空支路，真空保持阀设置在真空支路上且与阀门控制单元连接，第一压力传感器设置在真空支路上且位于吐胶控制泵的真空入口和真空保持阀之间，出料控制阀分别与吐胶控制泵的出料口和阀门控制单元连接。
[0007]在一种可能的实施方式中，每个吐胶单元还包括与阀门控制单元连接的检修阀，检修阀设置在真空支路上且位于吐胶控制泵的真空入口和真空保持阀之间。
[0008]在一种可能的实施方式中，通断控制阀、各真空保持阀和各出料控制阀为气动阀，各检修阀为手动阀。
[0009]在一种可能的实施方式中，阀门控制单元包括与通断控制阀、各真空保持阀和各出料控制阀一一对应连接的电动阀，每个电动阀与控制器连接。
[0010]在一种可能的实施方式中，每个吐胶单元还包括液位传感器，液位传感器设置在真空支路上且位于吐胶控制泵的真空入口和压力传感器之间。
[0011]在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括真空存液槽，真空存液槽设置在真空管路上且位于通断控制阀后面。
[0012]在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括管路转换接口，管路转换接口设置在真空管路的末端。
[0013]在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括第二压力传感器，第二压力传感器设置在真空管路上且位于真空存液槽和管路转换接口之间。
[0014]在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括触摸屏，触摸屏与控制器电连接。
[0015]另一方面，本技术实施例还提供了一种涂布机，包括本技术实施例提供
的上述涂布控制装置，搬送装置，以及干燥装置。
[0016]本技术实施例的有益效果如下：
[0017]本技术实施例中，通过在真空支路上设置真空保持阀，可以在吐胶控制泵出现内部压力骤降的情况下，保持吐胶控制泵内的真空状态，避免树脂杯因压力骤降产生褶皱而破裂，延长设备的使用时间。并且，每个吐胶控制泵对应设置真空保持阀，可以有效的减少出现故障的吐胶控制泵对其他吐胶控制泵的不良影响，提高设备可靠性。同时，在真空支路上设置的检修阀可以方便操作人员对吐胶控制泵的拆解与维修。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例中包含一个吐胶单元的涂布控制装置的一种结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例中包含两个吐胶单元的涂布控制装置的一种结构示意图；
[0020]图3为本技术实施例中包含一个吐胶单元的涂布控制装置的另一种结构示意图；
[0021]图4为本技术实施例中包含两个吐胶单元的涂布控制装置的另一种结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]本技术实施例提供了一种涂布控制装置，该涂布控制装置至少包括：至少一个吐胶单元100、阀门控制单元110、通断控制阀120和控制器130，为了能够清楚的描述该涂布控制装置中各单元以及各组件之间的结构关系，下面仅以包含一个吐胶单元100的涂布控制装置和包含两个吐胶单元100的涂布控制装置为例，对涂布控制装置的内部结构进行详细说明。
[0024]参阅图1和图2所示，分别为包含一个吐胶单元的涂布控制装置和包含两个吐胶单元的涂布控制装置的主要结构示意图，本技术实施例提供的涂布控制装置中，每个吐胶单元100的真空支路连接到真空管路，真空管路上设置有通断控制阀120，通断控制阀120与阀门控制单元110连接，阀门控制单元110与控制器130连接；每个吐胶单元100包括吐胶控制泵101、真空保持阀102、第一压力传感器103和出料控制阀104，吐胶控制泵101的真空入口105连接到真空支路，真空保持阀102设置在真空支路上且与阀门控制单元110连接，第一压力传感器103设置在真空支路上且位于吐胶控制泵101的真空入口105和真空保持阀102之间，出料控制阀104分别与吐胶控制泵101的出料口106和阀门控制单元110连接。
[0025]实际应用中，在如图1所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置正常运转时，通断控制阀120、真空保持阀102和出料控制阀104在控制器130和阀门控制单元110的作用下处于开通状态，真空经过真空管路和真空支路，从真空入口105进入到吐胶控制泵101中，
吐胶控制泵101控制出胶进行涂布。第一压力传感器103实时检测吐胶控制泵101的压力，并将检测的数据上传到控制器130进行数据处理。当第一压力传感器103检测值低于预警值或者第一压力传感器103检测值低于警报值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，从而起到保持吐胶控制泵101内部真空压力的作用。
[0026]在具体实施时，当第一压力传感器103检测值低于预警值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，涂布设备停止工作，操作人员判断是否存在真空压力不稳或者管路漏气等情况，并选择是否需要打开真空保持阀102。当第一压力传感器103检测值低于警报值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，涂布设备关机，操作人员介入处理。通过及时关闭真空保持阀102有效的避免因真空压力不稳、管路漏气、人员误触等情况造成吐胶控制泵101内部断真空的情况，减少树脂杯产生褶皱的可能性。并且，当涂布设备控制柜断电时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，这可以使吐胶控制泵101保持一定负压，减少对树脂杯的损伤。
[0027]实际应用中，在如图2所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置正常运转时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂布控制装置，其特征在于，包括：至少一个吐胶单元、阀门控制单元、通断控制阀和控制器；每个吐胶单元的真空支路连接到真空管路，所述真空管路上设置有所述通断控制阀，所述通断控制阀与所述阀门控制单元连接，所述阀门控制单元与所述控制器连接；每个吐胶单元包括吐胶控制泵、真空保持阀、第一压力传感器和出料控制阀，所述吐胶控制泵的真空入口连接到真空支路，所述真空保持阀设置在所述真空支路上且与所述阀门控制单元连接，所述第一压力传感器设置在所述真空支路上且位于所述吐胶控制泵的真空入口和所述真空保持阀之间，所述出料控制阀分别与所述吐胶控制泵的出料口和所述阀门控制单元连接。2.根据权利要求1所述的涂布控制装置，其特征在于，每个吐胶单元还包括与所述阀门控制单元连接的检修阀，所述检修阀设置在所述真空支路上且位于所述吐胶控制泵的真空入口和所述真空保持阀之间。3.根据权利要求2所述的涂布控制装置，其特征在于，所述通断控制阀、各真空保持阀和各出料控制阀为气动阀，各检修阀为手动阀。4.根据权利要求2所述的涂布控制装置，其特征在于，所述阀门控制单元包括与所述通断控制阀、各真空保持阀和各出...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈成，刘兆远，叶人豪，黄闽政，杨武，
申请(专利权)人：深圳市尊绅投资有限公司，
类型：新型
国别省市：