一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构制造技术

技术编号:33281367 阅读:15 留言:0更新日期:2022-04-30 23:42
本实用新型专利技术涉及导向结构技术领域,具体为一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,包括用于传送面板的传送平台,以及设置在所述传送平台两侧的导向结构,所述导向结构包括:导向轮、激光发射器和激光接收器;所述导向轮设置有多组,沿所述传送平台的侧边线性排列;所述导向轮的顶面设置有凹槽,所述凹槽的内壁对称设置有两组定位孔;所述激光发射器和激光接收器分别位于所述传送平台的两端,且所述激光发射器的激光发射口、激光接收器的激光接收口和定位孔的圆心位于同一水平线。该新型导向结构,通过激光发射器发射激光对导向轮的位置进行校准,校准精度更高,方便后期的设备维护,节省人力。节省人力。节省人力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构


[0001]本技术涉及导向结构
,具体为一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构。

技术介绍

[0002]面板制造行业在成膜、曝光、蚀刻等清洗及湿制程采用传送平台进行传送,传送过程为保证玻璃基板传送精度及平稳性,需要在传送平台两侧加装导向轮,但现有的导向轮在使用时,若导向轮在线性或水平度不佳,容易导致传送过程中面板发生破片,现有的调节导向轮水平度的方式需要使用人员手拉弹性,目测弹线是否水平,由于人眼视觉误差较大,校准精度低,且对于较长的传送流水线此方法费时费力,维护困难,不便于使用。鉴于此,我们提出一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0005]一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,包括用于传送面板的传送平台,以及设置在所述传送平台两侧的导向结构,所述导向结构包括:导向轮、激光发射器和激光接收器;所述导向轮设置有多组,沿所述传送平台的侧边线性排列;所述导向轮的顶面设置有凹槽,所述凹槽的内壁对称设置有两组定位孔;所述激光发射器和激光接收器分别位于所述传送平台的两端,且所述激光发射器的激光发射口、激光接收器的激光接收口和定位孔的圆心位于同一水平线。
[0006]优选的,所述传送平台的两侧设置有多根立杆,所述导向轮通过轴承安装在所述立杆顶端,且所述轴承使所述导向轮沿所述立杆的轴向转动。
[0007]优选的,所述定位孔圆心所在的平面高于所述立杆顶端所在的平面。
[0008]优选的,所述导向轮外圈的内壁设置有卡槽一,所述导向轮内圈上设置有卡槽二,且所述卡槽一与卡槽二的中心位于同一纵向水平线。
[0009]与现有技术相比,本技术的有益效果是:该用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,在对导向轮校准位置时,通过设置的激光发射器发射激光,调整导向轮使激光能过穿过定位孔射向下一导向轮,以此类推直至所有的导向轮位置摆正好后,激光接收器接收到激光信号,则说明导向轮已校正完毕,调整精度更高,方便后期的设备维护,节省人力。
附图说明
[0010]图1为本技术的整体结构俯视图;
[0011]图2为本技术的整体结构侧视图;
[0012]图3为本技术图2中A处结构放大图;
[0013]图4为本技术中导向轮的结构俯视图。
[0014]图中:1、传送平台;11、立杆;111、轴承;2、导向结构;21、导向轮;211、凹槽;212、定位孔;213、卡槽一;214、卡槽二;22、激光发射器;23、激光接收器。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0016]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0017]在本专利的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定相连、设置,也可以是可拆卸连接、设置,或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。在本技术的描述中,“多”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0018]请参阅图1

图4所示,本技术提供的一种技术方案:
[0019]一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,包括用于传送面板的传送平台1,以及设置在传送平台1两侧的导向结构2,导向结构2包括:导向轮21、激光发射器22和激光接收器23;导向轮21设置有多组,沿传送平台1的侧边线性排列;导向轮21的顶面设置有凹槽211,凹槽211的内壁对称设置有两组定位孔212;激光发射器22和激光接收器23分别位于传送平台1的两端,且激光发射器22的激光发射口、激光接收器23的激光接收口和定位孔212的圆心位于同一水平线。因此,在对导向轮21校准位置时,通过设置的激光发射器22发射激光,调整导向轮21使激光能过穿过定位孔212射向下一导向轮21,以此类推直至所有的导向轮21位置摆正好后,激光接收器23接收到激光信号,则说明导向轮21已校正完毕,调整精度更高,方便后期的设备维护,节省人力。
[0020]值得说明的是,传送平台1的两侧设置有多根立杆11,导向轮21通过轴承111安装在立杆11顶端,且轴承111使导向轮21沿立杆11的轴向转动。并与利用立杆11和轴承111安装导向轮21,使面板在传送平台1上运输的过程中导向轮21能对面板的边部起到限位和导向的作用。
[0021]进一步的,定位孔212圆心所在的平面高于立杆11顶端所在的平面。避免立杆11顶端遮挡用于穿过定位孔212的激光。
[0022]此外,导向轮21外圈的内壁设置有卡槽一213,导向轮21内圈上设置有卡槽二214,且卡槽一213与卡槽二214的中心位于同一纵向水平线,通过卡槽一213和卡槽二214相互配合,可以通过一卡片卡接在卡槽一213与卡槽二214之间,防止在对导向轮21校准时轮体发
生转动,且本实施例中为了避免使用的卡片遮挡激光发射器22发射的激光,卡槽一213与卡槽二214通过卡片卡接的位置低于定位孔212所在的水平面。
[0023]本实施例的用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构在使用时,在对导向轮21校准位置时,可以通过一卡片卡接在卡槽一213与卡槽二214之间,防止在对导向轮21校准时轮体发生转动,通过设置的激光发射器22发射激光,调整导向轮21使激光能过穿过定位孔212射向下一导向轮21,以此类推直至所有的导向轮21位置摆正好后,激光接收器23接收到激光信号,则说明导向轮21已校正完毕,调整精度更高,方便后期的设备维护,节省人力。
[0024]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本技术的优选例,并不用来限制本技术,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,包括用于传送面板的传送平台(1),以及设置在所述传送平台(1)两侧的导向结构(2),其特征在于:所述导向结构(2)包括:导向轮(21)、激光发射器(22)和激光接收器(23);所述导向轮(21)设置有多组,沿所述传送平台(1)的侧边线性排列;所述导向轮(21)的顶面设置有凹槽(211),所述凹槽(211)的内壁对称设置有两组定位孔(212);所述激光发射器(22)和激光接收器(23)分别位于所述传送平台(1)的两端,且所述激光发射器(22)的激光发射口、激光接收器(23)的激光接收口和定位孔(212)的中心位于同一横向水平线。2.根据权利要求1所述的用于面板和半导体行...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈成杨旭可
申请(专利权)人:深圳市尊绅投资有限公司
类型:新型
国别省市:

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