本实用新型专利技术涉及硅管靶材制备技术领域，且公开了一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，包括机体，所述机体的内底壁固定安装有U形板，所述U形板前后两侧的内壁均固定安装有磁场线圈，所述机体右侧的内壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的左端固定连接有环形块，所述环形块的内部活动连接有炉管。该强磁场热压制备硅管靶材的装置，硅管靶材向右套在炉管表面后合上封门，通过L形卡块受复位弹簧弹力而上移并与封门底部插接，使封门合上后固定，通过启动抽真空装置对机体内进行抽真空，使得封门右侧框形密封垫右侧边缘与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，硅管靶材上料后机体内的密封效果较好，从而便于硅管靶材的热压制备。从而便于硅管靶材的热压制备。从而便于硅管靶材的热压制备。
【技术实现步骤摘要】
一种强磁场热压制备硅管靶材的装置
[0001]本技术涉及硅管靶材制备
，具体为一种强磁场热压制备硅管靶材的装置。
技术介绍
[0002]强磁场热压系统是一种用于动力与电气工程领域的工艺试验仪器，最高温度1200℃，最高磁场12T，最大样品直径30mm，对铺装成型后的板坯加热同时加压制成具有一定机械强度和耐水性能的纤维板材。
[0003]目前硅管靶材在热压前的上下料操作不够方便，且上料后的密封效果不佳，导致硅管靶材的热压效果减弱，因此，急需设计一种便于上下料且真空密封的硅管靶材强磁场热压制备装置。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，具备上下料方便和密封效果好等优点，解决了目前硅管靶材在热压前的上下料操作不够方便，且上料后的密封效果不佳，导致硅管靶材热压效果减弱的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，包括机体，所述机体的内底壁固定安装有U形板，所述U形板前后两侧的内壁均固定安装有磁场线圈，所述机体右侧的内壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的左端固定连接有环形块，所述环形块的内部活动连接有炉管，所述炉管的侧表面活动套接有硅管靶材本体，所述硅管靶材本体位于两个磁场线圈相对的一侧，所述机体的左侧铰接有封门，所述封门的右侧固定安装有框形密封垫，所述封门的右侧固定连接有压块，所述压块和环形块相对的一侧分别与硅管靶材本体的左右两端相抵持，所述机体的左侧安装有L形卡块，所述L形卡块的顶部与封门的底部活动插接。
[0008]优选的，所述机体的右侧安装有加热器，所述加热器的输出端与炉管的右端固定连接，启动加热器，使其输出端连接的炉管升温，便于其表面硅管靶材的加热。
[0009]优选的，所述机体的左侧开设有安装槽，所述安装槽与机体的内部连通，所述封门与安装槽的内部相适配，所述框形密封垫的右侧与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，框形密封垫受压变形后可对封门与安装槽内壁之间的空隙进行密封，防止外界空气进入机体内。
[0010]优选的，所述机体的左侧开设有L形槽，所述L形槽与安装槽的内底壁连通，所述L形卡块的底部固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的底端与L形槽的内底壁固定连接，通过复位弹簧的伸缩作用，便于机体左侧封门的打开和合上固定。
[0011]优选的，所述机体左侧的顶部固定安装有抽真空装置，所述抽真空装置的输入端与机体的内部连通，启动抽真空装置对机体内进行抽真空，使得封门右侧框形密封垫右侧
边缘与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，使硅管靶材上料后机体内真空密封。
[0012]优选的，所述抽真空装置的输出端与机体的内部连通，所述抽真空装置的输出端设置有阀门，开启阀门使抽真空装置对机体内注入空气，使机体内外气压平衡，便于后续封门的打开操作，从而便于硅管靶材的下料操作。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，具备以下有益效果：
[0014]1、该强磁场热压制备硅管靶材的装置，通过设置封门、框形密封垫、L形卡块和抽真空装置，硅管靶材向右套在炉管表面后合上封门，通过L形卡块受复位弹簧弹力而上移并与封门底部插接，使封门合上后固定，通过启动抽真空装置对机体内进行抽真空，使得封门右侧框形密封垫右侧边缘与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，硅管靶材上料后机体内的密封效果较好，从而便于硅管靶材的热压制备。
[0015]2、该强磁场热压制备硅管靶材的装置，通过设置压缩弹簧和环形块，开启阀门使抽真空装置对机体内注入空气，使机体内外气压平衡，再向下移动L形卡块，使其顶部从封门底部向下移出，即可对机体左侧封门进行打开，使压块与硅管靶材的左侧分离，通过压缩弹簧的弹力作用，使推动硅管靶材向左移动，从而便于硅管靶材的下料操作。
附图说明
[0016]图1为本技术结构剖视图；
[0017]图2为本技术图1中A处结构放大图；
[0018]图3为本技术硅管靶材结构俯视图。
[0019]其中：1、机体；2、U形板；3、磁场线圈；4、压缩弹簧；5、环形块；6、炉管；7、硅管靶材本体；8、封门；9、框形密封垫；10、压块；11、L形卡块；12、加热器；13、L形槽；14、复位弹簧；15、抽真空装置；16、阀门。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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3，一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，包括机体1，机体1的内底壁固定安装有U形板2，U形板2前后两侧的内壁均固定安装有磁场线圈3，机体1右侧的内壁固定连接有压缩弹簧4，压缩弹簧4的左端固定连接有环形块5，环形块5的内部活动连接有炉管6，机体1的右侧安装有加热器12，加热器12的输出端与炉管6的右端固定连接，炉管6的侧表面活动套接有硅管靶材本体7，硅管靶材本体7位于两个磁场线圈3相对的一侧，机体1的左侧铰接有封门8，封门8的右侧固定安装有框形密封垫9，机体1的左侧开设有安装槽，安装槽与机体1的内部连通，封门8与安装槽的内部相适配，框形密封垫9的右侧与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，封门8的右侧固定连接有压块10，压块10和环形块5相对的一侧分别与硅管靶材本体7的左右两端相抵持，设置压缩弹簧4和环形块5，开启阀门16使抽真空装置15对机体1内注入空气，使机体1内外气压平衡，再向下移动L形卡块11，使其顶部从封门8底部向
下移出，即可对机体1左侧封门8进行打开，使压块10与硅管靶材的左侧分离，通过压缩弹簧4的弹力作用，使推动硅管靶材向左移动，从而便于硅管靶材的下料操作。
[0022]机体1的左侧安装有L形卡块11，机体1的左侧开设有L形槽13，L形槽13与安装槽的内底壁连通，L形卡块11的底部固定连接有复位弹簧14，复位弹簧14的底端与L形槽13的内底壁固定连接，L形卡块11的顶部与封门8的底部活动插接，机体1左侧的顶部固定安装有抽真空装置15，抽真空装置15的输入端与机体1的内部连通，设置封门8、框形密封垫9、L形卡块11和抽真空装置15，硅管靶材向右套在炉管6表面后合上封门8，通过L形卡块11受复位弹簧14弹力而上移并与封门8底部插接，使封门8合上后固定，通过启动抽真空装置15对机体1内进行抽真空，使得封门8右侧框形密封垫9右侧边缘与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，硅管靶材上料后机体1内的密封效果较好，从而便于硅管靶材的热压制备，抽真空装置15的输出端与机体1的内部连通，抽真空装置15的输出端设置有阀门16。
[0023]在使用时，硅管靶材向右套在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内底壁固定安装有U形板(2)，所述U形板(2)前后两侧的内壁均固定安装有磁场线圈(3)，所述机体(1)右侧的内壁固定连接有压缩弹簧(4)，所述压缩弹簧(4)的左端固定连接有环形块(5)，所述环形块(5)的内部活动连接有炉管(6)，所述炉管(6)的侧表面活动套接有硅管靶材本体(7)，所述硅管靶材本体(7)位于两个磁场线圈(3)相对的一侧，所述机体(1)的左侧铰接有封门(8)，所述封门(8)的右侧固定安装有框形密封垫(9)，所述封门(8)的右侧固定连接有压块(10)，所述压块(10)和环形块(5)相对的一侧分别与硅管靶材本体(7)的左右两端相抵持，所述机体(1)的左侧安装有L形卡块(11)，所述L形卡块(11)的顶部与封门(8)的底部活动插接。2.根据权利要求1所述的一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，其特征在于：所述机体(1)的右侧安装有加热器(12)，所述加热器(12)的输出端与炉管(6...
【专利技术属性】
技术研发人员：李启凤，王俊，宋兵，
申请(专利权)人：深圳市灿元金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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