一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，包括钛靶主体和安装管，所述钛靶主体的底部固定设有固定盘，所述固定盘的底部固定设有螺纹管，所述螺纹管与安装管的内部螺纹连接，所述螺纹管的内侧壁活动设有定位销。该真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，通过设置有安装管和螺纹管，使得钛靶主体的底部可以通过螺纹的作用旋紧在螺纹管的内部，旋紧之后螺纹孔的位置与螺纹柱的位置相对应，将定位销穿过安装管并延伸至螺纹孔的内部，接着旋转定位销，使得螺纹柱通过螺纹的作用旋紧在螺纹孔的内部，进而便于对螺纹管的位置进行定位固定，使得螺纹管在使用时不会在安装管的内部发生转动。用时不会在安装管的内部发生转动。用时不会在安装管的内部发生转动。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶。

技术介绍

[0002]钛靶是一种比较典型的金属靶材，钛靶的抗腐蚀性能好，电磁屏蔽性能好，广泛应用在装饰和功能镀膜工业。
[0003]传统的一些钛靶在使用时，主要是通过螺纹的方式旋紧固定，在使用的过程中，其旋紧部位可能会出现一些松动，松动之后容易导致钛靶的位置出现偏移，影响了装置的正常使用，为此我们提出了一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，具备便于在安装后进一步对钛靶的位置进行定位，使其在使用的过程中不会出现偏移的优点，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，包括钛靶主体和安装管，所述钛靶主体的底部固定设有固定盘，所述固定盘的底部固定设有螺纹管，所述螺纹管与安装管的内部螺纹连接，所述螺纹管的内侧壁活动设有定位销，所述定位销的一端设有螺纹柱，所述螺纹管的侧面设有螺纹孔，所述螺纹柱与螺纹孔的内部螺纹连接。
[0008]进一步的，所述螺纹管的侧表面设有外螺纹，所述安装管的内侧壁设有内螺纹，外螺纹与内螺纹相匹配，螺纹管通过螺纹的作用旋紧固定在安装管的内部。
[0009]进一步的，所述螺纹管的侧面设有凹陷部，所述螺纹孔位于凹陷部的内部，当螺纹管旋紧在安装管的内部时，凹陷部位于左右两侧，螺纹孔与螺纹柱的位置相对应。
[0010]进一步的，所述安装管的内侧壁开设有通槽，所述定位销与通槽的内部活动插接，定位销可以在通槽的内内部来回伸缩。
[0011]进一步的，所述定位销远离螺纹柱的一端固定设有旋钮，所述旋钮的内部开设有通孔，将定位销穿过通槽插接到安装管的内部，使得螺纹柱插接到螺纹孔的内部，然后旋转旋钮带动定位销进行转动，使得螺纹柱在螺纹孔的内部转动，在螺纹的作用下，使得螺纹柱锁紧固定在螺纹孔的内部，固定之后，通过定位销的作用来对螺纹管的侧面进行限位固定，使得螺纹管不会在安装管的内部发生转动，从而使得钛靶主体可以固定在安装管的顶部不会发生松动。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，具备以下有益效果：
[0013]该真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，通过设置有安装管和螺纹管，使得钛靶主体的底部可以通过螺纹的作用旋紧在螺纹管的内部，旋紧之后螺纹孔的位置与螺纹柱的位置相对应，将定位销穿过安装管并延伸至螺纹孔的内部，接着旋转定位销，使得螺纹柱通过螺纹的作用旋紧在螺纹孔的内部，进而便于对螺纹管的位置进行定位固定，使得螺纹管在使用时不会在安装管的内部发生转动。
附图说明
[0014]图1为本技术结构剖视图；
[0015]图2为本技术螺纹管结构侧视图；
[0016]图3为本技术图1中A处结构放大图。
[0017]其中：1、钛靶主体；2、固定盘；3、安装管；4、螺纹管；5、定位销；6、螺纹柱；7、凹陷部；8、螺纹孔；9、通槽；10、旋钮。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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3，一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，包括钛靶主体1和安装管3，钛靶主体1的底部固定设有固定盘2，固定盘2的底部固定设有螺纹管4，螺纹管4与安装管3的内部螺纹连接，螺纹管4的侧表面设有外螺纹，安装管3的内侧壁设有内螺纹，外螺纹与内螺纹相匹配，螺纹管4通过螺纹的作用旋紧固定在安装管3的内部，螺纹管4的内侧壁活动设有定位销5，定位销5的一端设有螺纹柱6，螺纹管4的侧面设有凹陷部7，螺纹孔8位于凹陷部7的内部，当螺纹管4旋紧在安装管3的内部时，凹陷部7位于左右两侧，螺纹孔8与螺纹柱6的位置相对应，螺纹管4的侧面设有螺纹孔8，螺纹柱6与螺纹孔8的内部螺纹连接，安装管3的内侧壁开设有通槽9，定位销5与通槽9的内部活动插接，定位销5可以在通槽9的内内部来回伸缩，定位销5远离螺纹柱6的一端固定设有旋钮10，旋钮10的内部开设有通孔，将定位销5穿过通槽9插接到安装管3的内部，使得螺纹柱6插接到螺纹孔8的内部，然后旋转旋钮10带动定位销5进行转动，使得螺纹柱6在螺纹孔8的内部转动，在螺纹的作用下，使得螺纹柱6锁紧固定在螺纹孔8的内部，固定之后，通过定位销5的作用来对螺纹管4的侧面进行限位固定，使得螺纹管4不会在安装管3的内部发生转动，从而使得钛靶主体1可以固定在安装管3的顶部不会发生松动。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，包括钛靶主体(1)和安装管(3)，所述钛靶主体(1)的底部固定设有固定盘(2)，其特征在于：所述固定盘(2)的底部固定设有螺纹管(4)，所述螺纹管(4)与安装管(3)的内部螺纹连接，所述螺纹管(4)的内侧壁活动设有定位销(5)，所述定位销(5)的一端设有螺纹柱(6)，所述螺纹管(4)的侧面设有螺纹孔(8)，所述螺纹柱(6)与螺纹孔(8)的内部螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜行业溅射靶材中的钛管靶，其特征在于：所述螺纹管(4)的侧表面设有外螺纹，所述安装管(3)的内侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李启凤，王俊，宋兵，
申请(专利权)人：深圳市灿元金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：