本实用新型专利技术涉及溅射靶材技术领域，且公开了一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，包括板体，所述板体的顶部设置有靶材本体，所述靶材本体左右两侧的底部均固定连接有连接块，所述板体顶部的左侧固定连接有第一T形块，所述第一T形块的右侧与靶材本体的左侧抵持。该溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，通过卡杆的左端从T形按压块的插槽内向右移出，使按压弹簧弹力恢复并推动T形按压块向上移动，使水平的推架倾斜，通过第二弹簧的恢复力作用，使拉动第二T形块向右移动，并且第一弹簧弹力使靶材左侧连接块从第一T形块下方向右移出，使两个连接块最终与两个T形块的底部分离，从而便于铜背板上靶材的快速拆卸。从而便于铜背板上靶材的快速拆卸。从而便于铜背板上靶材的快速拆卸。
【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置
[0001]本技术涉及溅射靶材
，具体为一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置。
技术介绍
[0002]溅射靶材主要由靶材毛坯、背板等组成，靶材坯料是高速离子束轰击的靶材，属于溅射靶材的核心部分。在溅射镀膜过程中，靶材被离子击中后，靶材表面的原子被溅射并沉积在基板上，形成电子膜，由于高纯度金属通常较软，因此需要将溅射靶安装在专用机器上以完成溅射过程。机器内部处于高压和高真空的环境中，因此背板主要用于固定溅射靶材料，并且需要具有良好的导电性和导热性。
[0003]目前靶材与铜背板大多焊接在一起，当靶材损坏时，铜背板无法继续使用，由于靶材与铜背板的焊接方式，导致铜背板上的靶材拆卸较困难，且靶材与铜背板的安装操作不够方便，因此，需设计一种拆装简便的溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，具备安装效果好和拆装方便等优点，解决了靶材与铜背板焊接的方式拆卸时较困难，且靶材与铜背板安装操作不够方便的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，包括板体，所述板体的顶部设置有靶材本体，所述靶材本体左右两侧的底部均固定连接有连接块，所述板体顶部的左侧固定连接有第一T形块，所述第一T形块的右侧与靶材本体的左侧抵持，所述板体顶部的右侧滑动连接有第二T形块，所述第二T形块的左侧与靶材本体的右侧抵持，两个所述连接块的顶部分别与第一T形块和第二T形块的底部活动连接，所述第二T形块右侧的顶部铰接有推架，所述推架的右端转动连接有T形按压块，所述T形按压块底部的后侧固定连接有按压弹簧，所述按压弹簧的底端与板体顶部的右侧固定连接，所述板体的右侧活动插接有卡杆，所述T形按压块的右侧开设有插槽，所述卡杆的左端与插槽的内部活动插接。
[0008]优选的，所述第一T形块右侧的底部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的右端固定连接有推块，所述推块的右侧与左侧连接块的左侧相抵持，通过第一弹簧的伸缩作用，便于板体上靶材的安装和拆卸。
[0009]优选的，所述板体顶部的右侧固定连接有固定块，所述固定块的左侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的左端与第二T形块右侧的底部固定连接，通过第二弹簧的伸缩作用，使得第二T形块向左或向右移动，便于板体上靶材的安装和拆卸。
[0010]优选的，所述固定块的左侧固定连接有伸缩条，所述伸缩条的左端与第二T形块右
侧的底部固定连接，通过伸缩条的伸缩作用，可对第二T形块的左右移动进行导向，使第二T形块的左右移动更加水平稳定。
[0011]优选的，所述板体顶部的右侧开设有凹槽，所述T形按压块的底部与凹槽的内部活动插接，通过T形按压块的底部与板体顶部右侧的凹槽内插接配合，使T形按压块的上下移动更加竖直稳定。
[0012]优选的，所述卡杆的左侧固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧的左端与板体的右侧固定连接，拉动卡杆使其左端从插槽内移出，使第三弹簧弹力恢复并推动T形按压块向上移动，便于第二T形块的右移复位操作，从而便于板体上靶材的拆卸操作。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，具备以下有益效果：
[0014]1、该溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，通过设置推架、T形按压块、按压弹簧、卡杆和推块，向右拉动卡杆，使卡杆的左端从T形按压块的插槽内向右移出，使按压弹簧弹力恢复并推动T形按压块向上移动，使水平的推架倾斜，通过第二弹簧的恢复力作用，使拉动第二T形块向右移动，并且第一弹簧弹力使靶材左侧连接块从第一T形块下方向右移出，使两个连接块最终与两个T形块的底部分离，即可将靶材从板体上拆除，从而便于铜背板上靶材的快速拆卸。
[0015]2、该溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，通过设置第一T形块和第二T形块，将靶材摆放在板体上，再按动T形按压块，使推架的右端向下移动，使推架的左端向左推动第二T形块，使靶材两侧的连接块分别位于第一T形块和第二T形块的下方，由于卡杆左端顶部为斜面，使得T形按压块下移后推动卡杆右移，通过第三弹簧的恢复作用，使得卡杆的左端最终与T形按压块右侧的插槽内插接，使靶材固定安装在板体上，从而便于铜背板上靶材的安装操作。
附图说明
[0016]图1为本技术结构剖视图；
[0017]图2为本技术图1中A处结构放大图；
[0018]图3为本技术图1中B处结构放大图。
[0019]其中：1、板体；2、靶材本体；3、连接块；4、第一T形块；5、第二T形块；6、推架；7、T形按压块；8、按压弹簧；9、卡杆；10、插槽；11、第一弹簧；12、推块；13、固定块；14、第二弹簧；15、伸缩条；16、凹槽；17、第三弹簧。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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3，一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，包括板体1，板体1的顶部设置有靶材本体2，靶材本体2左右两侧的底部均固定连接有连接块3，板体1顶部的左侧固定连接有第一T形块4，第一T形块4的右侧与靶材本体2的左侧抵持，第一T形块4右侧的
底部固定连接有第一弹簧11，第一弹簧11的右端固定连接有推块12，推块12的右侧与左侧连接块3的左侧相抵持，板体1顶部的右侧滑动连接有第二T形块5，第二T形块5的左侧与靶材本体2的右侧抵持，两个连接块3的顶部分别与第一T形块4和第二T形块5的底部活动连接，设置第一T形块4和第二T形块5，将靶材摆放在板体1上，再按动T形按压块7，使推架6的右端向下移动，使推架6的左端向左推动第二T形块5，使靶材两侧的连接块3分别位于第一T形块4和第二T形块5的下方，由于卡杆9左端顶部为斜面，使得T形按压块7下移时推动卡杆9右移，通过第三弹簧17的恢复作用，使得卡杆9的左端最终与T形按压块7右侧的插槽10内插接，使靶材固定安装在板体1上，从而便于铜背板上靶材的安装操作，板体1顶部的右侧固定连接有固定块13，固定块13的左侧固定连接有第二弹簧14，第二弹簧14的左端与第二T形块5右侧的底部固定连接，固定块13的左侧固定连接有伸缩条15，伸缩条15的左端与第二T形块5右侧的底部固定连接。
[0022]第二T形块5右侧的顶部铰接有推架6，推架6的右端转动连接有T形按压块7，T形按压块7底部的后侧固定连接有按压弹簧8，按压弹簧8的底端与板体1顶部的右侧固定连接，板体1顶部的右侧开设有凹槽16，T形按压块7的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，包括板体(1)，其特征在于：所述板体(1)的顶部设置有靶材本体(2)，所述靶材本体(2)左右两侧的底部均固定连接有连接块(3)，所述板体(1)顶部的左侧固定连接有第一T形块(4)，所述第一T形块(4)的右侧与靶材本体(2)的左侧抵持，所述板体(1)顶部的右侧滑动连接有第二T形块(5)，所述第二T形块(5)的左侧与靶材本体(2)的右侧抵持，两个所述连接块(3)的顶部分别与第一T形块(4)和第二T形块(5)的底部活动连接，所述第二T形块(5)右侧的顶部铰接有推架(6)，所述推架(6)的右端转动连接有T形按压块(7)，所述T形按压块(7)底部的后侧固定连接有按压弹簧(8)，所述按压弹簧(8)的底端与板体(1)顶部的右侧固定连接，所述板体(1)的右侧活动插接有卡杆(9)，所述T形按压块(7)的右侧开设有插槽(10)，所述卡杆(9)的左端与插槽(10)的内部活动插接。2.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合装置，其特征在于：所述第一T形块(4)右侧的底部固定连...
【专利技术属性】
技术研发人员：李启凤，王俊，宋兵，
申请(专利权)人：深圳市灿元金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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