【技术实现步骤摘要】
轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置
[0001]本技术涉及表面工程领域，尤其是涉及一种轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置。
技术介绍
[0002]轴承广泛应用于各种机械设备中，主要功能是支撑机械旋转体，降低其运动过程中的摩擦系数，并保证其回旋精度；其中轴承外圈通常固定在轴承座或机器的壳体上，具有支撑滚动体的作用；轴承的工作稳定性及使用寿命的长短直接影响机械设备整体的工作稳定性和工作效率，一般情况轴承外圈内滚道与滚动体有相对滚动，因此较低的摩擦系数尤为重要，目前利用物理气相沉积方法在轴承外圈内滚道上制备涂层，使轴承外圈内滚道具有极高的耐磨性和疲劳强度，并具有极佳的摩擦学特性，配套滚动体能够满足机械旋转体长期稳定的运转；其中,物理气相沉积的溅射镀膜是指在真空条件下,利用获得高能量的粒子轰击靶材料表面,使靶材表面原子获得足够的能量而逃逸的过程，被溅射的靶原子或者分子沉积到基材表面,就称作溅射镀膜。
[0003]但是由于轴承外圈内滚道通常直对溅射装置，导致溅射死角较多，导致溅射镀膜装置在轴承外圈内滚道上溅...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种轴承外圈支撑组件，其特征在于：包括本体(30)，所述本体(30)用于设置于壳体(10)的真空腔(11)内，所述本体(30)用于固定轴承外圈，并使所述轴承外圈相对于溅射靶(21)倾斜；且所述本体(30)用于与驱动组件(40)连接，并能够在所述驱动组件(40)的驱动下使所述轴承外圈自身旋转。2.根据权利要求1所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述本体(30)包括旋转底盘(31)、旋转顶盘(32)和至少一个中间斜连接件(33)，所述旋转底盘(31)与所述旋转顶盘(32)通过第一支撑杆(38)固定连接且中心线重合，所述旋转底盘(31)和所述旋转顶盘(32)之间用于在纵向上并排固定至少两个相对于所述溅射靶(21)倾斜的所述轴承外圈，所述旋转底盘(31)用于与底部的所述轴承外圈固定连接，所述旋转顶盘(32)用于与顶部的所述轴承外圈固定连接，所述中间斜连接件(33)用于固定连接相邻的两个所述轴承外圈；所述旋转底盘(31)用于与所述驱动组件(40)固定连接，所述驱动组件(40)用于驱动所述旋转底盘(31)和所述旋转顶盘(32)绕所述中心线同步旋转并带动多个所述轴承外圈同步旋转。3.根据权利要求2所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述本体(30)还包括下支撑杆(34)、下斜连接件(35)、上支撑杆(36)和上斜连接件(37)，所述下支撑杆(34)一端与所述旋转底盘(31)固定连接，所述下支撑杆(34)另一端与所述下斜连接件(35)固定连接，所述下斜连接件(35)具有斜面(351)，所述斜面(351)用于与底部的所述轴承外圈端面面接触并固定连接以使所述轴承外圈相对于所述溅射靶(21)倾斜；所述上支撑杆(36)一端与所述旋转顶盘(32)固定连接，所述上支撑杆(36)另一端与所述上斜连接件(37)固定连接，所述上斜连接件(37)用于与顶部的所述轴承外圈固定连接。4.根据权利要求3所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述中间斜连接件(33)和所述上斜连接件(37)设置为连接板，所述下斜连接件(35)设置为支撑块，所述支撑块与所述下支撑杆(34)固定连接，且所述支撑块上具有所述斜面(351)，所述斜面(351)与水平面的夹角为45
°
。5.根据权利要求3所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：还包括多个轴承外圈座(50)和多个环形保护盖(60)，各所述轴承外圈座(50)分别用于沿周向套设于各所述轴承外圈外；各所述环形保护盖(60)分别用于盖设于各所述轴承外圈的端面的环形区；所述斜面(351)用于与底部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖(60)面接触并固定连接；所述中间斜连接件(33)两端用于与相邻的两个所述轴承外圈端面上盖设的两个所述环形保护盖(60)固定连接；所述上斜连接件(37)下端用于与顶部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖(60)固定连接。6.一种轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：包括:壳体(10)，所述壳体(10)具有真空腔(11)；溅射组件(20)，所述溅射组件(20)包括设置于所述真空腔(11)内的溅射靶(21)，所述溅射...
【专利技术属性】
技术研发人员：马鹏翔，王鹏，柴利强，白小刚，赵晓宇，乔丽，
申请(专利权)人：中国科学院兰州化学物理研究所，
类型：新型
国别省市：
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