温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种轴承外圈支撑组件，涉及表面工程领域，包括本体，本体用于设置于壳体的真空腔内，本体用于固定轴承外圈，并使轴承外圈相对于溅射靶倾斜；且本体用于与驱动组件连接，并能够在驱动组件的驱动下使轴承外圈自身旋转。本实用新型还提供一种包...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。