本发明专利技术公开了一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，包括工作台和螺栓安装在工作台顶部的第一限位导轨以及安装在工作台顶部左侧的光刻设备，所述第一限位导轨内轨滑动设置有第一电动滑块，通过设置了调节机构在安装板架顶部，通过调节气缸带动调节位移板进行长度调节动作，然后通过第二电动滑块带动安装侧板在第二限位导轨上进行位移而进行宽度调节动作，再然后通过第一高精度电推杆带动位移侧板等部件进行高度调节动作，有利于提高对夹持部件的调节动作，进而提高对不同规格的光刻线板的适用效果。用效果。用效果。
【技术实现步骤摘要】
一种多尺寸兼容光刻机的传输系统
[0001]本专利技术涉及光刻设备相关领域，具体是一种多尺寸兼容光刻机的传输系统。
技术介绍
[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备；它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；现有的光刻机在进行生产过程中，需要用到传输、定位和清洁等部件来实现其的自动化和生产高效率。
[0003]现有的装置大多结构较为固定，较难因生产材料的规格不同而进行相对应的自动调节动作，也较难对线路板进行自动化翻转动作，从而导致在光刻机进行双面光刻动作时，需要人为进行翻料，降低了生产效率的同时，也容易影响生产精度，同时现有的装置在进行传输时缺少对生产材料的事先预处理功效，从而导致生产材料表面容易出现静电或者粉尘而导致光刻效果较差的现象发生。
技术实现思路
[0004]因此，为了解决上述不足，本专利技术在此提供一种多尺寸兼容光刻机的传输系统。
[0005]本专利技术是这样实现的，构造一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，该装置包括工作台和螺栓安装在工作台顶部的第一限位导轨以及安装在工作台顶部左侧的光刻设备，所述第一限位导轨内轨滑动设置有第一电动滑块，所述第一电动滑块安装在安装板架底部的前后两侧，所述安装板架上方设有光刻线板，所述光刻设备前端螺栓安装有控制面板，所述第一电动滑块和光刻设备均与控制面板电连接。
[0006]优选的，还包括安装在安装板架顶部的调节机构和安装在工作台顶部后侧的除静电机构，所述调节机构包括安装在安装板架内部的调节气缸和安装在安装板架顶部的第二限位导轨，所述调节气缸右端推杆安装有调节位移板，所述调节位移板顶部安装有第二限位导轨，所述第二限位导轨内轨滑动设置有第二电动滑块，所述第二电动滑块安装有安装侧板，所述安装侧板内部安装有对位移侧板起到调节作用的第一高精度电推杆，所述第一高精度电推杆顶部推杆安装有位移侧板，所述位移侧板内部安装有限位轴承和安装在位移侧板左右两侧的翻转机构和支撑机构，所述调节气缸和第二电动滑块以及第一高精度电推杆均与控制面板电连接。
[0007]优选的，所述翻转机构包括安装在位移侧板左右两侧的第一微型马达，所述第一微型马达轴动端安装有对光刻线板起到夹持作用的夹持底板，所述夹持底板左端连板内部滑动安装有对夹持顶板起到限位作用的限位滑杆和弹性安装在夹持底板顶部左侧的电磁弹簧和橡胶套筒以及安装在夹持底板右端中侧的红外定位器，所述夹持底板顶侧通槽安装有对挤压位移块起到调节作用的微型气缸，所述微型气缸左右两侧推杆安装有挤压位移块，所述限位滑杆顶部安装有夹持顶板，所述夹持顶板底部左侧弹性安装有电磁弹簧和橡胶套筒，所述第一微型马达、电磁弹簧和红外定位器以及微型气缸均与控制面板电连接。
[0008]优选的，所述支撑机构包括安装在位移侧板右端对支撑侧板起到传动作用的第二微型马达，所述第二微型马达轴动端与支撑侧板后端固定转动，所述支撑侧板内部安装有对限位夹板起到调节作用的双轴电推杆，所述双轴电推杆上下两侧推杆均安装有限位夹板，所述双轴电推杆上下两侧的限位夹板相对面均安装有橡胶垫以及弹性安装在双轴电推杆上下两侧的限位夹板相对面右侧的橡胶柱，所述第二微型马达和双轴电推杆均与控制面板电连接。
[0009]优选的，所述除静电机构包括安装在工作台顶部后侧的第三限位导轨，所述第三限位导轨内轨滑动设置有气动滑座，所述气动滑座顶部安装有安装底板，所述安装底板顶部螺栓安装有防护箱，所述防护箱顶部安装有第二高精度电推杆和滑动设置在防护箱前后两侧通槽的折叠窗帘以及设置在防护箱内部的导流机构，所述气动滑座和第二高精度电推杆均与控制面板电连接。
[0010]优选的，所述导流机构包括安装在第二高精度电推杆调节推杆底部的过滤箱，所述过滤箱顶部与折叠窗帘底部螺栓连接和安装在过滤箱后端起到过滤作用的过滤网板以及填充放置在过滤箱内部的过滤填层，所述过滤箱前端螺栓安装有起到导流作用的风机安装板，所述风机安装板前端管道安装有导流槽管，所述导流槽管内部螺栓安装有电离子管和螺栓安装在导流槽管底部的导流风板，所述风机安装板和电离子管均与控制面板电连接。
[0011]优选的，所述工作台共设有两组第二限位导轨，且第二限位导轨顶部中侧的第二限位导轨和位移侧板右端设有第二微型马达。
[0012]优选的，所述工作台左侧的第二限位导轨和位移侧板与调节位移板顶部的第二限位导轨和位移侧板呈对称分布。
[0013]优选的，所述调节气缸的调节长度与工作台的整体宽度相同，且工作台内部共设有两组调节气缸。
[0014]优选的，所述夹持底板顶部通槽呈十字形状，且该通槽内部设有的两组微型气缸呈上下交叉分布。
[0015]优选的，所述导流槽管内部共设有九组电离子管，且电离子管前后两侧通气孔与风机安装板处于同一水平线上。
[0016]优选的，所述夹持顶板材质为材料钢。
[0017]本专利技术具有如下优点：本专利技术通过改进在此提供一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，与同类型设备相比，具有如下改进：
[0018]本专利技术所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了调节机构在安装板架顶部，通过调节气缸带动调节位移板进行长度调节动作，然后通过第二电动滑块带动安装侧板在第二限位导轨上进行位移而进行宽度调节动作，再然后通过第一高精度电推杆带动位移侧板等部件进行高度调节动作，有利于提高对夹持部件的调节动作，进而提高对不同规格的光刻线板的适用效果。
[0019]本专利技术所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了翻转机构在位移侧板左右两侧，通过电磁弹簧和橡胶套筒的收缩而带动夹持底板和夹持顶板对光刻线板进行夹持，并通过微型气缸带动挤压位移块对光刻线板进行限位动作，通过第一微型马达带动夹持底板和夹持顶板以及两者夹持的光刻线板进行翻转动作，有利于提高对光刻线板的限位
和翻转效果。
[0020]本专利技术所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了支撑机构在位移侧板右端，通过第二微型马达带动支撑侧板进行翻转动作，并通过支撑侧板内部的双轴电推杆带动限位夹板对光刻线板进行限位和支撑动作，有利于提高对光刻线板的夹持效果。
[0021]本专利技术所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了除静电机构在工作台顶部，通过气动滑座带动安装底板在第三限位导轨在进行滑动，然后通过第二高精度电推杆带动导流机构进行高度调节动作，并通过两组折叠窗帘对防护箱内部空间进行防护效果。
[0022]本专利技术所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了导流机构在防护箱内部，通过过滤箱前端的过滤箱带动外部空气通过过滤网板和过滤填层进行过滤，然后将该气流导入导流槽管内部，并带动电离子管内部的电离子通过导流风板流出并与光刻线板表面相接触，有利于提高对光刻线板的消除静电效果以及对其的除尘效果。
附图说明
[0023]图1是本专利技术结构示意图；
[0024]图2是本专利技术的安装板架和调节机构立体结构示意图；
[0025]图3是本专利技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，包括工作台(1)和螺栓安装在工作台(1)顶部的第一限位导轨(2)以及安装在工作台(1)顶部左侧的光刻设备(8)，所述第一限位导轨(2)内轨滑动设置有第一电动滑块(3)，所述第一电动滑块(3)安装在安装板架(4)底部的前后两侧，所述安装板架(4)上方设有光刻线板(6)，所述光刻设备(8)前端螺栓安装有控制面板(9)，所述第一电动滑块(3)和光刻设备(8)均与控制面板(9)电连接；其特征在于：还包括安装在安装板架(4)顶部的调节机构(5)和安装在工作台(1)顶部后侧的除静电机构(7)，所述调节机构(5)包括安装在安装板架(4)内部的调节气缸(51)和安装在安装板架(4)顶部的第二限位导轨(53)，所述调节气缸(51)右端推杆安装有调节位移板(52)，所述调节位移板(52)顶部安装有第二限位导轨(53)，所述第二限位导轨(53)内轨滑动设置有第二电动滑块(54)，所述第二电动滑块(54)安装有安装侧板(55)，所述安装侧板(55)内部安装有对位移侧板(57)起到调节作用的第一高精度电推杆(56)，所述第一高精度电推杆(56)顶部推杆安装有位移侧板(57)，所述位移侧板(57)内部安装有限位轴承(58)和安装在位移侧板(57)左右两侧的翻转机构(59)和支撑机构(510)，所述调节气缸(51)和第二电动滑块(54)以及第一高精度电推杆(56)均与控制面板(9)电连接。2.根据权利要求1所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述翻转机构(59)包括安装在位移侧板(57)左右两侧的第一微型马达(591)，所述第一微型马达(591)轴动端安装有对光刻线板(6)起到夹持作用的夹持底板(592)，所述夹持底板(592)左端连板内部滑动安装有对夹持顶板(594)起到限位作用的限位滑杆(593)和弹性安装在夹持底板(592)顶部左侧的电磁弹簧(595)和橡胶套筒(596)以及安装在夹持底板(592)右端中侧的红外定位器(597)，所述夹持底板(592)顶侧通槽安装有对挤压位移块(599)起到调节作用的微型气缸(598)，所述微型气缸(598)左右两侧推杆安装有挤压位移块(599)，所述限位滑杆(593)顶部安装有夹持顶板(594)，所述夹持顶板(594)底部左侧弹性安装有电磁弹簧(595)和橡胶套筒(596)，所述第一微型马达(591)、电磁弹簧(595)和红外定位器(597)以及微型气缸(598)均与控制面板(9)电连接。3.根据权利要求1所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述支撑机构(510)包括安装在位移侧板(57)右端对支撑侧板(5102)起到传动作用的第二微型马达(5101)，所述第二微型马达(5101)轴动端与支撑侧板(5102)后端固定转动，所述支撑侧板(5102)内部安装有对限位夹板(5104)起到调节作用的双轴电推杆(5103)，所述双轴电推杆(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟敏，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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