一种涂胶显影机用平整度测定装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及涂胶显影机技术领域，尤其为一种涂胶显影机用平整度测定装置，包括：涂胶显影机，所述涂胶显影机内腔的左侧设置有横移结构；所述横移结构包含有与涂胶显影机固定连接的固定架，所述固定架的一侧设置有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有主动皮带轮，所述固定架的一侧固定连接有稳固板一。本发明专利技术通过定位机构的设置，起到了提高半导体器件稳定性的作用，使得该涂胶显影机用平整度测定装置及其方法具备激光位移传感器高度和水平位置可调节和对半导体器件进行固定的优点，在实际的使用过程中，可根据半导体器件的厚度对激光位移传感器的高度进行调节，从而可适应不同厚度半导体器件的测定。半导体器件的测定。半导体器件的测定。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机用平整度测定装置及其方法


[0001]本专利技术涉及涂胶显影机
，具体为一种涂胶显影机用平整度测定装置及其方法。

技术介绍

[0002]涂胶显影机是在光刻工序中和光刻机配套使用的机器，主要对半导体器件起到涂胶、烘烤和显影的作用，涂胶显影机是集成电路生产过程中不可或缺的设备，能够直接影响到光刻工序中曝光图案的形成。
[0003]涂胶显影机对半导体器件进行涂胶前，需要对半导体的平整度进行测定，现有的平整度测定方法多是选择激光位移传感器，由于激光位移传感器的位置是固定的，所以只能对半导体器件的单个水平位置进行测定，又不能根据半导体器件的厚度对激光位移传感器的高度进行调节，不但影响测定结果，导致对半导体的平整度出现误判，降低激光位移传感器的实用性，且影响企业形象，其次涂胶显影机内部的元件较多，且在工作时容易产生震动，使得半导体器件在放置时的位置容易出现偏移，不但影响涂胶效果，更影响对半导体器件的平整度进行测定，为解决上述问题，一种涂胶显影机用平整度测定装置及其方法，亟待开发。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种涂胶显影机用平整度测定装置及其方法，具备激光位移传感器高度和水平位置可调节和对半导体器件进行固定的优点，解决了上述
技术介绍
提出的问题。
[0005]为达成上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种涂胶显影机用平整度测定装置，包括：涂胶显影机，所述涂胶显影机内腔的左侧设置有横移结构；
[0006]所述横移结构包含有与涂胶显影机固定连接的固定架，所述固定架的一侧设置有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有主动皮带轮，所述固定架的一侧固定连接有稳固板一，所述稳固板一的一侧设置有从动皮带轮，所述从动皮带轮通过皮带与主动皮带轮传动连接，所述主动皮带轮和从动皮带轮的一侧分别固定连接有螺纹杆一和螺纹杆二，所述螺纹杆一和螺纹杆二的一端均与固定架转动连接，所述螺纹杆一和螺纹杆二的表面均与稳固板一转动连接，所述螺纹杆一和螺纹杆二的表面共同螺纹连接有活动架；
[0007]所述固定架的一侧设置有纵移结构；
[0008]所述纵移结构包含有位于电机一下方的电机二，所述电机二的输出轴固定连接有圆杆，所述圆杆的一端与固定架转动连接，所述活动架位于圆杆的表面并与圆杆滑动连接，所述圆杆表面的顶部和底部均固定连接有凸条，所述活动架的内腔且位于圆杆的表面滑动连接有蜗杆，所述蜗杆内腔的顶部和底部均开设有与凸条相适配的凹槽，所述活动架内腔的顶部转动连接有螺纹杆三，所述螺纹杆三的底端贯穿至活动架的底部并固定连接有蜗轮，所述蜗轮与蜗杆相啮合，所述螺纹杆三的表面螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的一侧设
置有激光位移传感器；
[0009]所述涂胶显影机内腔的底部设置有定位机构；
[0010]所述定位机构包含有与涂胶显影机固定连接的外壳，所述外壳的后侧贯穿至涂胶显影机的后侧，所述外壳内腔的一侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的表面套接有圆套，所述圆套表面的顶部固定连接有连接板，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有齿板一，所述外壳的内腔转动连接有齿轮，所述外壳内腔的前侧和后侧均开设有稳固槽，所述稳固槽的内腔滑动连接有连动板，所述连动板的底部固定连接有齿板二，所述齿轮分别与齿板一和齿板二相啮合，所述连动板和连接板的顶部均固定连接有传动块，所述传动块的顶部延伸至外壳的外侧并固定连接有夹持板，所述外壳的顶部开设有两个呈对称设置并与传动块滑动连接的滑槽。
[0011]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述电机一和电机二的一侧均通过螺栓与固定架可拆卸连接。
[0012]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述圆杆的表面转动连接有稳固板二，所述稳固板二的一侧与固定架固定连接。
[0013]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述活动架的一侧开设有两个呈对称设置的导向槽，所述导向槽的内腔滑动连接有导向块，所述导向块的一侧延伸至导向槽的外侧并与螺纹块固定连接。
[0014]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述外壳内腔的底部开设有限位槽，所述限位槽的内腔滑动连接有限位块，所述限位块的顶部延伸至限位槽的外侧并与齿板一固定连接。
[0015]进一步的，作为本专利技术一种优选的，两个夹持板相对的一侧均设置有防滑纹路。
[0016]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述外壳的四角均固定连接有防护垫，所述防护垫的形状为L形。
[0017]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述涂胶显影机的顶部设置有报警器，所述激光位移传感器与报警器电性连接。
[0018]进一步的，作为本专利技术一种优选的，所述固定架的形状为L形。
[0019]进一步的，作为本专利技术一种优选的，还包括如下步骤：
[0020]步骤一：将半导体器件放置在外壳的顶部，启动电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端带动圆套和齿板一向前侧移动，首先圆套会带动连接板进行同向移动，其次齿板一在移动时会带动齿轮进行转动，齿轮转动时会带动齿板二向后侧移动，齿板二带动连动板进行同向移动，进一步连接板和齿板二在移动均带动传动块进行移动，此时两个传动块为相对移动，两个传动块带动两个夹持板相对移动对半导体器件进行固定，从而起到了提高半导体器件的稳定性，既便于涂胶显影机对半导体器件进行涂胶，又便于对半导体器件的平整度进行测量的作用；
[0021]步骤二：启动电机二，电机二的输出轴带动圆杆转动，圆杆转动时带动凸条同向转动，凸条在凹槽的配合使用下带动蜗杆进行转动，蜗杆转动时带动蜗轮转动，蜗轮带动螺纹杆三转动，螺纹杆三转动时通过表面的螺纹带动螺纹块进行上下移动，螺纹块带动激光位移传感器进行上下移动，从而将激光位移传感器的高度调整到与半导体器件的高度相适配，接着利用激光位移传感器发射出激光光束对半导体器件的平整度进行测定；
[0022]步骤三：启动电机一，电机一的输出轴带动主动皮带轮转动，主动皮带轮转动时通过皮带的传动带动从动皮带轮转动，接着主动皮带轮和从动皮带轮在转动时均带动螺纹杆一转动，螺纹杆一通过表面的螺纹带动活动架的水平位置进行移动，活动架带动蜗杆在圆杆的表面上进行滑动，与此同时活动架在移动时可带动激光位移传感器的水平位置进行移动，通过激光位移传感器水平位置的移动，起到了对半导体器件顶部的平整度进行全面测定，从而提高半导体器件质量的作用。
[0023]有益效果，本申请的技术方案具备如下技术效果：本专利技术通过横移结构和纵移结构的配合使用，达到了对激光位移传感器的位置进行移动，从而提高测定精度的作用，通过定位机构的设置，起到了提高半导体器件稳定性的作用，使得该涂胶显影机用平整度测定装置及其方法具备激光位移传感器高度和水平位置可调节和对半导体器件进行固定的优点，在实际的使用过程中，可根据半导体器件的厚度对激光位移传感器的高度进行调节，从而可适应不同厚度半导体器件的测定，接着通过带动激光位移传感器进行水平移动，此过程起到了对半导体器件顶部的平整度进行全面测量的作用，提高测定精度，有利于维护企业形象，其次利用对半导体器件进行定位，避免半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机用平整度测定装置，包括：涂胶显影机(1)，其特征在于：所述涂胶显影机(1)内腔的左侧设置有横移结构(2)；所述横移结构(2)包含有与涂胶显影机(1)固定连接的固定架(21)，所述固定架(21)的一侧设置有电机一(22)，所述电机一(22)的输出轴固定连接有主动皮带轮(24)，所述固定架(21)的一侧固定连接有稳固板一(25)，所述稳固板一(25)的一侧设置有从动皮带轮(26)，所述从动皮带轮(26)通过皮带与主动皮带轮(24)传动连接，所述主动皮带轮(24)和从动皮带轮(26)的一侧分别固定连接有螺纹杆一(27)和螺纹杆二(28)，所述螺纹杆一(27)和螺纹杆二(28)的一端均与固定架(21)转动连接，所述螺纹杆一(27)和螺纹杆二(28)的表面均与稳固板一(25)转动连接，所述螺纹杆一(27)和螺纹杆二(28)的表面共同螺纹连接有活动架(23)；所述固定架(21)的一侧设置有纵移结构(3)；所述纵移结构(3)包含有位于电机一(22)下方的电机二(31)，所述电机二(31)的输出轴固定连接有圆杆(32)，所述圆杆(32)的一端与固定架(21)转动连接，所述活动架(23)位于圆杆(32)的表面并与圆杆(32)滑动连接，所述圆杆(32)表面的顶部和底部均固定连接有凸条(34)，所述活动架(23)的内腔且位于圆杆(32)的表面滑动连接有蜗杆(33)，所述蜗杆(33)内腔的顶部和底部均开设有与凸条(34)相适配的凹槽，所述活动架(23)内腔的顶部转动连接有螺纹杆三(35)，所述螺纹杆三(35)的底端贯穿至活动架(23)的底部并固定连接有蜗轮(36)，所述蜗轮(36)与蜗杆(33)相啮合，所述螺纹杆三(35)的表面螺纹连接有螺纹块(37)，所述螺纹块(37)的一侧设置有激光位移传感器(38)；所述涂胶显影机(1)内腔的底部设置有定位机构(4)；所述定位机构(4)包含有与涂胶显影机(1)固定连接的外壳(41)，所述外壳(41)的后侧贯穿至涂胶显影机(1)的后侧，所述外壳(41)内腔的一侧固定连接有电动伸缩杆(42)，所述电动伸缩杆(42)的表面套接有圆套(43)，所述圆套(43)表面的顶部固定连接有连接板(44)，所述电动伸缩杆(42)的输出端固定连接有齿板一(45)，所述外壳(41)的内腔转动连接有齿轮(46)，所述外壳(41)内腔的前侧和后侧均开设有稳固槽(412)，所述稳固槽(412)的内腔滑动连接有连动板(48)，所述连动板(48)的底部固定连接有齿板二(47)，所述齿轮(46)分别与齿板一(45)和齿板二(47)相啮合，所述连动板(48)和连接板(44)的顶部均固定连接有传动块(49)，所述传动块(49)的顶部延伸至外壳(41)的外侧并固定连接有夹持板(410)，所述外壳(41)的顶部开设有两个呈对称设置并与传动块(49)滑动连接的滑槽(411)。2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用平整度测定装置，其特征在于：所述电机一(22)和电机二(31)的一侧均通过螺栓与固定架(21)可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用平整度测定装置，其特征在于：所述圆杆(32)的表面转动连接有稳固板二(5)，所述稳固板二(5)的一侧与固定架(21)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用平整度测定装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王作义，朱莉，高万智，何立新，
申请(专利权)人：广奕电子科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：