一种自动湿法铝腐蚀机构制造技术

本实用新型专利技术涉及湿法铝腐蚀工艺技术领域，尤其为一种自动湿法铝腐蚀机构，包括：腐蚀箱，所述腐蚀箱的顶部固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部嵌入设置有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有主动齿轮，所述支撑座的顶部贯穿设置有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮相啮合。本实用新型专利技术具备腐蚀效果好、腐蚀效率高和使用便捷的优点，在实际的使用过程中，将晶圆放置在放置箱的内腔中，接着采取自动化的方式将晶圆移动至腐蚀箱内腔中进行腐蚀，利用对腐蚀箱进行左右摆动，从而可加快腐蚀效率和可对晶圆进行全面腐蚀，避免出现腐蚀盲区的情况，其次此操作过程较为简单便捷，有利于适用于广泛的市场需求。需求。需求。

【技术实现步骤摘要】
一种自动湿法铝腐蚀机构


[0001]本技术涉及湿法铝腐蚀工艺
，具体为一种自动湿法铝腐蚀机构。

技术介绍

[0002]湿法铝化学腐蚀是最早用于微机械结构制造的加工方法，所谓湿法铝腐蚀，就是将晶片置于液态的化学腐蚀液中将表面的铝金属进行腐蚀，在腐蚀过程中，腐蚀液将把它所接触的材料通过化学反应逐步浸蚀溶掉。
[0003]晶圆在腐蚀时通常直接将晶圆放置在腐蚀箱中进行作业，腐蚀箱中溶液的反应物与晶圆相接触，溶液即可将晶圆表面的材料进行溶解，若将较多的晶圆同时放置在腐蚀箱中，此时晶圆与晶圆之间的接触面存在腐蚀盲区，不但腐蚀速率较慢，且腐蚀效果差，其次晶圆在腐蚀完成后，需要工人手动将其取出，此过程不但费时费力，且较为危险，为解决上述问题，一种自动湿法铝腐蚀机构，亟待开发。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种自动湿法铝腐蚀机构，具备腐蚀效果好、腐蚀效率高和使用便捷的优点，解决了上述
技术介绍
提出的问题。
[0005]为达成上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动湿法铝腐蚀机构，包括：腐蚀箱，所述腐蚀箱的顶部固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部嵌入设置有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有主动齿轮，所述支撑座的顶部贯穿设置有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮相啮合，且从动齿轮的底部与支撑座转动连接，所述支撑座和从动齿轮的一侧均开设有与螺纹杆相适配的螺纹孔，所述螺纹杆的底端贯穿至腐蚀箱的内腔并转动连接有固定架，所述固定架的一侧设置有摆动结构。
[0006]摆动结构包含有位于固定架内腔并与固定架固定连接的外壳，所述外壳的内腔固定连接有电机二，所述电机二的输出轴贯穿至固定架的一侧固定连接有传动板，所述传动板的一侧固定连接有圆杆一，所述圆杆一的表面活动连接有连动板，所述连动板的内腔活动连接有转动架，所述转动架的内腔活动连接有圆杆二，所述圆杆二的一端与固定架固定连接，所述转动架的底部固定连接有放置箱。
[0007]进一步的，作为本技术一种优选的，所述螺纹杆的顶端固定连接有限位块，所述限位块的直径大于螺纹杆的直径。
[0008]进一步的，作为本技术一种优选的，所述固定架的顶部固定连接有两个稳固杆，所述稳固杆的顶端贯穿至支撑座的顶部，且支撑座和稳固杆之间构成滑动连接。
[0009]进一步的，作为本技术一种优选的，摆动结构的数量为两个，且两个摆动结构呈对称设置。
[0010]进一步的，作为本技术一种优选的，所述转动架表面的两侧均固定连接有加强杆，所述加强杆远离转动架的一端与放置箱固定连接。
[0011]进一步的，作为本技术一种优选的，所述连动板的形状为“S”形。
[0012]有益效果，本申请的技术方案具备如下技术效果：本技术具备腐蚀效果好、腐蚀效率高和使用便捷的优点，在实际的使用过程中，将晶圆放置在放置箱的内腔中，接着采取自动化的方式将晶圆移动至腐蚀箱内腔中进行腐蚀，利用对腐蚀箱进行左右摆动，从而可加快腐蚀效率和可对晶圆进行全面腐蚀，避免出现腐蚀盲区的情况，其次此操作过程较为简单便捷，有利于适用于广泛的市场需求，解决了上述
技术介绍
提出的问题。
[0013]应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的技术主题的一部分。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1为本技术结构立体示意图；
[0016]图2为本技术局部结构立体示意图一；
[0017]图3为本技术局部结构立体示意图二。
[0018]图中，各附图标记的含义如下：1、腐蚀箱；2、支撑座；3、电机一；4、主动齿轮；5、螺纹杆；6、从动齿轮；7、固定架；8、外壳；9、电机二；10、传动板；11、圆杆一；12、连动板；13、转动架；14、圆杆二；15、放置箱；16、限位块；17、稳固杆；18、加强杆。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，为了更了解本技术的
技术实现思路
，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。在本公开中参照附图来描述本技术的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如附图1至附图3所示：本实施例提供一种自动湿法铝腐蚀机构，包括：腐蚀箱1，腐蚀箱1的顶部固定连接有支撑座2，支撑座2的顶部嵌入设置有电机一3，电机一3的输出轴固定连接有主动齿轮4，支撑座2的顶部贯穿设置有螺纹杆5，螺纹杆5的表面螺纹连接有从动齿轮6，从动齿轮6与主动齿轮4相啮合，且从动齿轮6的底部与支撑座2转动连接，支撑座2和从动齿轮6的一侧均开设有与螺纹杆5相适配的螺纹孔，螺纹杆5的底端贯穿至腐蚀箱1的内腔并转动连接有固定架7，固定架7的一侧设置有摆动结构，摆动结构的数量为两个，且两个摆动结构呈对称设置。
[0021]摆动结构包含有位于固定架7内腔并与固定架7固定连接的外壳8，外壳8的内腔固定连接有电机二9，电机二9的输出轴贯穿至固定架7的一侧固定连接有传动板10，传动板10的一侧固定连接有圆杆一11，圆杆一11的表面活动连接有连动板12，连动板12的形状为“S”形，连动板12的内腔活动连接有转动架13，转动架13的内腔活动连接有圆杆二14，圆杆二14的一端与固定架7固定连接，转动架13的底部固定连接有放置箱15。
[0022]具体的，螺纹杆5的顶端固定连接有限位块16，限位块16的直径大于螺纹杆5的直径。
[0023]本实施例中：通过限位块16的设置，螺纹杆5在移动时带动限位块16进行移动，起到了避免螺纹杆5与从动齿轮6内腔脱离的情况，进而提高结构布局合理性的作用。
[0024]具体的，固定架7的顶部固定连接有两个稳固杆17，稳固杆17的顶端贯穿至支撑座2的顶部，且支撑座2和稳固杆17之间构成滑动连接。
[0025]本实施例中：通过稳固杆17的设置，固定架7在移动时带动稳固杆17在支撑座2的内腔中滑动，进一步起到了提高固定架7移动时稳定性的作用。
[0026]具体的，转动架13表面的两侧均固定连接有加强杆18，加强杆18远离转动架13的一端与放置箱15固定连接。
[0027]本实施例中：通过加强杆18的设置，起到了加强转动架13与放置箱15之间的连接强度，从而提高放置箱15活动时安全性的作用。
[0028]本技术的工作原理及使用流程：
[0029]步骤一：工人将晶圆放置在放置箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动湿法铝腐蚀机构，包括：腐蚀箱(1)，其特征在于：所述腐蚀箱(1)的顶部固定连接有支撑座(2)，所述支撑座(2)的顶部嵌入设置有电机一(3)，所述电机一(3)的输出轴固定连接有主动齿轮(4)，所述支撑座(2)的顶部贯穿设置有螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)的表面螺纹连接有从动齿轮(6)，所述从动齿轮(6)与主动齿轮(4)相啮合，且从动齿轮(6)的底部与支撑座(2)转动连接，所述支撑座(2)和从动齿轮(6)的一侧均开设有与螺纹杆(5)相适配的螺纹孔，所述螺纹杆(5)的底端贯穿至腐蚀箱(1)的内腔并转动连接有固定架(7)，所述固定架(7)的一侧设置有摆动结构；摆动结构包含有位于固定架(7)内腔并与固定架(7)固定连接的外壳(8)，所述外壳(8)的内腔固定连接有电机二(9)，所述电机二(9)的输出轴贯穿至固定架(7)的一侧固定连接有传动板(10)，所述传动板(10)的一侧固定连接有圆杆一(11)，所述圆杆一(11)的表面活动连接有连动板(12)，所述连动板(12)的内腔活动连接有转动架(13)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王作义，朱莉，高万智，何立新，陈家胜，毛明兴，
申请(专利权)人：广奕电子科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：