一种扩散炉炉门防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉炉门防护装置，包括扩散炉，所述扩散炉右侧的底部连通有炉门本体，所述炉门本体的内腔滑动连接有密封板，所述密封板的右侧固定连接有推动杆。本实用新型专利技术通过电机的驱动，在固定管和翻转机构的配合使用下，使得转动板带动推动杆运动，最终通过推动杆带动密封板脱离炉门本体的内腔，即可达到自动开合炉门和防泄漏的目的，该扩散炉炉门防护装置，解决了扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者安全造成威胁的问题。会对使用者安全造成威胁的问题。会对使用者安全造成威胁的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉炉门防护装置


[0001]本技术涉及扩散炉使用
，具体为一种扩散炉炉门防护装置。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者的安全造成威胁，基于此，本技术提供了一种扩散炉炉门防护装置，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种扩散炉炉门防护装置，具备自动开合炉门和防泄漏的优点，解决了扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者安全造成威胁的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉炉门防护装置，包括扩散炉，所述扩散炉右侧的底部连通有炉门本体，所述炉门本体的内腔滑动连接有密封板，所述密封板的右侧固定连接有推动杆，所述推动杆的表面套设有转动板，所述炉门本体的顶部固定连接有箱体，所述箱体的右侧固定连接有固定管，所述固定管的右端贯穿转动板顶部的内腔并延伸至右侧，所述扩散炉右侧的顶部固定连接有电机，所述固定管的内腔设置有翻转机构，所述翻转机构包括螺纹杆，所述螺纹杆的右端通过轴承与固定管的内壁转动连接，所述螺纹杆的左端贯穿至箱体的内腔并通过轴承与箱体的内壁转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套件，所述螺纹套件的顶部贯穿至固定管的顶部并与转动板顶部内腔的内壁固定连接，所述固定管的顶部开设有与螺纹套件相适配的横向滑槽和竖向滑槽，所述螺纹杆表面的左侧固定连接有锥齿轮一，所述电机的输出端贯穿至箱体的内腔并固定连接有锥齿轮二，所述锥齿轮一和锥齿轮二相啮合。
[0006]优选的，所述推动杆的表面套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与密封板和转动板相焊接，所述推动杆表面的右侧螺纹连接有螺帽。
[0007]优选的，所述推动杆表面的顶部固定连接有限位条，所述转动板底部内腔的顶部开设有与限位条相适配的限位滑槽。
[0008]优选的，所述密封板的左侧固定连接有密封垫。
[0009]优选的，所述炉门本体顶部和底部的右侧均连通有两个透气管。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过电机的驱动，在固定管和翻转机构的配合使用下，使得转动板带动推动杆运动，最终通过推动杆带动密封板脱离炉门本体的内腔，即可达到自动开合炉
门和防泄漏的目的，该扩散炉炉门防护装置，解决了扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者安全造成威胁的问题。
[0012]2、本技术通过弹簧的设置，使得密封板对炉门本体的内腔有一定的密封弹性，对密封垫进行递进压缩，继而提高密封垫与炉门本体内壁间的密封性，通过限位条和限位滑槽的配合使用，对推动杆起到限位的作用，使得推动杆只可左右滑动，避免了转动板在带动推动杆翻转时，推动杆和密封板发生转动的现象，通过透气管的设置，在密封板即将离开炉门本体内腔时，可通过透气管放出扩散炉内腔中一定的高温气体，避免了密封板与炉门本体脱离的一刹那，高温气体自炉门本体内腔喷出，对使用者造成伤害。
附图说明
[0013]图1为本技术结构的立体示意图；
[0014]图2为本技术推动杆、固定管和转动板的拆分立体示意图；
[0015]图3为本技术结构的主视剖面示意图；
[0016]图4为本技术图3中A点的局部放大图。
[0017]图中：1、扩散炉；2、密封板；3、推动杆；4、转动板；5、箱体；6、固定管；7、透气管；8、电机；9、翻转机构；91、螺纹杆；92、螺纹套；93、横向滑槽；94、竖向滑槽；95、锥齿轮一；96、锥齿轮二；10、炉门本体；11、弹簧；12、限位条；13、限位滑槽；14、螺帽；15、密封垫。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种扩散炉炉门防护装置，包括扩散炉1，扩散炉1右侧的底部连通有炉门本体10，炉门本体10顶部和底部的右侧均连通有两个透气管7，通过透气管7的设置，在密封板2即将离开炉门本体10内腔时，可通过透气管7放出扩散炉1内腔中一定的高温气体，避免了密封板2与炉门本体10脱离的一刹那，高温气体自炉门本体10内腔喷出，对使用者造成伤害，炉门本体10的内腔滑动连接有密封板2，密封板2的左侧固定连接有密封垫15，密封板2的右侧固定连接有推动杆3，推动杆3表面的顶部固定连接有限位条12，转动板4底部内腔的顶部开设有与限位条12相适配的限位滑槽13，通过限位条12和限位滑槽13的配合使用，对推动杆3起到限位的作用，使得推动杆3只可左右滑动，避免了转动板4在带动推动杆3翻转时，推动杆3和密封板2发生转动的现象，推动杆3的表面套设有弹簧11，弹簧11的两端分别与密封板2和转动板4相焊接，推动杆3表面的右侧螺纹连接有螺帽14，通过弹簧11的设置，使得密封板2对炉门本体10的内腔有一定的密封弹性，对密封垫15进行递进压缩，继而提高密封垫15与炉门本体10内壁间的密封性，推动杆3的表面套设有转动板4，炉门本体10的顶部固定连接有箱体5，箱体5的右侧固定连接有固定管6，固定管6的右端贯穿转动板4顶部的内腔并延伸至右侧，扩散炉1右侧的顶部固定连接
有电机8，固定管6的内腔设置有翻转机构9，翻转机构9包括螺纹杆91，螺纹杆91的右端通过轴承与固定管6的内壁转动连接，螺纹杆91的左端贯穿至箱体5的内腔并通过轴承与箱体5的内壁转动连接，螺纹杆91的表面螺纹连接有螺纹套件92，螺纹套件92的顶部贯穿至固定管6的顶部并与转动板4顶部内腔的内壁固定连接，固定管6的顶部开设有与螺纹套件92相适配的横向滑槽93和竖向滑槽94，螺纹杆91表面的左侧固定连接有锥齿轮一95，电机8的输出端贯穿至箱体5的内腔并固定连接有锥齿轮二96，锥齿轮一95和锥齿轮二96相啮合。
[0020]工作原理：本技术使用时，使用者通过开启电机8，电机8通过锥齿轮二96带动锥齿轮一95旋转，锥齿轮一95带动螺纹杆91旋转，此时由于螺纹杆91表面螺纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉炉门防护装置，包括扩散炉(1)，其特征在于：所述扩散炉(1)右侧的底部连通有炉门本体(10)，所述炉门本体(10)的内腔滑动连接有密封板(2)，所述密封板(2)的右侧固定连接有推动杆(3)，所述推动杆(3)的表面套设有转动板(4)，所述炉门本体(10)的顶部固定连接有箱体(5)，所述箱体(5)的右侧固定连接有固定管(6)，所述固定管(6)的右端贯穿转动板(4)顶部的内腔并延伸至右侧，所述扩散炉(1)右侧的顶部固定连接有电机(8)，所述固定管(6)的内腔设置有翻转机构(9)，所述翻转机构(9)包括螺纹杆(91)，所述螺纹杆(91)的右端通过轴承与固定管(6)的内壁转动连接，所述螺纹杆(91)的左端贯穿至箱体(5)的内腔并通过轴承与箱体(5)的内壁转动连接，所述螺纹杆(91)的表面螺纹连接有螺纹套件(92)，所述螺纹套件(92)的顶部贯穿至固定管(6)的顶部并与转动板(4)顶部内腔的内壁固定连接，所述固定管(6)的顶部开设有与螺纹套件(92)相...

【专利技术属性】
技术研发人员：王作义，马洪文，魏关成，高万智，杨虎，陈小铎，
申请(专利权)人：广奕电子科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：