一种用于光伏电池生产设备的法兰制造技术

本发明专利技术涉及一种用于光伏电池生产设备的法兰，用于密封炉管，所述法兰包括：延伸部，前法兰，后法兰，密封件，所述延伸部远离所述炉管的内壁的一面沿所述第二方向凹陷形成有凹槽，所述密封件的一端延伸入所述凹槽内，沿第三方向观察，所述密封件延伸入凹槽的一端与所述凹槽在所述第二方向上形成有第一局部间隙，所述密封件延伸出凹槽的一端与所述前法兰在所述第一方向上形成有第二局部间隙，所述密封件延伸出凹槽的一端与所述后法兰在所述第一方向上形成有第三局部间隙，以释放密封件在第一方向和第二方向上的形变，降低密封件受热形变对密封效果的影响。密封效果的影响。密封效果的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光伏电池生产设备的法兰


[0001]本专利技术涉及密封件的
，尤其涉及一种用于光伏电池生产设备的法兰。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的飞速发展，晶片的精度要求越来越高，在晶圆生产环节中，扩散炉是一个非常关键的环节。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
[0003]已公开中国技术专利，申请号CN214250565U，专利名称：一种扩散炉用水冷法兰，申请日：20201231，该技术专利通过在前水冷法兰与后水冷法兰之间设置一不与炉管直接接触的密封圈实现炉门的密封。然而，硼扩散过程中会氧化形成三氧化二硼，三氧化二硼易溶于水，并生成硼酸，且伴随剧烈的反应现象，导致扩散炉工作前需要先清除炉管内的水蒸气。采用水冷对法兰进行降温，需要提高水冷设备的密封性，且在操作过程中不能有水溅射到炉管内，同时需要增加一道干燥检查工序，提高了成本。同时，扩散炉工作时，内部温度高达1100℃，在高温高压环境下，密封圈会产生形变，从而降低密封效果。
[0004]因此，有必要提供一种用于光伏电池生产设备的法兰，既要保持干燥环境，又要避免密封圈因高温高压产生形变导致密封效果降低。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于光伏电池生产设备的法兰，既要保持干燥环境，又要避免密封圈因高温高压产生形变导致密封效果降低。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供一种用于光伏电池生产设备的法兰，用于密封炉管，所述法兰包括：
[0007]延伸部，沿与所述炉管的延伸方向相垂直的第二方向延伸形成于所述炉管的炉门上；
[0008]前法兰，在与所述炉管的延伸方向相平行的第一方向上，所述前法兰与所述延伸部的一面相抵接，且所述前法兰覆盖所述炉管的炉门；
[0009]后法兰，在所述第一方向上，所述后法兰与所述延伸部的另一面相抵接；
[0010]密封件，所述延伸部远离所述炉管的内壁的一面沿所述第二方向凹陷形成有凹槽，所述密封件的一端延伸入所述凹槽内，并与所述凹槽相抵接，所述密封件的另一端延伸出所述凹槽外，并分别与所述前法兰和所述后法兰相抵接；
[0011]沿分别与所述第一方向和所述第二方向相垂直的第三方向观察，所述密封件延伸入所述凹槽的一端与所述凹槽在所述第二方向上形成有第一局部间隙，所述密封件延伸出所述凹槽的一端与所述前法兰在所述第一方向上形成有第二局部间隙，所述密封件延伸出所述凹槽的一端与所述后法兰在所述第一方向上形成有第三局部间隙。
[0012]更优地，所述延伸部与所述前法兰相抵接的一面记为第一面，所述延伸部与所述
后法兰相抵接的一面记为第二面，所述延伸部远离炉管的内壁的一面记为第三面，所述第三面位于所述第一面与所述第二面之间；
[0013]所述炉管内的气体依次沿所述第一面、所述第三面以及所述前法兰与所述密封件相抵接一面的第一路径释放至炉管外；
[0014]所述法兰还包括：
[0015]第一干燥件，设置于所述第一路径上。
[0016]更优地，所述密封件包括：
[0017]第一主体部，延伸入所述凹槽内，并与所述凹槽相抵接；
[0018]所述凹槽包括：
[0019]第一槽壁，在所述第一方向上，所述第一槽壁与所述第一主体部靠近所述前法兰的一面相抵接；
[0020]第二槽壁，在所述第一方向上，所述第二槽壁与所述第一主体部背离所述前法兰的一面相抵接；
[0021]槽底，在所述第二方向上，所述槽底与所述第一主体部相抵接；
[0022]所述炉管内的气体依次沿所述第一面、所述第三面、所述第一槽壁、所述槽底、所述第二槽壁以及所述后法兰与所述密封件相抵接一面的第二路径释放至炉管外，
[0023]所述法兰还包括：
[0024]第二干燥件，设置于所述第二路径上。
[0025]更优地，所述炉管内的气体依次沿所述第一面、所述第三面中靠近所述前法兰的一部分、所述第一槽壁、所述槽底、所述第二槽壁、所述第三面中远离所述前法兰的另一部分、所述第二面的第三路径释放至炉管外，
[0026]所述法兰还包括：
[0027]第三干燥件，设置于所述第三路径上。
[0028]更优地，所述第一干燥件、所述第二干燥件、所述第三干燥件均由氧化铝制成。
[0029]更优地，所述密封件还包括：
[0030]第二主体部，延伸出所述凹槽外，并与所述第一主体部一体成型，所述第二主体部分别与所述前法兰和所述后法兰相抵接；
[0031]第三主体部，延伸出所述凹槽外，并与所述第二主体部一体成型，且所述第三主体部与所述前法兰之间间隔形成第一间隙，所述第三主体部与所述后法兰之间间隔形成第二间隙，所述第一干燥件设置于所述第一间隙内，所述第二干燥件设置于所述第二间隙内；
[0032]在所述第二方向上，所述后法兰与所述炉管的外壁间隔设置形成第三间隙，所述第三干燥件设置于所述第三间隙内。
[0033]更优地，所述密封件还包括：
[0034]第一斜面，形成于所述第一主体部与所述槽底相抵接的一面，所述第一局部间隙形成于所述第一斜面与所述槽底之间；
[0035]第二斜面，形成于所述第二主体部与所述前法兰相抵接的一面，所述第二局部间隙形成于所述第二斜面与所述前法兰之间；
[0036]第三斜面，形成于所述第二主体部与所述后法兰相抵接的一面，所述第三局部间隙形成于所述第三斜面与所述后法兰之间。
[0037]更优地，所述第一斜面与所述槽底的夹角记为A；所述第二主体部与所述前法兰相抵接的一面记为第一抵接面，所述第二斜面与所述第一抵接面的夹角记为B；所述第二主体部与所述后法兰相抵接的一面记为第二抵接面，所述第三斜面与所述第二抵接面的夹角记为C，满足关系式：
[0038]3.5
°
≤A≤5.5
°
；
[0039]2.3
°
≤B≤6.5
°
；
[0040]2.3
°
≤C≤6.5
°
。
[0041]更优地，所述法兰还包括：
[0042]第一密封圈，设置于所述第一主体部与所述第二槽壁之间；所述第一主体部凹陷形成有第一密封槽，所述第一密封圈设置于所述第一密封槽内，所述第一密封槽与所述第一斜面相连；
[0043]第二密封圈，所述第二主体部与所述前法兰相抵接的一面记为第一抵接面，所述第二密封圈设置于所述第二主体部与所述第一抵接面之间；所述第二主体部凹陷形成有第二密封槽，所述第二密封圈设置于所述第二密封槽内，所述第二密封槽与所述第二斜面相连；
[0044]第三密封圈，所述第二主体部与所述后法兰相抵接的一面记为第二抵接面，所述第三密封圈设置于所述第二主体部与所述第二抵接面之间；所述第二主体部凹陷形成有第三密封槽，所述第三密封圈本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光伏电池生产设备的法兰，用于密封炉管，其特征在于，所述法兰包括：延伸部，沿与所述炉管的延伸方向相垂直的第二方向延伸形成于所述炉管的炉门上；前法兰，在与所述炉管的延伸方向相平行的第一方向上，所述前法兰与所述延伸部的一面相抵接，且所述前法兰覆盖所述炉管的炉门；后法兰，在所述第一方向上，所述后法兰与所述延伸部的另一面相抵接；密封件，所述延伸部远离所述炉管的内壁的一面沿所述第二方向凹陷形成有凹槽，所述密封件的一端延伸入所述凹槽内，并与所述凹槽相抵接，所述密封件的另一端延伸出所述凹槽外，并分别与所述前法兰和所述后法兰相抵接；沿分别与所述第一方向和所述第二方向相垂直的第三方向观察，所述密封件延伸入所述凹槽的一端与所述凹槽在所述第二方向上形成有第一局部间隙，所述密封件延伸出所述凹槽的一端与所述前法兰在所述第一方向上形成有第二局部间隙，所述密封件延伸出所述凹槽的一端与所述后法兰在所述第一方向上形成有第三局部间隙。2.根据权利要求1所述的用于光伏电池生产设备的法兰，其特征在于，所述延伸部与所述前法兰相抵接的一面记为第一面，所述延伸部与所述后法兰相抵接的一面记为第二面，所述延伸部远离炉管的内壁的一面记为第三面，所述第三面位于所述第一面与所述第二面之间；所述炉管内的气体依次沿所述第一面、所述第三面以及所述前法兰与所述密封件相抵接一面的第一路径释放至炉管外；所述法兰还包括：第一干燥件，设置于所述第一路径上。3.根据权利要求2所述的用于光伏电池生产设备的法兰，其特征在于，所述密封件包括：第一主体部，延伸入所述凹槽内，并与所述凹槽相抵接；所述凹槽包括：第一槽壁，在所述第一方向上，所述第一槽壁与所述第一主体部靠近所述前法兰的一面相抵接；第二槽壁，在所述第一方向上，所述第二槽壁与所述第一主体部背离所述前法兰的一面相抵接；槽底，在所述第二方向上，所述槽底与所述第一主体部相抵接；所述炉管内的气体依次沿所述第一面、所述第三面、所述第一槽壁、所述槽底、所述第二槽壁以及所述后法兰与所述密封件相抵接一面的第二路径释放至炉管外，所述法兰还包括：第二干燥件，设置于所述第二路径上。4.根据权利要求3所述的用于光伏电池生产设备的法兰，其特征在于，所述炉管内的气体依次沿所述第一面、所述第三面中靠近所述前法兰的一部分、所述第一槽壁、所述槽底、所述第二槽壁、所述第三面中远离所述前法兰的另一部分、所述第二面的第三路径释放至炉管外，所述法兰还包括：第三干燥件，设置于所述第三路径上。
5.根据权利要求4所述的用于光伏电池生产设备的法兰，其特征在于，所述第一干燥件、所述第二干燥件、所述第三干燥件均由氧化铝制成。6.根据权利要求4所述的用于光伏电池生产设备的法兰，其特征在于，所述密封件还包括：第二主体部，延伸出所述凹槽外，并与所述第一主体部一体成型，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小芬，刘彩球，刘创龙，
申请(专利权)人：深圳市科彩精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：