本申请公开了一种多层薄膜制备方法及多层薄膜,其中方法主要包括:制备第一材料层,进而在第一材料层的表面层叠设置多个第二材料层。本申请实施例中,每个第二材料层包括第二衬底,第二衬底由铁电单晶材料构成。采用上述方法,可以在多层薄膜中制备多个由铁电单晶材料构成的薄膜层,有利于扩大铁电单晶材料在多层薄膜中的应用。层薄膜中的应用。层薄膜中的应用。层薄膜中的应用。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:秦健鹰,杨喜超,邢彦敏,张岩,魏侠,
申请(专利权)人:华为技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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